1、 特殊气体管路施工规范0特殊气体管路暨高洁净度管路施 工 规 范特殊气体管路施工规范1目 录1.无尘室作业安全规范2.piping installation 管路架设3.弯管作业规范4.熔接规范5.测试规范6.工安规范7.监工人员工地监工准则特殊气体管路施工规范2作业标准程序1.无尘室作业安全规范1-1.一般清洁区工作条件(厂务机房)1).进入工作区前，鞋子必须清理干净。2).最好每天擦拭有类似金属碎屑等东西的地方。3).有规则的存放材料。4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料。5).所有工作区必须有垃圾筒，收集废料等东西。6).材料人员进出必须清洁一次。7).所有人员及设备每周必须清洁一次
2、。8).产生污染的工作必须个隔离。(喷漆、磨砂轮机等)1-2.非常干净区工作条件(洁净室地下回风区)1).必须换穿专用的鞋子或鞋套。2).使用真空吸尘器清除脏东西。3).有规则的存放材料。4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料。5).所有使用过的材料、残余剩料等必须每日清除。6).所有工作区内必须有密封式垃圾筒，收集废料等东西。7).材料人员进出必须管制。8).所有人员及设备每周必须清洁一次。9).产生污染的工作必须隔离(如喷漆、磨砂轮机等)。10).进出工作区内的全部材料必须清理干净，才可进入。11).所有工作区必须换穿干净工作服。12).工作区的管线设备禁止勾攀、践踏、吊挂东西。1-3.
3、绝对干净区工作条件(洁净室生产区)1).必须换穿无尘专用的鞋子或鞋套。2).使用中央系统真空或特别过滤装置的手提真空吸尘器清除作业时产生的金属等粉特殊气体管路施工规范3屑。3).有规则的存放使用材料。4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料。5).所有使用过的材料、残余剩料等必须每日清除。6).所工作区内须有密封式垃圾筒，收集废料东西。7).材料人员进出必须管制。8).所有工作人员及业主人员每日必须清洁干净。9).产生污染的工作必须于进入无尘室前完成。10).进入工作区内的全部材料和工具必须用水清洗干净，才可进入。11).除入无尘室应换穿无尘依及尼龙手套外，余均应穿着干净之工作服。12).禁止
4、木质或瓦愣纸材料所做的纸箱进入无尘室。13).禁止触碰任何液体和你不知道的任何器物。14).含有油品的工具禁止携入。1-4.清净室施工安全规则1).指定专人办理安全事宜。2).勿雇用童工。3).工作区域内禁止抽烟。4).必须准备安全眼镜。5).在清洁室须戴安全帽，特别是有震动时。6).任何时间内，均不得堵塞通道及出入口。7).在工作区域工作，必须保持干净；如有产生垃圾，必须随时准备垃圾袋，于每日收工时携出清净室。8).如有意外发生，须立刻告知监工。9).特殊危险工作区，须有安全围篱及警告标志。10).地板开口处，须有安全围篱及警告标志，以防止人员掉入。11).须备有灭火器以防火灾。12).灭火
5、器仅可使用泡沫灭火器，不可使用干粉灭火器。13).工作架在超出地面 2M 以上时，须使用鹰架，人员须系安全带(索)。14).鹰架、楼梯及工具，须保持良好状况。15).在超出地面 2M 以上时，工具须放置工具袋(箱)内。16).同时有两组人员在不同高度工作时，须有良好之连系。特殊气体管路施工规范417).工作区域内须有良好照明设备。18).所有使用之电缆及电线，须有良好绝缘。19).电缆及电线须连结良好，不可以电线直接插入插座。20).保险丝须确时使用，不可以钢丝替代。21).电缆及电线须正确使用，不可过载。22).如已送电之电力供应盘，须标示警告标志高压危险。23).所有圆柱型物品须直立，并以
6、链条或绳索固定。24).切勿于地板面滚动圆柱型物品。25).如须移动圆柱型物品，须使用特殊格架举。26).易燃物品如无人照料，不可置放于工作区域内。27).化学物品如有泄漏，必须马上处理。28).易燃物品须放置于有盖容器内。29).任何阀、开关插座、电源插座，不可随意开、关、拔除(机台管线)。30).任何配管配线、材料，非经过监工人员同意，不可擅自任意更改。特殊气体管路施工规范52.Piping installation 管路架设在无尘室或简易洁净室执行高洁净度配管工作时，必须遵循下列的规定。2-1.现场工作规定 携入材料必须置于特定的贮藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有
7、材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑料封套打开直到现埸要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。 切管切管时，使用的自动切割机或手动切管器必须是专门为半导体厂工作所设计的。切管器的刀片与管件成垂直方向，当使用自动切割机时，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一层未切断，藉以防止切割时的碎屑进入管内。 倒角原则上，在使用倒角机(TUBE SIZE 用)或锉刀(PIPE SIZE 用)时，小心地移开切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松驰或管子弯曲等状况发生时，这种管路是不合规定，必须重新切割及配置。当倒角时，在管的另一端必须用高
8、洁净度的氮气冲吹(氮气要经 0.02um 的过滤器过滤)。 N2 冲吹将管内的微粒冲吹出来。 工作后的清洁检视切割机的洁净度，保持机具不受油污，如果仍然看得见有油污或切割的碎屑残余，按照下列的方法清洁之。特殊气体管路施工规范6用 GN2 冲吹使用的 N2 必须经-80或更低的露点，经 0.02um 的过滤器干燥。 预制工作(在简易洁净室 clean booth)在现场的焊接工作降至最低量是必需的。配管区必须在有洁净气的地方，在工作时维持风扇正常运转，于早、中、晚用 O2 查看器检查 O2 的浓度。 点焊点焊使用 TIG 焊接，点焊的点数按照下列规定。(CAJON 的焊机必需保证管子确实牢固，从
9、完成的观点来看，最好不要使用手动的TIG 焊接，因此点焊被省略)。3/4” 到 15A 到 80A：34 点。 冲吹气体(Back seal gas)使用氩气，露点-80或更低，氧含量在 0.1ppm 以下，微粒(0.1um 以上)含量为零。 冲吹用管套连接冲吹气体管路与架设管路，使用(Back seal jig)如图(一)所示 Back sea jig (Back seal gas) 图(一) (参考用)特殊气体管路施工规范7 架设程序(图二)将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀氩气冲吹(预先冲吹 1 分钟以上) 点 焊氩气冲吹焊接(自动焊接) 氩气冲吹风(收尾冲吹 1 分钟以上)GAr
10、 GAr 图(二) 装封(在 Clean booth 内进行)完成焊接之后，在管内充满 Ar 气，而且用无尘的塑料纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑料纸裹起来。2-2.现场施工 预制管件连结连结在 Clean booth 装封好的管件 现场焊接现埸焊接的人员必须有受过高洁净度配管技术检定通过。特殊气体管路施工规范8焊接工作(i)(ii) GAr GAr(iii) GAr GAr (iv) GAr GAr(i)原封至现埸。(ii)先拆卸一端封套，并连接 Back seal gas。(iii)拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。(iv)连接后将一端之 Back seal gas 拆掉
11、使成出气端，并开始 焊接。 管路维持条件即使焊接结束，也要维持小量的 N2 或 Ar 在管内冲吹以防止空气流入管内。无论如何也要想办法把管内的空气及微粒弄出来，如果无法继续冲吹。特殊气体管路施工规范9 焊机电源供给电源的电压的变动，对于管路焊接的质量影响甚巨。使用自动焊接机的电源必需使用特定的整流器。容许的电压波动 AC 100V10%，AC 200V10%，在焊接进行时电压警报器一直监视着电压，如果电压超过可容许的范围时，警报器就会发出声音。2-3.其他注意事项下述的工作是在架设高洁净度的管路时必需要执行的。 控制氩气冲吹 用压力计或液位计察看尚余有多少氩气。 看流量计的刻度检查冲吹气体的容
12、量。 使用采样品阀从钢瓶或气体来源收集氩气，测量氩气纯度确定露点是在-80以下，残余氧气低于 0.1ppm，微粒含量为 0 (0.1um 以上的微粒)。 在工作处测量架设管路末端的氩气纯度，确定露点在-70以下残余氧气低于 2ppm，测量地点必须在监工及焊接都同意的地方。 前 4 项规定的工作前在每天开始工作由监工或工作人员执行以控制质量符合要求。 若气体容量未达标准，通知监工，暂停工作，但是冲吹必须持续进行，或使用预留的LN2，当要使用预留 LN2 时，必定要做分析供给气体纯度的工作。 简易洁净室(Clean booth)的洁净度的控制 在 Clean booth 内测量焊接处的微粒数量(0
13、.1um 以上)不能超过 100 个/c.f，class 10000 是用作贮藏用，class 1000 是组装用。 在正常使用中测量微粒的工作一天至少进行 1 次。 洁净衣物的管制 在 Clean booth 内使用的洁净衣、洁净鞋、洁净手套及其他设备必需在使用前检查其洁净度。 使用的洁净衣物等，必需一个星期清洗一次，不论有否弄脏。特殊气体管路施工规范10 洁净室依据洁净室人员管制规定的管制细则，所有的工作人员皆需致力于工作在一个高洁净空气环境中。 焊接状况的检查(由个人或监工)当自动焊接机的工作条件改变时，必须确定焊接数据与工作条件一致。 钨棒的保养及管制 要时时注意钨棒是否变形。 磨钨棒
14、的工作必须是由监工认可之专业人员使用特定的设备来执行。 样品制作及焊接条件的检查(焊接者或监工) 每日早上在上工前要制作数个同样大小的样品。 监工切开样品，检查管内部焊接情况，用目视确定焊接的地方没有不规则的孔、裂缝、气孔或没有完全焊透等缺点存在。 若有焊接缺陷发现时，检查焊接条件、更换钨棒、检查冲吹气体纯度、质量及冲吹的方法，直到结果令人满意，方可进行配管工作。 样品及焊接数据必须同时保存。特殊气体管路施工规范112-4.要求 机器携入及架设 从侧边带入机器要在事先申请同意路线，并且使用的拖车放在特定的地方。 在水泥地板上使用铁锚类之固定机器。 经纵、横的方向确定无误后，固定机器。 机器必须
15、在地板的防尘油漆涂上之前装上。 管路标记 至少每 5M 要有标签贴在管路上，标明气体名称流向 开/关显示除了球阀外，所有的阀都要有开/关的标示。 特殊气体管路施工规范123.弯管作业规范3-1.说明本项说明 Gas System 作成时，如何使用手工具 PIPE BENDER 来进行弯曲作业。主要对象SUS 316 BA 管，外径 1/4” (6.35)使用工具 R1 NO.394 LEVER 型 TUBE BENDER 。3-2.配管图看法与管长之决定配管图尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之长之谓。特殊气体管路施工规范13“a” “a” 特殊气体管路施工规范14通常在配管分岐点实施熔接
16、很多，兹以下图表示之。至中心点之长度约 +3 mm (1/4” OD)(则 3.15 mm -3mm)约 +5 mm (3/8” OD)使用 TUBE BENDER 来加以弯曲之中心点大约弯曲 15R 与直角弯曲比较，配管全长变短，亦即图面上所配尺寸相加长度比实际配管长度长。特殊气体管路施工规范15180 度弯曲(R 弯曲),每一弯曲，其 SET BACK 为 14.6 mm 其计算如下：5090 30 120管长=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269 mm 1/4” OD又 3/8”时 R 弯曲 Set Back 为 23.6 mm 依上图原理可得(50+30+90+120
17、)-23.6-10.5=255.9 mm 3/8” OD075 度范围角度弯苗，其 Set Back 为 0例如:75 度特殊气体管路施工规范16其管长=(50+53.94+40)-6.4=137.5其长度差即所谓 Set Back ，在 1/4” OD 配管，每一弯曲可短小 6.4 mm (6.35mm)下面有 1/4” 、3/8” 各种埸合之 Set Back 之表。Set Back弯曲次数1/4” 3/8” 1/8”1 6.4 mm 10.5mm 6.0mm2 12.7 21.0 123 19.1 31.5 184 25.4 42.0 245 31.8 63.0 306 38.1 63.
18、0 367 44.5 73.5 428 50.8 84.0 48例: 必要管长=(50+70+80)-12.7=187.33 mm2 次弯曲 Set Back因此准备 187.3 mm 长度配管就可进入作业。3-3.配管切割配管切割使用 Tube Cutter (Pipe Cutter)工具 RIDGID NO.105，配管开始切割时，必须前后旋转 34 次半周，使配管轴部方向不致造成直角，沟才开始进行。配管之切断处，事先用红笔做记号。切割深度一次切割过深会使切口未能成立真圆，慢慢进行，而把手旋转角度保持约 30 度就可。切割完毕，管内面产生突屑会致使内径缩小，须用铣面 Cutter 清除。最
19、后用铣面 Cutter 将突屑、粉屑清除。特殊气体管路施工规范173-4.配管弯曲作业应注意之原则配管开始弯曲作业应注意原则比较图面上两端、由短方面先开始弯曲，将较短尺寸配管上作记号、此部份应放在 Bender 左侧 Set 之。时时检查 Bender 之状态是否会造成管子受伤或变形。两端一方弯曲 180 度(R 弯曲)时，必须从 180 度弯曲方向作业。这个时候 R 弯曲尺寸在配管上做记号，而将此处置在 Bender 左侧予以 Set 之。3-5.尺寸固定(划线器划线方法) 从配管量尺寸用普通量尺就可，再用红铅笔作记号。 已施于弯曲一次的配管，则使用 T 型特别量尺，由配管中心划线。 实施
20、90 度以内弯曲后再做第二次弯曲划尺寸，依下列方法实行。3-6.熔接部份注意事项 使用 Argon Arc 分岐部份，使用专用冶具，并使用 Bord 板开孔。 开孔后配管内部产生突起屑，粉屑用 Reamer 工具清除。 施行多数弯曲作业其中有熔接分岐时，弯曲作业中途须要有开孔或清除粉屑的作业，因为等到弯曲作业完成后已经没有方法通进开孔或清除粉屑作业之工具。特殊气体管路施工规范184.熔接规范4-1.电源a.使用 Tester 确认电压b.使用 220V 的场合要确认结线。c.使用 110V 电源时，为保护配线，要使用附有漏电 Breaker 之插座。d.接地线要用熔接机单独使用者。4-2.氩气
21、a、 Argon gas 纯度达 99.999 以上才予使用。b、 原则上使用液化 Argon Gas 。c、 熔接时氧化膜无法去除时要检查 Gas 及输气管路。4-3.钨 Tungstena、 研磨时不能偏颇。b、 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研磨时使用研磨专用机。c、 Taper 角度请参考下记图面。2.5。1mm 0.2 1.6mm 0.3 熔接产生 Gap 时，用 Gap Gauge 来修正。特殊气体管路施工规范194-4.同心圆之确认a.确认 pipe 规格及材料，然后参考 Data 表设定之。b.Set 直管接住熔接机头用 Vis 调整。c.Set 短管用同心圆打圆圈确
22、认之。d.不是同心圆时，先考虑是否熔接机头之焊接头有歪曲就要更换 Head。4-5.熔接条件确认a.使用 Back Sealed Gas ，Purge 30 分程度，清除之流量为 5 l/min。b.使用 Date 表确认 Arc Gas Sealed Gas 流量，并记入 Data 表。4-6.Test 熔接a.使用对焊熔接物做样品熔接，制作 Cut Sample。b.熔接面联结、熔接程度、氧化膜产生程度都须确认。c.确认后，无问题才正式进行熔接。d.为防止表面氧化用喷枪 Ar Gas。 熔接作业重要事项a.防止中心点偏移：钨与熔接面位置。钨之研磨角度未出来。b.熔接联珠不均：切割面 90
23、度未出来。切割面有突起物。钨的消秏。c.防止熔化不足：尽可能观察熔接时之熔接内面。d.防止过熔低陷：利用控制内压之专用治具。e.防止膨胀熔接作业前，再确认熔接条件。f.熔接技术者，熔接完了后，确认熔接部份。特殊气体管路施工规范20氧化膜除去作业基准a、 氧化膜除去，使用 Stainless Brush Scotch Brush。b、 使用 Stain Bright 除去作业后，充分用纯水洗净。c、 水洗后，用氮气清除再用 IPA 洗净。d、 进行除去作业时，配管末端用盲 Cap 套住。e、 除去作业完成后，其外部用氮气清除尘埃。f、 收尾工程，配管内部用氮气清除。清除用氮气，通过 0.05um
24、 以上，具有除去性能之 Ceramic 或 Stainless Filter，并在 8kg/cm2的氮气压力下将管内清除。5.测试规范今依据各项执行顺序可分为七大部份:* 第一部份外观之检验。* 第二部份为管路的气密试验。* 第三部份为管路流程的检查。* 第四部份为 HE 测试。* 第五部份为微粒子测试、PARTICLE。* 第六部份为露点测试。* 第七部份含氧量测试。特殊气体管路施工规范215-1.外观检验:半导体于管线组装成后,须做管路之外观检验,其检验项目为: 所有管线是否依设计排列施工,并予标示气体种类。 所有使用之材料是否符合规定之材料。 管线之焊接是否有角度不正、倾斜、歪曲。 管线
25、是否有污物残留。 管线是否有凹陷、龟裂等不良缺陷。5-2.管路气密试验:在气密试验中,所采用测试方法均是采用通入高于各管路正常使用压力的 1.1 倍气体或 1.5 倍水的压力于管路中,再观察已安装好之压力计,判断其是否有漏气现象。但有些的管路受限于二段式的压力调节计,需另安装压力计,并由管路末端处灌压方式。当气密试验中,任一管路有了漏气现象。就必须进行查漏步骤。一般而言,在管路的查漏均均是采用 snoop 对漏气管路所有接点作泡沬测试(foaming testing),其可侦测漏气率约为 1*10-4 atm cc/sec。但是有一点必须注意是当压力计上有明显变化时其漏气已达 1*10-4 a
26、tm cc/sec 的标准以上,故使用 snoop 查漏是相当可靠。当然能有更精密仪器测是最好的方式；但是精密测漏仪器使用较为不便,若对宽广空间当然没有问题，但对狭窄及较高地点便不能安装,所以目前为止查漏必须有系统规划执行,否再有精密仪器也找不出漏气处,就以 GN2管路查漏为例,就可证明确实是如此。特殊气体管路施工规范225-3.压力及气密之检验方法1). 使用 0.01u m 过滤器过滤的氮气或厂内 PN2 系统做压力测试。2). 压力测试时所需压力大小及加压时间,设计值如附表所示。测试项目 规定气体 测试压力 测试时间气体测试 N2 10kg/cm2(或依业主规定) 30 分钟3). .管
27、路充入规定的压力气体后,检查所有被联接和焊接的部份,并用试漏液做探漏,维持管内充有压力并做记录。4). 记录任何被发现的异常点。5). 记录使用中的压力表读得有关数据。6). 从完成压力测试开始做气密测试,设计值、时间如附表测试项目 规定气体 测试压力 测试时间气体测试 N2 8kg/cm2(或依业主规定) 24 小时7). 做次测试时,首先计值充入管线中以 10 分钟或更久些,然后才开始做记录,以避免产生误差。8). 做气密记录测试时,必须使用读出型压力计做数据记录。在规定的压力和规定的保持时间后,管在线的压力没有显示下降,亦即从试压开始测试的压力和完成测试时的室温亦不同时,无论如,必须使下
28、列式子做温度系数的校正,来决定测试完成时,压力表所获得之数值能保持在开始时所记录的 98%以上,则此测试值被认可为通过测试。最后压力值= 测完压力/测完温度 *10098%始测压力/始测温度9).未接受试压部份,如安全阀、控制阀、压力计等,均应接受气密试验。气密试验的压力以不超过该组件的最大许可操作压为限。特殊气体管路施工规范235-4.气体管路流程检查此项目之测试依下列步骤为之:a、 将所有气体管路的末端阀打开。b、 列出(各种特殊气体管路应到远的末端阀的归纳表)关闭所试特殊气体管路的末端阀。c、 由所欲测特殊气体以 N2 充压该管路至一定压力,并观察五分钟,视压力计是否有下降现象。d、 若
29、压力计无下降,即代表管路无错接现象。若无下降现象打开欲测特气体管路末端阀,判断压力计是否会下降至零,若降至零代表压力计无问题。5-5.测漏检验a、 特殊气体配管,管做完上述测试后将管路抽真空,以 HE 气做测漏率的测试。b、 本公司使用为 BALZER HLT 160 HELIUM LEAKDETECTOR 设备。c、 本公司设备测漏率可达到-1*10 -11 atm.cc/sec。d、 测试标准 1*10-8 MABR L/S2*10-9 atm.cc/sec In board 或业主规定。e、 本公司有支持设备相同机型的提供厂商汉疆股份有限公司。 操作说明及注意事项a、 在开机前,应先平稳
30、放置不得倾斜。b、 开机后,不得随意移动。c、 关机后,必须听到 VENT 气声或 3-5 分钟后,方可移动或重新启动。d、 在开机前,须确定电压是否正确(110V/220V)e、 电压频率选择于 60HZ。f、 本机系属于精密电子仪器,故必须使用有接地的插头。特殊气体管路施工规范245-6.微氧分析测试程序 注 意 事 项选用气体 a.使用气体氧分纯度必须 50PPB 以下或经过 纯化器滤过氮气或同等纯度之气体。 测试设备热机 a.微氧分析仪开机后,必须热机 20 分钟才可衔接管路测试。清净管路 a.将测试管路或盘面进气孔接上气源。b.将测试管路盘面上,所有阀件全部打开。c.使用设计压力之气
31、源来 Purge 所要测试之管路。d.此 Purge 程序需维持 30 分钟以上。 a.气体于接上设备前必须将衔接测试管路 Purge5 分钟。NO b.经过 Purge 的衔接测试管路,衔接上微氧分析测试 仪后,打开微氧分析仪后,打开微氧分析仪电源进行测试。c.测试时依微氧分析仪测试数值的状况,同时进行测试与 Purge 直到测试值达到标准数值(50PPB)以下,才合格。YES结束 a.需测试姞果记录于微氧分析测试记录表,以作日后追溯与识别用的。特殊气体管路施工规范255-7.水份分析测 试 程 序 注 意 事 项选用气体 a.使用气体氧分纯度必须 50PPB 以下或经 过纯化器滤过氮气或同
32、等纯度之气体。 清净管路 a.将测试管路或盘面进气孔接上气源,将测试管路或盘面所有,所有阀件全部打开。b.使用设计压力气源来 Purge 测试之盘面管路。c.此 Purge 程序需维持 30 分钟以上。a.气体管路于衔接水份分析仪 SENSOR 前,必NO 须将衔接测试管路 Purge5 分钟,让衔接测试管路内之水份随 Purge 气体流出。测 试 b.并联气体管路之出气口至水份分析仪SENSOR 样品取样进气口。(注意:气体管路之出气口衔接水份分析仪YES SENSOR 时,Purge 气体必须在流通的状况下,且水份分析仪必须在开机的状况下)c.测试时依水份分析仪测试数值的状况,同时进行测试
33、与 Purge 直到水份分析仪测试值达到标准数值(10PPB)以下。结 束 a.需将测试结果记录于水份分析测试记录表上,以作日后追溯与识别用。 特殊气体管路施工规范266.工安规范一 般 守 则a、 请于施工前五天向工安部申请施工许可。b、 不可将逃指示灯及紧急照明灯取下使用。c、 工作中不可穿拖鞋、高跟鞋及赤脚。d、 遇停电时，不得乱跑或喧嚷，应先立于原地不动；再依规定方法离开现埸。e、 地上溅有油渍应立即除去。f、 电器开关、消防设施附近不可摆放物品。g、 攀爬过程中禁止践踏管线以免管线破裂。h、 工作时要配戴个人必须之安全防护具，并选择最安全之工作方法。i、 各项作业应依循标准作业程序，
34、不可擅自更改作业程序。j、 对于施工环境认知不足或工作执行有困难、疑问时应先请示工程监督单位。k、 施工许可/动火许可单应留置工作现场随时备查。l、 进入厂区工作应配戴工作证m、 进入无尘室内应依工程监督单位穿戴洁净服，在 FAB 一楼应穿鞋套。特殊气体管路施工规范276-1.吊装作业注意事项a、 工作区域应标示禁止人员通过，并有专人在现场指挥作业。b、 吊挂作业人员应具法定合格执照。c、 作业前应对吊索、吊炼、吊环、吊钩等进行检查，确定正常方可开始作业。d、 起吊物不得越过人员上方。e、 起吊物不可超过负载。f、 吊钩应尽量移挂于起重物重心之上。g、 不可以单索吊等不稳定方法起吊。h、 起吊
35、长形物或不安定物料时，应使用导引索，并以安全的方法操作。6-2.高空作业注意事项a、 高处作业应使用安全带、安全索、安全鞋、安全帽及其它必需之安全防护具。b、 高处作业应防止工具、材料落下伤人。c、 不可将两架梯连接当长梯使用。d、 上下梯子应面向梯子，以双手扶梯。e、 梯子应避免置于入口，否则门应加锁。f、 金属梯不可靠近电气设施以防止漏电。g、 使用架空板、鹰架及梯子应先检查确定安全后方可使用。h、 遇有大雨等恶劣天候应停止工作。i、 施工区域应作标示，并注意地面行人安全。特殊气体管路施工规范286-3.动火作业注意事项a、 需于施工前三天向工安部申请动火许可。b、 应于施工现场备妥灭火器
36、方可正式动火。c、 搬运电焊机应切断电源。d、 在高处电焊时应设置防制他人从下方通过。e、 不得在易燃易爆物附进近从事电焊作业。f、 在潮湿地点从事电焊作业时，应穿着绝缘良好之安全鞋。g、 应穿着防护衣、手套及护目镜。h、 搬运气体钢瓶应将瓶阀关闭，并用铁链条系牢，严禁弃置地面。i、 按照正常程操作，防止回火现象。j、 所有动火作须已具厂商动火作业令核可后始可施工。k、 电焊机应接地，但不得搭接在机械设备、栏杆或铁梯上。l、 严禁在高压气体容器上打火。m、 电焊作业应远离高压设备。特殊气体管路施工规范297.监工人员工地监工准则监工人员主要工作 - 监督、协调与配合以期确实掌握进度及确保工程质
37、量。7-1.准备工作:a、 提出购料、进料之进度表b、 准备进场人力物力之协调造册送业主审核c、 协调施工场地存放材料与材料管理7-2.对工程施工及负责范围内容应非常了解:合约内容包括: a).施工图面(施工详图及流程图)b).施工说明书c).机器设备材料规格7-3.提出周、月报表进度表:a、 依业主 MOVE IN 设备进度安排工程进度表b、 工程进度掌控，工程进度执行c、 每日审核工程进度，评估工程进度，回报工地安全报告7-4.对各设备气体管路配管规范:a、 充份了解工程现场及每一设备工程进度b、 对设备完成真空管路配管向业主提出完工报告c、 同本公司相同承包贵公司其它工程厂商及公司，协调
38、工程会议，材料管理，现场勘察，执行工作d、 对施工技术、用料、施工人员监督工作7-5.施工时要求事项:a、 施工时绝对禁止用手或物品触碰过滤网及其支架，并应避免站于机台上施工。b、 施工时搬运长物品时(例如管子)需留意四方，尤需注意不可误伤人员及设施，应有至少二人同时搬运，以防意外发生或万一意外发生时可相互支持。c、 如需于 C/R(以下 C/R 代表洁净室)，钻孔、磨平、切割等，易产生污染之动作，必须于高架地板下铺胶布收集，并于施工处用 C/R 专用吸尘器边施工边收集残屑，如可携出 C/R 施工时，应尽可能先行量好尺寸至 C/R 外施工。d、 架设 SUPPORT 来支撑管路，以进行焊接，并可避免管材置放地板即产生之污染。e、 施工时机台负责人需留于现场，施工承商必须依照同业主认可图面施工，如需作修改，需取得各负责人之允许。
