1、TRACK换液（丙酮、光刻胶、显液）规范兼职广告任务网分发部门总经办管代行政部人 力资 源部生产一部生产二部生产三部品检部研发部市场营销部采购部财务部项目部动力保障部文控中心档案室分发范围分发份数文件代码 SNS-WI-S2-001 页次 1/2版本版次 A0 制定日期 2010-12-01制定部门 生产二部TRACK换液（丙酮、PR、显液）规范生效日期 2011-02-01一、目的：熟悉 TRACK换液程序，保证安全作业生产二、更换光刻胶胶图 1 光刻胶胶管路图1、更换同种光刻胶胶1）把空瓶拿走,装上新光阻瓶,盖好盖子2）打开前面管路 2#缓冲排气阀(由于缓冲杯中有较大的气,经由 2#排走)
2、3）慢慢打开 1#针阀,连接 N2到光阻瓶盖上,把光阻压入缓冲杯,液位 sensor亮,此时除去N2管,同时关掉 2#阀4）由光刻胶泵排掉适量管路中的光阻2、更换不同种（或新与旧）光刻胶胶1）把光阻瓶拿走,打开光刻胶泵直到喷嘴没有光阻滴出2）把原来放光阻瓶的位置换上丙酮瓶,作清洗3）打开 2#缓冲排气阀4）慢慢打开 1#针阀,连接 N2到光阻瓶盖上,把光阻压入缓冲瓶,液位 sensor亮,除去 N2管,同时关掉 2#阀5）打开 3#排液阀6）慢慢打开 1#针阀,连接 N2到光阻瓶盖上,把光阻压入接过滤器的排液管路,除去 N2管,关闭 3#阀7）启动光刻胶泵直接纯净的丙酮排出后,再停止光刻胶泵8
3、）再启动光刻胶泵,直接没有液体从喷嘴中排出9）换上新的光刻胶瓶,10） 打开 2#缓冲排气阀文件代码 SNS-WI-S2-001 页次 2/2版本版次 A0 制定日期 2010-12-01制定部门 生产二部TRACK换液（丙酮、PR、显液）规范生效日期 2011-02-0111） 慢慢打开 1#针阀,连接 N2到光刻胶瓶盖上,把光阻压入缓冲杯中直至液位 sensor亮,关掉 2#缓冲阀12） 更换完成三、更换丙酮1、打开丙酮柜门， ，将氮气阀门关闭，拉出丙酮柜子，开启罐盖2、倒入新丙酮，盖好罐盖，将丙酮柜子推回原位。3、打开氮气阀门，观察压力表，指针指向绿色区域即为正常四、显影液更换方法与丙酮溶液更换方法类似相关图片：注意 事项：1， 更 换新光刻胶及新显影液时需专人更换。2， 更换新光刻胶及新显影液后需试产顺利后方可量产。
