1、LCD 製程無塵室之異物對策,1/67,左右LCD製造TFT機能的良率。原因之一為異物。 因此，針對工廠全體之所有異物施以對策， 進而達到製品品質穩定之目的。 使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。 若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用。,異物對策,異物不良,所有異物對策之目的,2/67,1)Array工程發生大批pattern不良。斷路、短路。 2)Panel工程發生大批之pattern不良。電氣特性及表示畫面不良。3)模組工程電氣特性不良。BL異物不良。畫面不良的原因。,異物對策,異物成為何種不良,3/67,在一般家庭中出現那樣大的
2、物質稱為垃圾。 以m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01 m之物質皆有。現在的半導體業已經從64M 0.28 m更進一步到256M 0.2 m的Pattern配線，必需要求同程度以下的異物對策。人的頭髮直徑大約在5070 mTFT的配線大約在6 m的程度,異物對策,異物是何種尺寸的東西,4/67,依Array、Panel、Module之不同，對異物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。Array無塵室(全室)管理等級訂定100。Panel管理等級訂定10010000。Module部份的管理等級訂定10000100000。,異物對策,工
3、廠的異物管理,5/67,與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進無塵室。 與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。 從設備和工具，保修部品等帶進。 從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。 從器具備品、棚架和台車帶進。上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。,異物對策,異物從何處進入?,6/67,付著在物品上進入一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。人員攜入鞋子和無塵服和食物、手提袋等，會帶入污染物。從環境破壞而入從門縫、建築縫隙、天花板的間隙等，建築物的不良部份侵入。,異物對策,異物如何進入,7/67,金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有
4、異物產生。加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因摩擦而產生異物。材料的角邊和材質會產生異物。在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材質會因剝落而產生異物。,異物對策,異物如何產生,有摩擦的地方、部份等，全部會發塵,8/67,裝置驅動的地方就是產生異物的地方。齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子等，會摩擦的地方為發塵源。關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有細小的異物付著。人體會有很多細小的異物產生。皮膚、毛髮、體毛等異物會產生。,異物對策,實際上從哪裡產生的?,9/67,塵埃類土類、油類、煙類、塑膠類、其它。 金屬類裝置類、器具備品類、保管庫
5、、其它。 紙類包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。 人頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。,異物對策,有哪些種類的異物存在?,一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣,10/67,裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。 材料關係材料材質的發塵，加工時的發塵。 梱包關係梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。 人體皮膚、手垢、體毛、動作。 建築關係外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。,異物對策,異物從哪裡產生?,11/67,半導體是高精密度的圖案製成的 , 因此 , 圖案上若有東西附著或橫跨 , 會造成斷線及短路不良。 TFT是畫面的生命, 其中若有異物
6、附著,會遮住於畫面,造成不良。 ASSY製程中若異物進入 B/L(BLACKLIGHT) 內部, 會遮住顯示畫面, 看不見部份即為不良。 異物是最大的敵人 , 建造工廠必須花費很多經費 , 因此設備也是異物對策中最優先的課題。,異物對策,半導體製造是和異物的戰鬥,12/67,TFT LCD二廠製造部,2001/04/10, Array方面4m以下。由於配線上之異物造成短路 , 斷線。 Panel方面4 m以下由於配線上之異物造成短路 , 斷線。 Module方面B/L異物是以250 m以下做為良品判定基準 , 且以 畫面上之障礙物之大小為主。,異物對策,半導體現在和異物大小間的關係,肉眼在外觀
7、可視異物為不良原因,13/67, TFT的面積比現在的晶圓大。晶圓尺寸是 2530 公分。 TFT 是大畫面 , 即使有 1 個規定以上的異物附著於畫面上 , 都會引起畫面不良 , 因此比晶圓廠更嚴格的塵度管理是有必要的。現實上常因不良異物造成不良率達 40 50 %,要說明如何對策異物是困難的 , 但若能克服異物 , 即能期待高品質 , 高良率的產出。,異物對策,異物是TFT之良品率的關鍵,14/67, Array 製程 90分機器手臂引起的灰塵 , 設備的清潔 Panel 製程 70分機器手臂, 仕掛品 , 材料 , 作業面積 Module製程 30分通箱 , 拖盤 , 材料 , 清掃 ,
8、 5S 品保 30分室內環境 , 5S , 室內面積 資材中心 30分室內面積 , 開梱 , 搬入出方法 ,清掃,異物對策,現在的異物環境達多少分?,目標100分,15/67,因成本的關係最少需 90 分。本來 , 在工廠建設,設計階段時 , 檢討出塵埃管理標準來維持管理規定。造成工廠污染 , 或低於設計以下的 , 是人所造成要教導相關知識 , 及維持 無塵室 清潔 ,若無法推動 即會造成污染。制訂定期實施的適當維持體制 , 管理者的指導也是很重要的。,異物對策,異物環境至少需多少分?,16/67,管理監督者必須對塵埃有深入的理解。 人員必須有塵埃的意識。 人員必須有塵埃的知識。 人員必須有對
9、於塵埃的實際操作技能。 必須有對於塵埃的工作團隊體制。 必須對塵埃管理。知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。,異物對策,異物對策必要的工作有那些？,知不知道要做什麼？,17/67,知識 關於異物三原則及其具體的內容和異物。 意識 品質的關係和製造損失等。 實技 實際上如何做？ 清掃道具 什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？ 管理方法 在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？ 管理者的意識 推動塵埃關係的整合。,異物對策,以什麼樣的方式實施教育？,18/67,異物對品質 左右品質的一個原因為異物，突然使製品機能變化造成不良。材料發塵，不當梱包方法產生異物，搬出入方法產生物品。設備及工具也會從測定器
10、發塵。室內的一切器具備品，人員穿著的無塵服，鞋子，洗手機，Air Shower等的異物意識。,異物對策,人的意識可以改變品質度,意識和知識,19/67,特殊的產業 就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活動,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工廠。但是被要求以m為單位的場所,可說是以半導體相關的行業為代表。塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用支出的目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設備和維護管理都必須用掉很大費用。,異物對策,所有異物的影響,20/67,廠內人員對塵埃不能理解。 不能理解生產與塵埃間的關係。 裝置必須在何種狀態? 室內環境該如何? 材料該如何? 要用什
11、麼樣的對策及方法來維持管理,若大多數的人不能 理解即是問題。,異物對策,連目的都不知道的人,21/67,不攜入不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室的東西須全數實施異物對策。 不使發展不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、設備及異物發塵。 去除到不殘留要全部徹底除去潔淨室內的異物，從意想不到的地方之發塵去除並建立發塵對策。,異物對策,所謂異物三原則,22/67,不良的半數為異物 影響TFT或晶圓的良率，歸究原因為異物所引起的佔大多數。在製品的圖案中，有異物附著會造成短路的情形，在傳送的配(引)線上時，會對正確的配線構成損害。異物附著在畫面上，造成陰影而使影像無法看見。異物成為引發各種損害的原因。
12、,異物對策,所謂異物三原則,提昇良率的第一步即為對異物的管理,23/67,氣象條件與國民性 日本人是極為愛好清潔的。即使在住家也區別室內、室外鞋。四季分明，冬季寒冷，採取以門確實隔離內外部的生活方式。 可能和開放的炎熱國家，有很大的差異。並且，維持良好的環境。 被塵埃所左右生產的半導體產業，就日本人的生活方式，正好可輕易達成嚴實的生產條件。,異物對策,垃圾及異物與國民性,24/67,清掃，是對人的意識改革，由人來清除異物。 異物決定了品質，影響利益，所以防止異物的對策可謂關鍵。 根據異物三原則，貫徹的作法是必要的，建立這些(以下等等)平常能實施的體制。 有效的清掃方法。有效的清潔工具。有效的清
13、掃頻度。制定不需清掃的環境。有效清掃特定時間。,異物對策,要提高品質就要清掃,25/67,清掃的方法改變了成效 清掃的方法決定成效雖然稱做清掃，但若只將吸塵器啟動實施清潔那麼成效並不彰顯。 清掃地點的順序從高的地方到低的地方，上風處至下風處。 清掃上使用工具的順序先用吸塵器再擦拭，擦拭時以單方向進行往復式清潔易造成擦拭後仍有污染附著。,異物對策,用清掃的方法清掃效果的改變,26/67,半導體關連產業沒有異物的環境，可作為品質製造上的基準。必須和5S緊密的接合作業場所雜亂會是什麼東西造成的？或是處於易發生錯誤的狀態下。在整齊和美觀狀態下之作業場所的生產人員，對於異物較能察覺。同一製品在大量生產時
14、，要保持美觀、整齊，就是要先做好異物的管理。,異物對策,清掃達到品質基準,27/67,每個人份內的清掃工作做好的話，那是製造完美產品的捷徑,清掃頻度依清掃場所來決定清掃次數，次數越多越乾淨，但成本亦愈高，因此依地點決定清掃之次數。直接加工的場所的周邊清掃的頻度也較高。清掃時間依場所裝置部分，有些地方必須花費必要之時間仔細的清掃。,異物對策,清掃頻度和時間,綜合場所、頻度和加工內容一併討論，設定頻度及清掃時間,28/67,關於D計劃D：日day每天五分鐘，自作業場所一公尺內周邊實施清掃。 關於W計劃W：週week週末的三十分鐘，將高架地板上面全部清掃。 關於M計劃M：月month每月一次花費8小
15、時的時間，從高架地板下面從頭到尾的仔細清掃。,異物對策,知道DWM計劃嗎？,29/67,掃除機(吸塵器)：使用無塵室專用的掃除機(吸塵器)。因製造廠商眾多，購入時要仔細確認。 或者使用無塵室專用的中央控制真空集塵設備。種種情形就必須使用較長的管子，故對於操作方法及保管場所必須加以檢討。擦拭材料：因為無塵布的種類多，選擇符合用途及等級之無塵布，沾酒精之材料亦可使用。,異物對策,清掃道具,NO.1,30/67,小鑷子：在金屬 (機器) 的狹窄空間作清掃時，手無法伸入，即使伸入亦有危險，必須將無塵布纏繞在小鑷子或金屬棒上做清潔動作。 刷子：就使用場所而言，依發塵的場所必須使用刷子清潔時才使用。 橡膠
16、手套：使用藥品等及清潔有油的地方時，必須戴上手套。,異物對策,清掃道具,NO.2,31/67,在金屬加工及其它加工所產生的粉塵散佈在地板上，人們穿的鞋子踏到粉塵後，在工場內到處走動而造成異物的擴散。維修室的物品搬至無塵室時，須先清掃 (清除) 乾淨後再搬入。在維修室、設保的房間內，須設置清掃用具及無塵布。,異物對策,維修室及保全室鞋子的發塵,鞋子要有內部與外部的區別,32/67,環境的確認在無塵室入口徹底的清除異物是非常重要的。Air shower能適時將異物吹落嗎？要從吹的高度及吹的時間等來觀察？ 雙層梱包的陷井物品在雙層包裝中不會受污染，因此問題在於要在無塵室 開梱及是在何處梱包？若不檢討
17、開梱場所的話，所攜入的物品就會散布異物。,異物對策,物品攜入無塵室應如何作？,33/67,去除異物場所的確認開梱場所的指定和開梱方法及搬入都與散佈異物有所關連。直接在地板上做開梱等動作時，會使異物附著在攜入物品上。 搬入路線和中途的置放場所搬入路線和中途的置放場所一定要經過 Air shower再進入無塵室。置放的場所不可靠近地板，要考慮如何對策異物的附著。,異物對策,攜入物品時的注意點,34/67,去除異物的方法和場所？利用AIR Shower 走道。用酒精等擦拭。 防止異物附著的對策將物品保管在無塵罩內。利用密閉容器。,異物對策,攜入物品時異物的去除,請確認己經將異物除去了嗎？,35/67
18、,從人的衣服上從衣服發出灰塵。從內衣褲、外衣、襪子等產生。 從皮膚上、體毛等從手的皮膚上發出灰塵，及臉上皮膚脫落。 化妝品也會在一天之中掉落，頭髮體毛等的脫落。 活動時人行動時產生風，因而將異物捲起向上擴散。人打噴嚏也會引起。,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,36/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,在裝置方面：在裝置的驅動部，傳動帶等摩擦的地方，動力部的Air、Gas噴出口的周圍，裝置加工部，因不同的加工方法會產生不同的發塵。 在治工具方面：在治工具中金屬角落 (邊) 摩擦產生的金屬粉屑。 在計器類 (儀表) 方面：油漆、接著劑等產生的粉屑。 在材料、製品、取出口方面：在材
19、料的取出口，製品的出入口，及裝入材料及製品的容器。,37/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,在材料搬入方面：從外面搬入的材料，大量異物會附著在上面。應該在何種環境下生產？包裝材料：包裝材料的容器、包裝的袋子、瓦楞紙等都會產生大量異物。,在工場的入口處要防止異物的搬入。,38/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,製品通箱使用之製品容器，即通箱含有很多異物掉入，因平常不會從下方抽出通箱，故易堆積異物托盤使用之托盤平常為外露狀態，若不清掃會堆積污垢，長時間下來若不擦掉污垢就無法去除,39/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,製品棚架製品架是異物易停留的地方，迴風是由上
20、而下，因此從上方而來的異物，全部被阻擋在製品棚架的上方。保管庫內製品保管庫內若不清掃，亦會成為異物堆積的地方，但每次出入時，會擾動異物而擴散至周圍。,40/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,台車台車上也是異物常掉落而堆積的地方，儘量設計為不掉落之構造，人員作上下裝卸時，引起很多風的捲動，異物亦隨之散落。車輪無塵室內來回移動台車的輪胎，會將異物帶至各處，且輪胎本身亦會發塵。,41/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,文具類紙類膠帶類筆記用品類等都是發塵的來源。記錄用品類從各種記錄用紙或紙類的四角磨擦皆會發塵。公告欄公告欄長時間在乾燥的室內，表面會變的容易發塵。卡片匣須作防靜
21、電處理，若沒有則容易使異物吸付在上面。,42/67,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,無塵服無塵服容易與裝置設備因接觸而污染，所以須定期送洗。無塵服拉鍊須完全拉上，頭套須套住臉與頭髮，以防止異物 發生。手袋(手套)從破損、油、藥品及污垢等產生異物。,43/67,門在門故障時，異物容易在間隙中積存。在門的橫條縫中，異物容易在這裡積存。從Air Shower從門的空隙進入無塵室。 吹出口周圍及標示牌的膠帶脫落後，都容易積存。,異物對策,它項,在什麼地方會產生異物,44/67,機械手臂在貨物裝載的地方容易積存。裝卸部的驅動部分容易堆積。從機械手臂的導輪部發塵。機械手臂路徑從導輪屑、導軌Tape
22、的摩耗部發塵。,異物對策,它項,在什麼地方會產生異物,45/67,不注意下列項目物品就會發塵、散亂材料的開梱場所開梱場所選定了嗎？開梱場所和生產場所有否分開？開梱場所地板的地上已舖上墊子嗎？包裝材的瓦楞紙是在外面做開梱嗎？開梱前的場所與開梱後的場所是分開的嗎？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO1,46/67,不注意下列項目物品就會發塵、散亂裝置是否有漏油嗎？是否有生銹嗎？從驅動部是否有異物發塵嗎？電鍍油漆部位是否有剝落？裝置的角落，是否有與台車或其他物品擦到而剝落嗎？氣體是否有外漏嗎？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO2,47/67,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂治工具是否有污垢？
23、是否有油污附著？是否生鏽？是否有金屬脫落及金屬屑？是否有鍍膜或油漆的剝落？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO3,48/67,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂部材何種包裝材料？包裝材料是否有污染？裝材料用托盤是否污染？材料無污染嗎？材料會發塵？開梱場所地板的狀況？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO4,49/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO5,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂紙類是否使用無塵紙？是否未切割的很小？是否無破裂？角落是否無磨擦到？開始發塵的期間是否不長？,50/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO6,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂搬運搬運什麼？
24、門如何地開關？何種搬運方法？ 如何地使用Air shower？搬運時從何處通過？何種的搬運速度？一次搬運的數量為何？容器放在什麼上面搬運？使用何種的搬運車？,51/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO7,各種容器托盤容易付著托盤裝載半製品至次工程，當然製品的異物也容易附著於拖盤，進而污染下一製品。通箱和垃圾箱具有相同的污染程度，通箱內灰塵容易 聚集且不易掉落，因此在這種情況下製品取出放入的磨擦又引起發塵，造成各式各樣的東西容易聚集、容易發塵，且不易掉落的情形。,52/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO8,棚架棚架容易遮斷氣流，堆積異物於週邊，所以不可放置在加工作業場所附近，由於棚架容易堆
25、積異物，所以使用網板材。櫃子東西放入裡面，門關起來,雖然外表看起來美觀，其實裡面容易污染，即使不整理被放置在裡面的物品所產生的污染物也看不見，所以希望櫃子是沒有門的。 重要物品及書類等要另外保管。,53/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO9,待投入品的放置場所製品的放置場所，方便性是很重要的，但若設置在通路及人通行頻繁的場所，容易引起異物的附著。待投入品的放置方法從地板上堆積待投入品，由於異物都集中在地板下，較容易捲入異物，所以待投入品最低也要放置在地板高80公分以上的地方。,54/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO10,空氣的利用及漏出在無塵室內，無法排出過度擾亂之空氣及氣體，所以，
26、軟管不可以脫落，確實安裝。氣體當然有毒氣體，如果是氯氣類的氣體洩漏的話，會 因為生鏽，這時有關金屬類裝置，如工具及計 量儀器類等全部被破壞。,55/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO11,漏水 漏出的水乾燥之後，和水一同聚集的異物會散佈 週邊，造成不良的影響。另外，水乾燥後又造成金屬生鏽。藥品類漏出藥品類漏出的週邊會有嚴重的生鏽發生，特別會對金屬類造成影響，成為製品污染的原因，所以藥品類漏出要十分注意。,56/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO12,垃圾箱垃圾箱裝滿狀態下，若持續將垃圾放入時，需將垃圾擠壓，造成異物隨空氣排出，而污染無塵室。異物裝滿垃圾箱時，若移動袋子，會造成異物散佈在
27、四周。廢料廢料不管放置到什麼時候，終究還是會造成污染，異物會散佈在四周。,57/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO13,告示物：紙類這種東西，隨著時間會慢慢的破損，不久就會成為細小的異物，而成為發塵源。 膠帶類：貼附的東西大部份是膠帶類，在貼附後，假如經過長時間之後，膠帶本身和乾燥的接著劑便成了異物。 膠帶撕下後：牆或石棉系的牆，在膠帶撕下之後，會因表面的破損而成異物的發塵源。,58/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO14,膠帶類：膠帶剛開始貼時沒有什麼問題，但是經過六個月之後，膠帶便會脫落而成為大的異物，而且，接著劑亦因時間而掉落，亦是造成異物的原因。接著劑：瞬間接著劑和其他接著劑常
28、被使用，但再乾燥的無塵室裏，是造成意想不到異物的原因。 有些接著劑會和其它物品摩擦之後，會有細小的異物產生而發塵。,59/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO15,工具類及工具箱：工具類及工具箱都是異物容易聚集的地方，因此，工具箱的構造也要檢討。放入工具箱中的工具類也會攜帶異物使異物附著於工具箱中，所以要經常清掃。 以油及化學藥品除銹：工具使用油類及化學藥品等，維修設備時，在工具上的油污會吸附異物，也會因藥品的影響而產生銹。要經常觀察金屬在摩擦時有無銹的產生。,60/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO16,工作場所的周邊：在工作場所的周邊，不要放置不必要的物品， 因為這樣清掃是很困難的，
29、而形成異物聚集的地方。 作業方式：作業空間內不要擾動空氣而引起風，不急劇動作及不使物體來回振動，異物就不會隨著氣流飛揚。 袋類的使用：袋內的空氣因為袋子裝著空氣，急速地裝入物品，袋內的空氣因受到壓擠而吹出氣 流，會揚起周圍環境的異物。,61/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO17,維修作業：為了維修而分解裝置的故障部份時，同時會有大量的金屬屑或異物的產生，另外，在螺絲旋緊時及其他為了安裝而實施金屬加工時，亦會有金屬屑的產生。 防止異物掉落在周圍和地板下：在維修作業時，不使各種屑掉落在周圍及下面地 板是很重要的，因此，加工應在無塵室外實施，然後在無塵室內部僅做安裝動作，這一點是很重要的。,6
30、2/67,異物對策,無塵室內的發塵源,NO18,REPAIR作業因需將部份已組合的製品，部份或全部分解，過程中易伴隨各種異物的發生。偏光板切斷時的切斷屑、膠帶剝離的接著劑、金屬屑、摩擦屑、鍍膜脫落屑及作業台的摩擦屑。偏光板剝離剝離時必然會產生接著劑屑、玻璃破片屑、偏光板屑、切斷屑等產生。,63/67,NO1 空氣過濾器的連續運轉使用時的動作確認和使用狀態的確認。過濾的電源OFF時，從罩外侵入的異物堆積在罩內。 清潔桌的門使用後將防止污染的門關閉，或讓過濾器(風扇)連續運轉，也可防止污染。,異物對策,無塵室內的異物對策,預先做好外在污染不帶入無塵罩內的措施,64/67,NO02 防塵罩內的活用考慮氣流的活動，設置異物對策的防塵罩。不妨礙防塵的目的下，對物品及棚架的放置方法也需考慮。 PVC罩PVC防止異物侵入之設置物不要任意打開或撤除。,異物對策,無塵室內的異物對策,即使材質不同也能達到相同之目的，注意使用及周邊利用 確認做好靜電防止加工。,65/67,NO3 棚架板的網孔化大部分的方式為下吹式迴風，重複重天花板吹出較乾淨之空氣並從地下吸入，不斷送出乾淨的氣。不阻礙空氣流動的棚架及台子是必要的(網孔方式較好)。作業台的網孔化設置很多的作業台時，好讓空氣的流動順暢，一定要挖孔。,異物對策,塵室內的異物對策,遮擋物會從天花板的空氣流動,66/67,67/67,問題及答覆！,謝謝指導！,
