1、 研 润 企 业MC030-1401 双向精密自准直仪使用说明书上 海 研 润 光 机 科 技 有 限 公 司上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 1目录1 概述 311 仪器的用途12 仪器特点13 工作条件2 技术特性321 技术规格21 仪器组成3 工作原理与结构特征431 仪器的工作原理32 仪器的结构特征33 附件的组成34 个单元结构之间的机电联系35 辅助装置的功能结构及其工作原理4 使用、操作1341 使用前的准备和检查42 找像与读数43 水平面的直线度测量44 垂直于水平面的测面的直线度测量45 垂直面的直线度和垂直度测量46 直线移动
2、导轨运动误差的测量47 平面度的测量48 圆分度误差的测量49 小角度误差测量5 故障分析与排除2751 光学零件发霉上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 252 光学零件生雾53 附着物54 分划线刻线脱色6 保养、维护2861 日常维护、保养62 运行时的维护、保养63 正常检修周期7 开箱及检查2971 开箱注意事项72 开箱检查内容8 运输、贮存2981 吊装运输注意事项82 贮存条件，贮存期限及注意事项9 验收项目、方法及数据29上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 31概述11 仪器的用途双向自准直仪是利用
3、自准直法，对小角度范围内的微小角度变化进行测量的精密仪器。仪器主体和平面反射镜联合使用，可测量工件的直线度，平板的平面度；与光学直角器，带磁反射镜联合使用，可测量垂直导轨的平直度和垂直度；与多面体联合使用，可测量度盘的圆分度误差。本仪器特别适合与生产现场。12 仪器特点双向自准直仪具有原理、结构简单，体积小，精度高，使用方便，配以一定的附件后，能扩大使用范围的特点。13 工作条件工作室应保持清洁，无尘，无振动，电源为 220V 50Hz 交流电，室温 203，其温度变化每小时不超过 1。2技术特性21 技术规格工作距离-0-10 米物镜焦距-400 毫米物镜口径-42 毫米目镜放大倍率-17.
4、5 倍测微鼓轮分度值（每格相当于）线度值-L/200 微米角度值-1.03 秒1 秒此处 L 为反射镜基座有效长度（毫米）上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 4目镜分划板分度值（每格相当于）线度值-100L/200 微米角度值-1001.03 秒示值范围-1600 格示值精度当测微鼓轮不超一圈时（0.5+0.01n）格当测微鼓轮超过一圈时（15+0.0015n）格n 为测微鼓轮的测量格数。例如：测微鼓轮转过一周，n =100 格；转过两周，n =200格。光学直角器精度-2 秒 仪器主体外形尺寸（长宽高）-254mm57mm157mm22 仪器组成主体-
5、1 件水平调整板-1 件反射镜-1 件220V/6V5W 光源变压器-1 件6V3W 灯泡-3 件木盒-1 件特殊附件（据订货供应）取景器-1 件带磁反射镜-1 件光学直角器-1 件3 工作原理与结构特征31 仪器的工作原理311 光学自准直法的测量原理仪器的光学系统如图 1上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 5图 1 仪器的光学系统图1 射镜 2、3 物镜 4、5 反射镜 7、8 分划板 9、10 目镜 11 十字线分划板 12 滤光片 13 光源光源 13 发出的光线照明位于物镜 2.3 焦平面上的分划板 11 的十字线再经分光棱镜 6，反射镜 4
6、.5，被物镜 2 .3 成一束平行光束射向平面反射镜 1；若平面反射镜的反射面垂直于光轴，光线仍按原路返回，经物镜 2. 3、反射镜 4.5 和分光棱镜 6 成像在位于其焦点的指标线分划板 8 上，与指标分划线重合，人眼通过目镜 9 .10 观察到像。若平面反射镜 1 的反射面不垂直与光轴，而有一偏角 见图 2。则反射光线将有 2的偏角，在目镜中的十字线像将相对于指标线像位移一个距离 y。 角与距离 Y 的关系式如下：y=2f 即 =y/2f上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 6图 2 仪器的原理图式中：f-物镜的焦距-平面反射镜倾斜角度，以弧度表示。适
7、当选择物镜组焦距 f和分划板刻线间距，利用测微读数系统，可测出距离 y，即可算出反射镜的偏角值 。注：距离 y 与平面反射镜到主体之间的距离无关。312 测量直线度的工作原理用双向自准直仪测量时，是逐段测量实际线各段的斜率变化。仪器主体固定在被测件外，而将反射镜安装在跨距适当的基板上。然后在被测表面上依次移动基板，读取反射镜倾角变化的数值，再经过数据处理，可以得到直线度误差。见图 3。上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 7图 3 水平面平直度的测量1主体 2. 反射镜基座 3. 反射镜 4.被测表面 5. 垫块 6. 挡板313 测量垂直面的直线度和垂直
8、度的工作原理如图 4，先用带磁平面反射镜 2 检验水平面的直线度，在两个面的转角处放一五角棱镜，然后，检查垂直面的直线度，用带磁反射镜在垂直面上每移动 L 距离读一次数，直到被测面全长。把这些数据画成图以次评价两个相互垂直的面的直 线度和垂直度。314 测量平面度的工作原理测量平面度的工作原理如图 5对于窄长平面的形状误差，可以用直线度表示，但对于较广宽平面的形状误差，必须用平面度表示。一个平面可以看作由任意直线组成的，因此可以由几个剖面的直线度误差来反映该平面的平面度误差。测量平面度误差是测量被测表面上的几个特点剖面（逐一读出个剖面上各测点的读数） ，然后按选定的基准，以各个被测剖面的直线度
9、误差及相互联系，来确定被测表面的平面度误差。测量剖面的布置通常采用米字形和网格形。315 测量圆周分度误差的工作原理上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 8图 4 垂直度测量1仪器主体 2. 带磁发射镜 3. 被测平面 4. 直角反射镜上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 9图 5 平面测量点的上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 10图 6 圆周分度误差测量1仪器主体 2. 多面体 3. 被测转台利用双向自准直仪测量圆周分度误差，其主要原理是将被测圆分度盘与一个更高精度的圆分度标
10、准量-多面棱体直接进行比较测量，以测的被测圆分度器件的分度误差，示意图见图 6。这里多面棱体代替了平面反射镜的位置。若多面棱体的面数为 n，那么每隔 360/n 测量一次。316 小角度测量的工作原理如图 7 所示图 7 双像法测玻璃平板平行差原理1 被测件 2 仪器物镜 3 十字线由仪器主体射出一束平行光线垂直投射到折射率为 n 的平板玻璃上，若平板玻璃的平行度误差小于仪器的精度，则该平板玻璃前后表面发射的分划板十字线的两个自准直像是重合的。若平板玻璃的平行度误差大于仪器的格值，则从目镜分划板可以看到由平板玻璃前后两表面反射回来而被分开的两个十字线分划板的像。根据两个像分开的距离 就可以计算
11、出平板玻璃的平行度偏差 。由几何光学定律，可以推出 =/n式中：n-玻璃的折射率-从目镜测微鼓轮上直接读出的两个像分开的角距离32 仪器的结构特征双向自准直仪是由仪器主体、变压器和反射镜构成。321 仪器主体（见图 8）上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 11图 8 仪器的结构特性1 水准泡 2 反射镜 3 箱体基面 4 仪器箱体 5 水准泡 6 测微鼓轮 7 目镜 8锁紧螺钉 9 照明灯座 10 6v3w 插销 11 6v3w 插销 12 按扭 13 变压器仪器主体内装有一套自准直光学系统；照明灯座 9 可插进套筒内照明十字线分划板，旁向有紧定锁紧螺钉
12、。测微器装在仪器主体上方，外部有鼓轮 6，目镜 7 和换向锁紧螺钉8。目镜上有视度调整螺旋，可正反旋转，适应不同视力的检测员检测。换向锁紧螺钉用来分别在互相垂直方向上锁紧测微器。仪器箱体基面 3 是工作定位面，安放在测量基面上。水准泡 5 用来判断仪器安放是否水平。322 变压器（见图 8）变压器上有一个插销 14 用来联结 220V50Hz 的电源；插孔 11 用来联结照明灯。按扭开关 12 是变压器的总开关，按下即可接通照明灯电源。323 反射镜（见图 8）反射镜 2 制成一整体，底面是工作定位面。测量时可放在基板上或直接置于被测表面，反射面朝向主体。水准泡 1 用来判断反射镜的方向是否处
13、于水平位置。33 附件的组成331 水平调整板（见图 9）上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 12图 9 附件结构特征1 仪器主体 2 水平调板 3 螺钉 4 取景器 5 带磁发射镜 6 推柄 7 直角反射器水平调整板由水平板 2，调整螺钉 3 组成。使用时旋动调整螺钉，可调整仪器主体找水平。它和主体仪器的位置关系如图所示。332 带磁反射镜（见图 9）带磁反射镜 5 是安装了永久磁铁的反射镜。上边设有推柄 6，推进拉出可使磁铁具有或消失磁性。333 光学直角器（见图 9）光学直角器 7 由五角棱镜及棱镜座组成，它起到指教转折光路的作用。334 取景器（
14、见图 9）取景器 4 由取景光学系统、取景器座组成，当发射镜和仪器主体相距很远时，借助取景器可以方便地找到发射像。34 个单元结构之间的机电联系只要使变压器与 220V 电源接通，将照明灯的引线插销插进变压器插座内，按下变压器开关，点亮仪器体内的照明灯，继而可进行测量工作。35 辅助装置的功能结构及其工作原理在逐段法测量中，反射镜应安放在专用基板上。 （用户自备）351 专用基板结构上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 13图 10 反射镜基板座形式可以采用正弦规，如图 10a；具有三个球头或圆柱头支点的平板，如图 10b；或按被测表面的需要采用的其它形式
15、。352 基座的有效长度选择基座的有效长度时，一要考虑测量精度，测点要多些，有效长度不宜过大。其次应使被测曲线的总长除以基座的有效长度所得值为整数，以免发生漏测或重测现象而造成测量误差。除此还应考虑便于计算。本台仪器有效长度最佳值为 200mm，这时当测微鼓轮转一格时，有效长度两端高度相差 1m。353 多面棱体多面棱体作为测量圆分度误差的基准，其本身精度要求较高，面数不受限制，经常使用的是六面、十六面、三十六面棱体，受加工工艺以及多面体外径尺寸和最小反射面尺寸的限制，多面体的最大面数少于 72 面。.4使用、操作41 使用前的准确和检查a.用汽油和脱脂棉或绸布清洁仪器主体和附件，清洁被测表面
16、b将照明灯插入仪器主体，锁紧之，接通电源。c 选择仪器的安放位置，仪器安放一定要稳固可靠，位置合适，宜于观察，测量过程中不上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 14得移动仪器主体。d 安装仪器主体，使于水平调整板或被测表面接触良好，并尽量使物镜光轴与测量方向一致。e 视度调节，直到能看清分划板上的刻线和刻度为止。42 找像与读数421 找像a 仪器主体与平面反射镜处于同一被测面上。当反射镜离主体较近时，摆动反射镜，明亮的十字线就会出现在视场中，当反射镜离主体较远时，可以使用取景器快速找像。其方法如下：首先把取景器放在反射镜的前面，在取景器内找到由主体物镜出
17、射光束所形成的绿色十字簇，然后摆动反射镜，这时在取景器内可以看见一簇随着反射镜摆动而移动的绿色十字，当两簇十字重合时，字线像就会出现在主体目镜的视场中央。 b 主体与反射镜不在同一被测平面上主体应放在水平调整板上，使主体物镜中心和反射镜中心大致处于同一高度，调整水平调整板，使主体上和反射镜上的水准泡具有同一示值，然后重复 a 的作法。422 读数十字线的像成在分划板之后，转动测微鼓轮，使指标线在视场内移动，直到指标线套在十字线内，即可从刻线分划板及测微鼓轮上的刻度读出数值。测微鼓轮一圈等分 100 格，相当于刻线分划板上的一格。43 水平面的直线度测量431 操作方法（1）松开测微器锁紧螺钉，
18、转动目镜头以使测尾鼓轮的轴线防线平行于物镜光轴的方向，拧紧锁紧螺钉。锁住目镜头。（2）将反射镜安置在专用的基座上固定，测量中二者不能相对移动。（3）将基座安放在被测表面上找像。（4）按照 3.1.2 图 4，将基座放在被测表面的 0-L 毫米位置上读数，然后按首尾相接的原则，每隔 L 毫米依次移动反射镜座并读数，直至被测表面的末端。432 注意事项上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 15（1）测量中，最好在反射镜基座侧面位置挡板，使基座始终紧靠挡板移动，有利于提高测量精度。（2）如主体放在被测表面的一端，完成一个测量之后，应将主体放在另一端，重测一次，以
19、得到被测表面在整个长度上的平直度误差。（3）如果只需对直线度进行粗略测量，可将反射镜座直接放置在被测表面上，按首尾相接的原则每隔 200mm 依次移动反射镜座，操作方法同 4.3.1（4） 。433 数据处理直线度误差通常是以被测表面测量方向上各点至某一参考线之间的距离来计量的。参考线一般是取被测表面的起始点和末端点的联线，如 3.1.2 图 3 所示，联线 OP 就是参考线。但是，按照上述的测量方法所得到的读数值却是以平行于主体物镜光轴的直线，亦即以平行于主体底面的直线作为参考线的，该直线通过测量的起点 0，相当于图 3 中的直线OX，OX 称为测量参考线。为了求得被测表面的直线度误差，应对
20、测量数据做如下处理：首先计算出被测方向上各点至测量参考 OX 之间的距离。从图 3 可以看出，某个测量点到 0X 之间的距离，是该测量点之前个点读数值的累计，用式子表示为： i.式中：i-被测点位置的顺序数 i=1，2，3.i -各被测点的读数值（测微鼓轮的分格值） ；其中：0=0 而1 为反射镜基座在 0-L 位置的读数值；-测微鼓轮的分度值（线度值） ，对本仪器而言，当安放反射镜的基座的有效长度为 Lmm 时，鼓轮格值所代表的线度值为 L/200mm 微米。当 L=200mm 时，=1m。根据上式的计算结果，就可以用作图法求出被测表面的直线度误差。在测量方向上相对与测量参考线的形状曲线。a
21、 以测量参考线为横坐标轴，以各点至测量参考线之间的距离为纵坐标，作出被测表面在测量方向上相对于测量参考线的形状曲线。b 把起始点与末端点连成一线，它就是计量直线度误差的参考线。上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 16c 各测量点到该参考线之间的距离就是直线度误差。为计算和作图方便，通常使0=1=0，可以这样处理：如 3.1.2 图 3 所以，若以通过 i=0 和 i=1 两测点的直线 OX 作为测量参考线，那么个测量点的读数值i 应为： ii =i- 1式中：i- 以平行于主体物镜光轴的直线（OX）作为测量参考线使个测量点的读数值。I=1，2，3被测方向
22、上任一测量点到测量参考线 OX 之间的距离为： i.表 1 就是按照上式利用图法计算直线度误差的计算表格，图 11 是根据表 1 的数据作出的直线度误差曲线，各点到参考线 OP 之间的距离就是直线度误差。如果要用计算方法直接得到各点的直线度误差数值，只要将 OP 绕 0 点回转到 OX 的位置就行，这时曲线上各点到 OP 的距离，亦即各点的直线度误差 hi 可以用下式表示：Hi= i.-（i/n） i.式中：n-整个测量长度上所分的段数表 2 是直接计算出直线度误差的表格，图 12 是根据表 2 的数据作出的直线度误差曲线。表一 直线度误差计算表格被测点位置的顺序数 i 0 1 2 3 4 5
23、 6反射镜基座位置 L（毫米） 0 200 400 600 800 1000 1200i（格） 0 78.8 79.3 88.0 80.0 72.5 65.8各点的读数值i（格） - 0.0 +0.5 +9.2 +1.2 -6.3 -13.0示值 i（微米） - 0.0 +0.5 +9.2 +1.2 -6.3 -上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 1713.0各点至测量参考线的距离 i（微米） - 0.0 +0.5 +9.7 +10.9 +4.6 -8.4图 2 直线度误差计算表格被测点位置的顺序值 i 0 1 2 3 4 5 6反射镜基座位置 L（毫米
24、） 0 200 400 600 800 1000 1200i（格） 0 78.8 79.3 88.0 80.0 72.5 65.8各点的读数值i（格）- 0.0 +0.5 -9.2 -1.2 -6.3 -13.0示值 i（微米） - 0.0 +0.5 +9.2 +1.2 -6.3 -13.0各点至测量参考线的距离 i（微米） - 0.0 +0.5 +9.7 +10.9 +4.6 -8.4示值的算术平均值 1/n i（微米）（-8.4）/6=-1.4 参考线旋转修正值 i/n i（微米） - -1.4 -2.8 -4.2 -5.6 -7.0 -8.4直线度误差 Hi= i（微米）-i/n i（微
25、米）0.0 +1.4 +3.3 +13.9 +16.5 +11.6 0.0hi（m）上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 18图 13 平直度度误差曲线注：直线度误差定义为包容实际直线度误差曲线，且距离为最小的两平行直线之间的距离。而我们在评定直线度误差时，却是以被测表面的起始点和末端点的连线作为参考，取各测量点到该参考线之间的最大距离作为直线度误差。对于图 3 所示的那种只有一个最高点（或一个最低点）的曲线，其评定方法与定义并无矛盾。但对于具有多个最高点（或最低点）的曲线，若以起点和终点和连线作为参考线来评定直线度误差，就违背了直线度误差的定义。不过评定
26、值的差别不大，一般情况下可以不予考虑。44 垂直于水平面的侧面的直线度测量441 操作方法（1）松开目镜头锁紧螺钉，将目镜头顺时针旋转 90 度，使测微鼓轮的轴线方向与物镜光轴方向垂直，锁紧目镜头。（2）将基座安置于水平面上，其侧面应经过刮研，能沿被测表面可靠移动，基座侧面与被测表面接触良好。（3）反射镜安放在基座上，找像，重复 4.3.1（13）的步骤。（4）同 4.3.1(4)442 数据处理同 4.3.345 垂直面的直线度和垂直度测量常用的例子是铣床水平导轨与垂直导轨的直线度和垂直度检查。451 操作方法（1）在被测表面上，每隔 L 毫米处做一记号，作为测量点。（2）按图 4 所示，将
27、光学直角器安放在两平面的交角处，将主体安装在水平面上，再调节上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 19主体上目镜头的测微鼓轮轴线与物镜光轴重合。（3）带磁放射镜放在垂直面测量起点。注意尽量使物镜光轴通过光学直角器和平面反射镜的中心。（4）轻微摆动反射镜和光学直角器，使亮十字线出现在视场中，读数。（5）带磁反射镜在垂直面上，每移动 2 毫米读一次数，直至被测表面的全长。452 数据处理4521 平直度同 4.3.34522 垂直度在处理数据求得垂直度之前，先按 4.3.1 的方法测出水平面各点的直线度误差，举例如下（参见 4.3.3,测 yi 相当于表 2
28、中 i测得水平面各点相对于测量基准的量值为：表 3测点 Xi 0 1 2 3 4 5测值yi（m）0 -0.5 -0.5 +1 +0.5 0测得垂直面各点相对测量基准的量值为：注：若两个表面平直度好，粗略地检验垂直度误差可以用以下方法：带磁反射镜首先放在水平面上读一次数，然后放在垂直面上读一次数，此两个读数值之差就是两表面的垂直度误差。46 垂直移动导轨运动误差的测量461 操作方法1 将仪器主体安放在导轨以外的平台的水平调整板上。2 将反射镜安放在导轨滑板上，在测量过程中，不准碰到反射镜。3 移动导轨滑板，每隔 L 毫米读一次数，直到滑板的移动全程。462 数据处理如果我们并不需要对运动误差
29、作严格的检查，那么只要取得导轨的起始点、中间点和末尾点三个测量点就够了，由这但个测量点的读数值，就可以很快的作出运动误差曲线。上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 20举例如下：表 5各测量点至起点的距离（mm）0 300 600各测量点的读数值（秒） 20.2 16.2 12.6从表中可以看出，读数值从起始点到末尾点是逐渐减小的，并且是比较均匀地改变。因此该导轨的直线性误差是中间凸起的圆弧状，如图 14 所示。图 14图中 A、B、C 点表示起始点，中间点和末尾点，从图上可以看出，AOC=（20.2-12.6）=7.6 而AOB=（20.2-16.2）=
30、4，即AOC=2AOB，因此：我们可以把直线误差曲线看作圆弧状。实际上，导轨的直线性误差曲线通常总是呈现上凸或下凹的近似圆弧的形状，这个例子是具有普遍意义的。中间的凸起量 BD 的数值有一经验公式：上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 21=ADC/4x0.5x10 -2x LBD式中：AOC-单位：秒L- 测量的间距 单位：毫米-单位：微米这个例子中， =7.6/4x0.5x10 -2x3003mBD如果读数值从起始点到末尾点是逐渐增大，那么，误差曲线就成为中间低，两边高的圆弧形状。463 注意事项导轨直线性误差，引起导轨在移动过程中对起始运动方向的偏移
31、，这个偏移可分解为两部分，一是在导轨运动面内对起始运动方向的相对位移，一是在垂直与导轨运动面内的倾斜，第二部分可以用仪器精确地测量，第一部分不会引起反射镜的倾斜，仪器检测不出这项误差，可以利用微测表测量出其平行位移量，因此，利用本仪器和测微表能够实现运动导轨直线性误差的全面测时。47 平面度的测量471 测量点的布置如图 5 所示，以被测平面的中心 0 为起点，找出反射镜基座有效长度 L 的整数倍的A、B、C、D、E、F、G、H 各点，构成一个捎小于被测平面外形的矩形。如果对角线 AC 和BD 不能满足 L 的整数倍，则可将测量点布置成图 5 的形状。472 测量方法分别测得平面上各个方向的平
32、直度误差。操作同 4.3.1473 数据处理各个方向的平直度误差列表 6，由于各个方向的平直度误差都是以起始点和末端点的连线作为参考线来度量的，因此各个方向的参考线不会在同一个平面内，为了度量平面度误差，必须有一个参考面，该参考面可以这样求得：取 A 点和 C 点的连线 AC（即 AOC 方向度量平直度的参考线）为参考面内的一条线。且令中心点 O 平直度误差亦即中线点 O 离参考线 AC 的高度为 hAC。再由 BOD 方向测得平直度误差值，得到中心点 O 离参考线 BD 的高度为 hBD。 （通常 hACh BD）平行位移参考线 BD上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000
33、质量管理体系认证 22至 B D ，使 hBD =hAC ，我们取参考线 AC 和 BD 所决定的平面作为度量平面度误差的参考面。表 6 中第 9、10、11、12 栏中，就是把各个方向的平直度误差换算到相对于参考面的平面度误差。图 15 是各个方向的平面度误差曲线Hi（m）图 15 平面度误差曲线对 AOC 方向而言，由于参考线 AC 位于参考面之内，因此，它的平直度误差就是表示了平面度误差。上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 23对 BOD 方向而言，由于参考线 BD 平行位移+6.3m，因此，各点的平直度误差需要加上+6.3m 才表示该方向的平面度
34、误差。对 AEB 防线而言，A 点在参考面内，而 B 点离参考面为+6 .3m，为使参考线 AB 旋转至 A B 各点的平直度误差应作旋转修正。其数值为 i*6.3/8。各点的平直度误差加上旋转修正量就是平面度误差。DGC，AHD，BFC 方向的处理方法同 AEB 方向相同。对 HOF 和 GOE 方向而言，参考线两端都不在参考面内，因此，为了求得相对参考面的平面读误差，参考线除了平行位移而外，还需作旋转，以便取得修正量。HOE 两个方向的平面度中可以看出，中心点 O 的平面度误差分别为+13.5m 和+12.5m，其中 GOE 方向同AOC 方向的中心点 O 的平面度误差数值（+13.5m）
35、相差 1m，这个偏差主要是由测量误差产生的。48 圆分度误差的测量（见图 6）481 操作方法（1）把被检圆周分度仪器与仪器主体（或连同水平调整板）安放在同一稳定平台上。（2）多面棱体安放或装夹在被检仪器精密度盘的回转轴线附近，应用磁性千分表大致调整其同心，同心误差在 1mm 左右，将二者固为一体。（3）测量a 移动仪器主体，使主体物镜与多面棱体反射面的距离尽可能接近，减少气流对测量的影响。b 使多面棱体的反射面对称地处于主体入射光瞳的中心，其光轴需与多面棱体的旋转轴成 90 度。 （可调节水平调整板上的调节螺钉） 。（4）转动被测仪器，直到任何位置的反射镜通过目镜视场时，其反射像始终处于中间
36、状态，否则，重复 3 的步骤。（5）旋转被测仪器，记下棱体工作面序号，度盘读数和测微目镜的读数。482 数据处理a 在同一回转方向时，度盘读数值，多面体工作面序号和主体测微目镜读数同时增加。见表 7。表 7 在同一回转方向时，度盘读数值，多面体工作面序号和主体测微目镜读数值同时增加。上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 24表 7与起始点读数值之差序号 度盘读数值（）多面体中心角误差（）主体测微目镜读数值（格） 格 秒示值误差（）1 0 0.0 1075.0 0.0 0.0 0.02 60 +0.3 1065.5 -9.5 -9.8 -9.53 120 +
37、0.5 1071.0 -4.0 -4.1 -3.64 180 +2.0 1074.5 -0.5 -0.5 +1.55 240 +3.1 1070.5 -4.5 -4.6 -1.56 300 +1.2 1069.0 -6.0 -6.2 -5.011.0b 在同一回转方向时，度盘读数值和多面体工作面序号增加，而主体测微目镜读数值减少。见表 8c 在同一回转方向时，度盘读数值和主体测微目镜读数值增加，而多面体工作面序号减少。见表 9表 8 在同一回转方向时，度盘读数值和多面体工作面序号增加，而主体测微目镜度数值减少。表 8主体测微目镜读数值与起始点读数值之差序号 度盘读数值（）多面体中心角误差（）
38、秒（变号） 格 秒示值误差（）1 0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.02 60 +0.3 -9.8 +9.5 +9.8 -9.5上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 253 120 +0.5 -4.1 +4.0 +4.1 -3.64 180 +2.0 -0.5 +0.5 +0.5 +1.55 240 +3.1 -4.6 +4.6 +4.6 -1.56 300 +1.2 -6.2 +6.0 +6.2 -5.011.0表 9 在同一回转方向时，度盘读数值和主体测微目镜读数值增加，而多面体工作面序号减少。表 9主体测微目镜读数值与起始点读数值之差示值误差（
39、）序号 度盘读数值（）多面体中心角误差（） 格 秒1 0 0.0 0.0 0.0 0.02 60 -1.2 -8.0 -8.3 -9.53 120 -3.1 -.05 -0.5 -3.64 180 -2.0 +3.4 +3.5 +1.55 240 -0.5 -1.0 -1.0 -1.56 300 -0.3 -4.6 -4.7 -5.011.0d 在同一回转方向时，度盘读数值增加，而多面体工作面序号和主体测微目镜读数值减少。见表 10表 10 在同一回转方向，度盘读数值增加，而多面体工作面序号和主体测微目镜读数值减少。表 10序号 度盘读数 多面体中 主体测微目镜读数值 示值误差上海研润光机科技
40、有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 26与起始点读数值之差值（） 心角误差（） 秒（变号） 格 秒（）1 0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.02 60 -1.2 -8.3 +8.0 +8.3 -9.53 120 -3.1 -0.5 +0.5 +0.5 -3.64 180 -2.0 +3.5 +3.4 -3.5 +1.55 240 -0.5 -1.0 -1.0 +1.0 -1.56 300 -0.3 -4.7 -4.6 +4.7 -5.011.0表 11 为对分度值 10的光学分度头示值误差检定结果的处理方法，从该例可以看出，分度误差：|+6.7|+|-9.1|=1
41、5.8表 11 圆分度误差计算表格与起始点读数值之差序号 度盘读数值 多面体的实际角度主体测微目镜读数值（格） 格 秒示值误差（）1 00000 - 1075.0 0.0 0.0 0.02 600000 60+0.3 1065.5 -9.5 -9.8 -9.53 1200000 120+0.51071.0 -4.0 -4.1 -3.64 1800000 180+2.01074.0 -0.5 -0.5 -1.55 2400000 240+3.11070.5 -4.5 -4.6 -1.56 3000000 300+1.21069.0 -6.0 -6.2 -5.011.01 10000 - 1070
42、.0 0.0 0.0 0.0上海研润光机科技有限公司 通过 ISO9001:2000 质量管理体系认证 272 610000 60+0.3 1076.0 +6.0 +6.2 +6.53 1210000 120+0.51076.0 +6.0 +6.2 +6.74 1810000 180+2.01068.0 -2.0 -2.1 +0.15 2410000 240+3.11063.0 -7.0 -7.2 -4.16 3010000 300+1.21060.0 -10.0 -10.3 -9.115.81 300000 - 1073.0 0.0 0.0 0.02 900000 60+0.3 1070.5
43、 -2.5 -2.6 -2.33 1500000 120+0.51065.5 -7.5 -7.7 -7.24 2100000 180+2.01059.0 -14.0 -14.4 -12.45 2700000 240+3.11056.0 -17.0 -17.5 -14.46 3300000 300+1.21059.0 -14.0 -14.4 -13.214.41 310000 - 1065.0 0.0 0.0 0.02 910000 60+0.3 1062.5 -2.5 -2.6 -2.33 1510000 120+0.51066.0 +1.0 +1.0 +1.54 2110000 180+2.01073.5 +8.5 +8.8 +10.85 2710000 240+3.11070.5 +5.5 +5.7 +8.86 3310000 300+1.2 1071.5 +6.5 +6.7 +7.9
