1、激光超声检测技术目前，激光超声的接收主要有传感器检测和光学法检测两类。 传感器检测包括压电陶瓷换能器检测，电磁声换能器检测，电容声换能器检测。这些检测方法,可以十分简便地接收到激光超声信号，但传感器必须与样品接触，或者非常接近样品表面，才能获得高的检测灵敏度。并且超声检测用压电换能器接收超声信号这种方法需要用耦合剂，对被测样品会产生影响。利用光学方法探测材料表面的超声振动是一种新型的无损检测手段，该方法具有非接触、灵敏度高等特点，能够克服传统超声波检测需要耦合剂的缺点，是真正意义上的非接触、宽带检测技术。光学法检测技术又可细分为非干涉检测技术和干涉检测技术两种。目前广泛使用的是外插干涉仪、共焦
2、 F- P干涉仪是线性干涉仪，而相位共轭干涉仪，双波混合干涉仪以及光感生电动势干涉仪则属于非线性光学的。1.1 非干涉检测技术非干涉检测技术包括刀刃检测技术，表面栅格衍射技术和反射率检测技术等。1.1.1 刀刃检测技术当照射到样品表面的检测光束直径小于激光超声波长时，检测光的反射光由于样品表面超声振动而发生偏转，偏转大小由刀刃割截的光通量或位移检测器测定。反射光的偏转值与声波的幅值及性质有关，它反映了表面波和体波的传播情况，以及样品的内部缺陷和微结构。该方法具有结构简单，频带宽，环境振动影响小等优点，是对抛光表面样品进行超声检测的有效工具，其装置如下图1.1所示： 检测光 探测器刀刃图1.1
3、刀刃检测技术示意图具体如图1.2光偏转技术是一种结构简单、对环境振动不敏感的探测方法，其中最常见的形式是刀口法。如图所示，一束直径为D的探测激光束被焦距为F1的透镜L1聚焦至样品表面，样品表面因为超声波传播引起的局部倾斜，当入射于表面的探测光斑的尺寸比检测的最短声波长小时，由声扰动导致的表面倾斜会使反射光发生偏转，偏转了的反射光束就携带了超声信息，通过焦距为F2的透镜L2准直，光束在透镜L2上的光斑直径为d，利用刀口挡住出射光的一半，另一半被透镜L3聚焦至光电探测器上进行测定，通过光强的变化探测声波。设反射光束以垂直于刀刃的方向入射，投射到传感器上的激光强度是高斯分布， 0A 是入射光电场强度
4、的振幅，d是反射光束直径， 32 /FDFd ，样品受超声扰动后表面的倾斜度为，当偏转很小时，光电二极管的输出光电流为DFIi isig 122 (1.1)式中:是光电管的灵敏系数,单位是 WA/ ， iI是入射光束的光强， 20AIi 。同光电探测器 探测激光L2 L1刀口L3 图1.2 刀口法探测超声波具体图样假设超声引起的表面位 )sin()( xkwUtU aa ，式中 ak 为声传播常数，U是声振幅，当表面倾斜角很小时 )cos( xktwUkxu aaa （1.2）平均角度 aarm UUk /22/ ,其中 a 为声波波长，则光电管输出电流与声 波 的 关 系 为 )(4 1 a
5、isig UDFIi （1.3）当声波为宽频脉冲波时，可以将脉冲声波看成简谐波的叠加 ni aiiisig UDFIi 11 )(4 （1.4）iU 和 ai ，分别是各频率分量声波的振幅和波长。光偏转技术的信噪比同样受量子噪声限制，信噪比为iIaUDFhvBaSNR 221 )()(16 （1.5）式中：B是声频带宽，v是光子频率。其最小可检测振幅( 1SNR 时)为2110min )(4 iaIhvBFDU (1.6)光偏转技术可以用来检测激光超声波的位移梯度，并且已成熟地应用在诸如原子力显微镜、激光扫描显微镜等仪器中。这种方法结构简单，因此造价不高，它的缺点在于探测低频超声时灵敏度低，并
6、且对样品表面的要求也比较高。对于公式1.5用matlab进行仿真mF 1.01 ，是光电管的灵敏系数,单位是 WA/ (2.2150.047)， iI是入射光束的光强为 cd15 （高亮LED）， a 为声波波长0.01m，B是声频带宽14khz，v是光子频率6.339470（26）1014 HZ， h= 6.62619610-34 Js ，声波的振幅为 um5.11.1.2 表面栅格衍射技术当入射光斑的尺寸相当于几个声波的波长时，由于Bragg效应或Raman-Nath效应，会产生一级或多级衍射光，通过测量衍射光的强度和偏转角，可测定超声波的特性。表面衍射技术是把声表面波的位移作为电场振幅来
7、检测，其简单原理如图1.3所示： 1 1 负一级衍射入射光一级衍射声波图1.3 以D为自变量，SNR为应变量的matlab仿真图表面栅衍射技术是令一束有一定宽度的光束，通常要求宽度为几个声波长，垂直投射到受超声扰动的表面上，超声扰动使表面形成光栅，由于Bragg效应或Raman一Nath效应，光束发生衍射，出现一级或多级衍射光分布在镜式反射的零级光的一侧或两侧。衍射光的传播方向由下式决定:00 /sinsin nn （1.7）其中 a 、分别为声波长和光波长，n是衍射光的级数。当超声波的振幅比光波长小得多时，第一级和零级衍射光的相对强度为2101 )( ukJII a（1.8）)(1 ukJ
8、a 是第一类一阶Bessel函数，u是峰值表面位移。1.1.3 反射率检测技术脉冲激光照射到样品的表面上所产生的超声应力能引起样品光折射率的微小改变，这种微小改变又能引起样品镜式或弥散式反射率的变化，通过检测这种变化，即可得到脉冲激光在薄膜中产生的超声回波。1.2 干涉检测技术根据是否使用非线性晶体，干涉检测技术又可分为线性干涉检测技术和非线性干涉检测技术。1.2.1 线性干涉检测技术线性干涉检测技术包括自差、外差和共焦Fabry-Perot干涉检测技术等，它们使用的干涉仪分别为自差干涉仪、外差干涉仪和共焦Fabry-Perot干涉仪。自差干涉检测自差干涉检测是将样品表面直接作为迈克尔逊干涉仪
9、测量臂中的反射镜，其图1.4 表面栅衍射原理图原理如图1.4所示。激光器发射的脉冲激光被分束镜分成两路，一路经透镜聚焦后入射到样品表面，反射光再经分束镜后进入探测器；另一路经反射镜和分束镜后也进探测器，二者发生干涉。设样品表面的超声振动为 )(tu ，激光脉冲被样品表面反射的相移为 )(4 tu ，则两光束干涉后的光强表达|式为 )()(4cos20 ttuSQQSII （1.9）式中S为参考光束有效强度透过系数，Q样品表面反射的检测光束的有效强度透过系数， )(t 为相位，t为时间。其中，相位 )(t 由干涉仪的光程差决定，并受外界振动影响。实际应用中可通过调节迈克尔逊干涉仪的参考镜，使光程
10、差2/2)( kt(k为整数），当 )(tu 远小于光波波长时，干涉光强为)(42)(4sin2 00 tuSQQSItuSQQSII （1.10）样品探测器 超声波激光器 图1.5 自差干涉检测原理图假设光波波长 um3 ， 5.0s ， 5.0Q ， cdI 10 ，用Matlab仿真式1.10，得到图1.6外差干涉检测如果在迈克尔逊干涉仪的参考臂中引入频移系统，使参考光产生射频范围内的频移，即构成外差干涉检测仪，其示意图见图1.5。脉冲激光器发出的光束，经分束镜分成两束，其中的一束经移频装置后有 Bf 的频移，经反射镜反射后与样品表面反射的信号光发生干涉。由探测器检测出频移和干涉光强度，
11、从而得到样品超声振动的位移信息 样品超声波探测器图1.7 外差干涉检测原理图激光器 频移系统图1.6 以t为自变量，I为应变量的matlab仿真图设信号光的频率为 Sf ，参考光的频率为 BSR fff ，则参考光、信号光的电场矢量 )(tER ， )(tES 分别为 )2cos()( RRRR fEtE （1.11） )2cos()( sSSS fEtE （1.12）其中， S 和 R 为信号光和考光的相位， SE 和 RE 分别为信号光和参考光场的振幅。信号光和参考光完全准直时，假设二者的偏振方向和传播方向相同，并且垂直射到光探测器上。由于光电探测器的输出正比于合场强的平方，则光电流 )(
12、ti 为2)2cos()2cos()( RRRSSS tfEtfEti )24cos(21)24cos(212121 22 RRRSSSRS tfEtfEEE )2cos()(2cos tfEEtffEE BRSSRRSRS（1.13）式中三、四、五项是光频项，光电探测器无法响应，实际输出的光电流为)2cos(2)( tfIIIIti BRSRS（1.14）式中， SI ， RI ， Sf ， SR 分别为信号光、参考光的直流分量，射频发生器的频率，两光束的相位差。式（1.14）是未加超声信号时的光电探测器的输出，如果样品表面的超声位移为)(tu 。则来自样品表面反射的信号光发生 )(4 tu
13、 的相移，这时光电流的表达式为)(42cos(2)( tutfIIIIti BRSRS（1.15）由式（1.15）可以看出，光电探测器的输出电流由直流成份和相位调制的交流成份组成，其中直流项可以从测量中去除，而相位调制信号可经过调相解调后得到所探测的超声位移u（t），这就是激光外差干涉法探测超声微振动的原理。用matlab仿真如图1.8，设定以下参数cdII RS 5.0 ， MHZfB 50 ， um3 ， tfAtu B2cos)( 0 ， 2 10 A如果信号光和参考光之问存在一定的夹角(空间准直角)，则探测器的输出光电 流 为 27 ： 22sin)(cos)cos1()( 1 DDw
14、tEEkti RSRS （1.16）式中， 1k 为比例系数，为光电探测器光量子效率，D为光敏面的直径，图1.8 对式1.15进行的matlab仿真 /sin2 。当光电器件的量子噪声很小时，可以只考虑参考光的散粒噪声，光外差系统的 信 噪 比 为 25 221 22sin)cos1( DDkSNR （1.17）由式1.17可得系统信噪比与检测光束空间准直角的关系曲线如图1.9由式（1.16），式（1.17）和图1.8可以看出，信号光与参考光的空间准直性和在分束器上的入射角对外差信号的强度和信噪比有极大的影响。当122sin DD 时，光电流及信噪比达到最大，当 2D ，即 D/sin 时，光
15、电流 0i ，为了保证有一定的光电流和足够的信噪比，两束光间的空间准直角必须满足 )/arcsin( D ，且愈小愈好。外差干涉检测的优点是用调制信号去控制载波相位将激光超声加载到高频范围内处理，使载波振荡的瞬时相位按调制信号的规律变化，有效地抑制低频噪声的干扰，能对粗糙表面进行检测，并对环境振动有较强的抗干扰能力。与自差干涉检测相比，外差干涉检测大大提高了系统的信噪比28。SNR 24 夹角0.080.060.040.0200.00图1.9 信噪比与信号光和参考光的准直角的关系自差法和外差法的共同特点是对表面位移灵敏29，但它无法消除工业现场各种振动对探测的干扰而且这两种方法只有接收一个光斑
16、时才有最佳的探测效果，因此通常只适用于实验室条件下的光滑表面的超声振动的探测。共焦F-P干涉检测共焦法布里一珀罗干涉仪属于速度型干涉仪，基于振动表面反射光和散射光的多普勒频移，使光的频率受到超声波信号的调制，再由共焦球面法布里珀罗干涉仪解调，将频率调制变为光强调制，从而检测超声振动信号，如图1.10所示。这种干涉仪具有带宽、灵敏及较大入射孔径的特点，只对固体表面的振动速度灵敏，对周围环境振动较不敏感，有很强的聚光能力，且结构紧凑，适用于对光学粗糙表面的检测，但其频率响应不够平坦，呈带通型，在需精密测量超声波形的场合这将引入一定的误差。1.2.2 非线性干涉检测技术非线性干涉检测包括相位共轭干涉
17、检测：双波混合干涉检测；光感生电动势干涉检测等。当检测激光束入射到一粗糙样品表面时，反射光的波前由于表面散射而畸变，相位共轭干涉仪将这畸变的反射波前再经一相位共轭镜(如BaTiO3晶体)反射而变成有共轭相位的畸变波前。当这光束再入射到反射区时，畸变的相位得到了补偿而“复原”。这样，它与原入射波前干涉，就可获得样品表面的运动信息。这就是相位共轭干涉检测30。双波混合干涉是将由样品表面反射的信号光束与参考光束在非线性光学晶体像BaTiO3等)中相干涉，而形成动态光栅，再让参考光束通过这光栅形成波前“畸变”的参考光束，它与“畸变”的信号光束再相干涉，以达到测量样品表激光器 腔长控制被 测试 样 探测器图1.10 共焦F -P 干涉仪测量系统面的目的。光感生电动势干涉检测利用了像GaAs这类晶体，这类晶体能生成和贮存个内电场，而这内电场的分布与入射光束的空问强度分布相对应。当这空问光强分布作横向移动时，贮存的空间电荷场会产生一时变的电流输出。所以，它不需要额外的光电捡测器，就可以通过晶体上干涉条纹图像的移动而测量样品的法向位移。Photo-EMF器件像普通的半导体器件样可以集成，而且有较高的截止频率，像GaAs的Photo-EMF器件的截止频率可高达80MHz。
