1、第四部分 微机械传感器,概 述,微传感器定义：从广义角度来说，微传感器和常规传感器一样是一种能把物理量、化学量或生物量转变成便于利用的电信号的器件。微传感器是微机电系统三大关键要素之一。 微传感器主要特点：微传感器的敏感机理与常规传感器相同。但其体积小（只是常规传感器的几十分之一乃至1，其中的敏感元件一般是微米级）；质量轻（从常规的kg级下降至几十g乃至几g）；功耗低（降至mW乃至更低的水平）。采用微机械加工技术制备，敏感元件材料以硅为主。 微传感器分类：按检测对象所属分类的不同，可将传感器分为物理量传感器、化学量传感器以及生物量传感器，其检测原理分别基于各种物理现象、化学反应和生物效应。,微
2、型物理量传感器,物理量传感器种类最多，它包括力学量传感器(如压力传感器、力传感器、加速度传感器、角速度传感器、流量传感器)等；光学量传感器(如图像传感器、红外线传感器等)；热学量传感器(如温度传感器)、声学量传感器、磁学量传感器等。,微型力学传感器,1、微型压力传感器 a)硅压阻式压力传感器：在膜片上扩散电阻，并连成惠斯顿电桥。当压力作用在膜片上时，膜片产生变形，电阻值变化，电桥失衡，失衡量和被测压力成比例，用微电路检测出这种电阻变化，即可测出压力变化。硅压阻式传感器的主要缺点是压阻效应随温度的变化明显，应用时必须做温度补偿。,硅压阻式压力传感器实例,如图所示4个压敏电阻被植入硅片表面之下，它
3、们将施加在薄膜上的压力转换为自身电阻的变化，然后通过惠斯登电桥将电阻的改变转化为电压信号输出。该传感器在平面内应力和输出的电阻变化之间有很好的线性关系，缺点是对温度敏感。,b)硅电容式压力传感器,淀积在膜片表面上的金属层形成电容器的活动电极，另一电极淀积在衬底上，二者构成平行板式电容器。当膜片感受压力作用弯曲时，电容器的极板间距改变，引起电容变化，其变化量与被测压力相对应，从而得知被测压力。 硅电容式压力传感器的灵敏度高，输出随温度变化小。,硅电容式压力微传感器,结构特点：如图所示是基于差动原理设计的硅电容式压力微传感器。为压力敏感电容， 为做比较的固定参考电容。 位于感压膜片上，位于感压敏感
4、区之外。感压膜片利用化学腐蚀法制作在硅芯片上，硅芯片的上下两侧用静电键合技术分别与硼硅酸玻璃固结在一起。 工作原理：电容的大小由电容极板的面积和电极间的间隙决定。当硅膜片感受压力p作用变形时，导致电容 变化，在其它参数不变的情况下，电容随膜片在压力作用下的挠度w变化而变化。而挠度与压力直接相关，因此，测试电容变化，即可得知所受压力。,具有硬中心的硅电容压力传感器,与膜片式硅电容压力传感器相比，具有硬中心的硅电容压力传感器更有利于使极板间感压电容 的变化处处相等。 与硅压阻式压力传感器相比，硅电容式压力传感器的灵敏度高10倍以上，而功耗却低2个数量级。而且输出随温度的变化小，因此具有了好的输出重
5、复性和稳定性，更适合于低压量程测量。,c)硅谐振式压力传感器,硅谐振式压力传感器是基于膜片或梁的谐振频率随压力变化而改变的函数关系，确定被测压力。膜片由电容或静电激励而发生谐振。当膜片受气体压力作用时，其刚度改变，引起频率增加，则频率的增加量对应被测压力。 特点：对温度不敏感，并且具有很好的线性输入输出关系。缺点是制造成本较高。,硅谐振式压力微传感器特点及组成,特点：硅压阻式和硅电容式传感器为开环模式工作，硅谐振式则不同，为闭环模式工作。 组成：R为谐振子，工作时振动在谐振状态，其谐振频率（固有频率）受被测量M的调制；E为激励谐振子发生谐振的激励器，激励方法有静电激励、压电激励、电阻热激励及电
6、磁激励等；D为振动信号检测器，检测方法有电阻检测、电容检测、压电检测及电磁检测等。A为放大调频电路，用于调节信号的幅值和相位，并将信号正反馈给激励器，维持谐振子在满量程内等幅振动，同时将放大信号传到检测输出装置，显示出与被测量相对应的电信号。,谐振式传感器的工作原理,利用被测质量M调制谐振子的谐振频率，谐振子的谐振动由激励器驱动，检测器获得信号输出。谐振子的谐振动由放大调频电路维持，而放大调频电路又由被测量M所控制，它们一起构成了一个正反馈闭环自激振动系统。 系统实现闭环自激振动必须满足的条件：相位条件：环路各环节的相位移之和等于2 的整数倍。幅值条件：环路各环节的传递函数之积应等于或大于1。
7、,静电激励、电阻检测 硅谐振梁式压力微传感器,带振动梁信号转换的压力传感器,静电激励、电容检测 硅谐振梁式压力微传感器,硅谐振式压力微传感器的性能,1、直接输出频率量，无需A/D转换，可方便的与数字系统挂接，组成高精度的测控系统。 2、为闭环工作，其性能主要取决于谐振子的机械性质，受电路参数变化（如电漂移、噪声等）的影响很小。 3、测量精度、稳定性及测量分辨率均优于硅压阻和硅电容式压力传感器1个数量级。 4、缺点结构比较复杂，加工难度较大。,三类微传感器主要性能比较,硅加速度传感器,目前已经研制出基于不同敏感原理和结构的硅加速度微传感器。其中研制最早和最多的是利用硅压阻效应、压电效应及电容效应
8、的硅加速度微传感器。而利用谐振技术研制的硅谐振式加速度微传感器是最具发展潜力的新型微加速度传感器，具有较高的分辨率和灵敏度。 高性能的硅加速度传感器在导航、微重力、声及地震测量、汽车工业的安全气囊、自动刹车等系统中具有广泛应用前景。,硅压阻式微加速度传感器,工作原理及结构特点：惯性质量块由悬臂梁支撑，在加速度a惯性场中，由于惯性力的作用，质量块上下运动，使质量块发生与加速度a成正比的形变，在悬臂梁上产生应力和应变。在悬劈梁上作一个扩散电阻，根据硅的压阻效应，扩散电阻的阻值发生与应变成正比的变化，将这个电阻作为电桥的一个桥臂，通过测量电桥输出电压的变化，可以完成对加速度的测量。由于悬臂梁的根部应
9、变量最大，所以为提高传感器的灵敏度，应变电阻制作在靠近悬臂梁根部的位置。这种传感器是为测量心脏壁的运动研制的，它的外形尺寸为2mm3mm0.6mm，质量为0.028g。,加速度传感器梁岛结构,如图所示微加速度传感器梁岛结构有单悬臂梁结构、改进型的双悬臂梁结构和双端支撑的四梁结构等。提高了平稳性和承载能力，测量范围扩大一倍多。,硅电容式微加速度传感器,电容式微机械加速度传感器在灵敏度、分辨率、精度、线性和稳定性等方面都优于压阻式加速度传感器，它的基本结构也是梁岛结构，但是它不是利用梁上的力敏电阻来检测惯性力，而是通过质量块位移引起的电容变化来检测加速度。由于电容与质量块的位移之间不成线性关系，而
10、且在质量块位移较大时，位移与加速度之间的线性关系也随之变差。这些因素都影响了测量的精度。所以实际上，电容式加速度传感器多采用力平衡的工作方式。即在加速度引起质量块的位移，质量块的位移引起质量块与固定电极之间的电容的变化时，根据电容的变化，通过伺服电路产生一个对质量块的静电反馈力，迫使质量块返回到原来的位置。这样，即使在有加速度存在时，质量块的位移也基本上为零人们是根据产生静电力的电压大小来确定加速度的大小的。由于质量块的位移很小消除了因质量块的位移而引起的非线性变化，器件的精度也可以做得很高。,力平衡式微加速度传感器,将悬臂梁支撑的惯性质量块作为可动极板，在可动极板的上下分别有一个固定的极板，
11、与可动极板构成两个电容。可动极板的位置可通过测量两个电容的差来确定，将脉冲宽度调制器产生的两个脉冲宽度调制信号加到可动电极和两个固定电极上，通过改变脉冲宽度调制信号的脉冲宽度，可以控制作用在可动极板上的静电力。利用脉冲宽度调制器和电容测量相结合，可使可动极板精确地保持在中间位置。采用这种脉冲宽度调制的静电伺服技术，脉冲宽度与被测加速度成正比，实现通过测量脉冲宽度来测量加速度。,硅谐振式加速度传感器,目前，利用谐振技术研制的硅谐振梁式加速度传感器，对质量位置变化的敏感具有足够高的分辨率和灵敏度。建立在质量弹簧系统上的硅谐振梁式加速度传感器的工作原理是：被测加速度转换为载荷，作用于悬挂在硅梁上的敏
12、感质量，导致硅梁产生拉伸后压缩应变，使硅梁的谐振频率发生变化。谐振频率的变化与被测加速度成比例，由此便得知被测加速度。,谐振梁式加速度传感器原理结构,整体式 3 梁结构及振动模态,多支撑对称悬挂结构,角速度微传感器,原理：角速度一般是用陀螺仪来测量的。传统的陀螺仪的基本部分是一个高速转功的转子，利用角动量守恒的原理来测定角度的变化。 角速度微传感器结构特征：由于微机械加工技术难于加工高速转子这样复杂的结构，因此，微机械陀螺的设计采用适宜于用微机械加工的振子结构。 微机械陀螺仪结构类型：有框架式、音叉式、振动轮式、振动捧式以及四叶式等多种结构。 特点：这种陀螺仪的精度很高，但它的结构复杂，使用寿
13、命短，因此成本很高，一般仅用于导航方面。 应用范围：角速度测量可以在汽车的安全、舒适导航，摄像机的防抖动，医用仪器，军事武器，运动器械，甚至玩具中得到广泛的应用。,双框架式微机械谐振陀螺,工作原理：当外框架绕驱动轴进行振动时，若在垂直于框架平面有输入角速度，则内框架将在哥氏惯性力矩作用下绕输出轴进行振动，其振幅包含输入角速度的信息。所以只要通过检测内框架的振幅就可以获得对应的输入角速度。,梳状谐振轮式硅陀螺,它有上下2层组成，两层间留有12微米的间隙。下层是固定的玻璃衬底，上面制有检测电极、闭环反馈电极及输入、输出引线。上层为活动的微机械谐振结构，核心是梳状轮式谐振器，经十字弹性片梁把它支撑在
14、中心轮毂上，轮的外缘再经2根共轴线的片簧扭杆连接在框架上，形成图示的轴对称整体谐振结构。梳状谐振轮式硅陀螺的制造，是采用硅表面微机械加工技术完成的。,微机械流量传感器,流量传感器主要用来检测流体(包括气体和液体)的流量，是过程控制中的重要传感器之一。微机械流量传感器不仅外形尺寸小，能达到很低的测量等级。而且响应时间短，适合于微量流体的精密控制。 以下根据检测对象的不同，分别介绍一种悬桥式气体微流量传感器和一种阀片式液体微流量传感器。,悬桥式气体微流量传感器,如图所示为一种具有双电阻悬桥结构的气体微流量传感器，其中间用于加热的热丝悬置于气流之中，根据热传导理论，它传递给气体热量的速率可以由热丝与
15、气体间的温度差、气体比热容、气体流速以及信道面积算出。热丝通过四条薄膜材料构成的引桥与管道相连接，在进行测量时，自加热热敏电阻作为惠斯顿电桥的两臂，由于敏感区的温度一般比环境温度高，所以当气体流过热敏电阻时将降低其表面温度，并将上游电阻产生的热量带到下游电阻，使上游电阻的温度下降速率大于下游电阻的温度下降速率电桥将输出不平衡电压该电压与热敏电阻的变化成正比，这样便可计算出气体的流速，将流速乘以流动信道的截面积 即得到气体的体积流量。,阀片式液体微流量传感器,如图所示为一种结构简单的阀片式硅微流量传感器芯片，图其中阀片部分的放大照片示于右图。当一定流速的流体经过阀片时，阀片会受到冲击力和粘滞力，
16、这两种作用力均与流量有关。在冲击力和粘滞力的共同作用下，阀片产生弹性变形，此时集成在阀片上的压敏电阻将检测出阀片的应变，并推算出相应的流量信号。,微型光学量传感器,在光敏传感器中，红外线传感器由于其在军事上的大量应用而格外受到重视因此这里着重介绍几种基于不同工作原理的微机械红外线传感器。,电子隧穿式微机械红外探测器,工作原理:由于在低于1nm的真空势垒中存在电子隧穿效应，而且隧穿电流与势垒宽度(即隧穿尖与弹性膜的间距)呈负指数关系。所以当势垒宽度减小时，隧穿电流呈指数增大，因此电子隧穿电流对弹性膜的位置有极高的灵敏度。器件工作时，首先通过静电偏转电极将弹性膜电极拉到距离隧穿尖电极1nm以内使隧
17、穿尖与弹性膜之间发生隧穿效应。在探测器的上部有一个微机械加工的密闭腔体，腔体内密封有一定量的气体。当该密闭腔体受到目标物体红外辐射时，气体受热膨胀，使腔体下面的弹性膜发生形变，隧穿尖与弹性膜的间距减小，从而引起隧穿电流增大。,热阻式微机械红外探测器,热阻式红外探测器的原理较为简单，它利用热敏电阻吸收目标物体发出的红外辐射，该辐射引起热敏电阻的温度升高，导致热敏电阻的阻值发生变化，并通过外围读出电路将热敏电阻阻值的变化读出。 基于这种原理，法国Sofradir公司生产出一种320240像元的微机械红外焦平面阵列，它拍摄的红外图像如图。该探测器采用多晶硅作为热敏电阻材料，利用表面微机械加工技术制作
18、而成，与标准IC工艺兼容，因此在大规模生产时，成本可以大大降低。其缺点是工艺流程较多，由各次工艺步骤引入的非均匀性叠加所导致的整个阵列的非均匀性较大，因此在该阵列的制作上对工艺加工水平的要求很高。,光调制红外探测器,中国科学院上海冶金所研制出一种光调制红外探测器，它的敏感部分是一个5050的微镜阵列，如图所示。其中，每一个微镜均通过四个具有双金属效应的支撑梁与衬底相连，微镜本身保持悬空。,光调制红外探测器工作原理,这种光调制红外探测器的工作原理如图所示，微镜阵列吸收来自目标物体(如飞机等)的红外辐射，引起微镜和支撑梁的温度上升。由于支撑梁由热膨胀系数相差较大的双层材料组成(实例中采用的是二氧化
19、硅和金属铝)，因此支撑梁产生弯曲变形，使微镜产生位移。由于支撑梁的对称布置，因此微镜只产生垂直于镜面方向的位移。将可动微镜阵列与固定镜面组成法珀干涉仪，则微镜的纵向位移将使得干涉仪的光程差发生变化，进而导致干涉光光强的改变，这样就把红外图像转化为调制后的可见光图像。,微型热学量传感器,概念：热学量传感器主要是指温度传感器，它的应用十分广泛。 制造温度传感器的材料：有导体、半导体、电介质、磁性材料等，其中半导体温度传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快、易于集成等特点，长期以来一直是温度传感器的首选。 分类：根据工作方式的不同，半导体温度传感器分为接触式和非接触式两大类。 区别：接触式主要通过检
20、测热敏电阻的阻值变化或p-n结的结电压或结电容的改变来测量热源的温度。非接触式利用红外辐射产生的光电效应检测环境温度变化。,热阻式微机械温度传感器,西安交通大学采用微机械加工技术研制了一种针对人体体温测量的热阻式微机械温度传感器，其热敏电阻采用了温度系数较大的NiCuPt复合金属材料。该传感器以贴附的方式测量人体体温，响应时间为5s，测量精度为 ，测量范围是 。与传统温度计相比具有安全方便，测量时间短，对环境无任何化学污染等优点。,微型声学量传感器,MEMS技术在声学量传感器中的典型应用是微型麦克风的研制。这项研究工作始于20世纪80年代初，并在1983年出现了第一个在硅片上制作出的微型麦克风
21、。与传统麦克风相比，硅基微麦克风具有体积小、质量轻、工艺重复性好、抗震性强、能批量生产等特点。这种纹膜结构的电容式微麦克风采用各向异性腐蚀技术与牺牲层腐蚀技术相结合进行制作，加工出的单个微麦克风的尺寸为1.6mm1.6mm0.35mm。测试表明，在l5V的直流偏置电压下，这种微麦克风在lkHz时的开路灵敏度为16mvPa，是同类大小硅微麦克风灵敏度的2倍。,微型化学量传感器,应用领域：化学量传感器在工农业生产、家庭安全、环境监测、能源、医疗卫生等领域具有十分广泛的应用。是一类及其重要、必不可少的传感器。 半导体化学传感器的分类： 气敏传感器对环境中某种气体敏感的传感器。 离子敏传感器对溶液中离
22、子种类和浓度敏感的传感器。 湿敏传感器主要用来检测水汽含量的传感器。 特点：由于许多气敏传感器的气敏组件需要较高的温度下工作，与现在的集成电路工艺不兼容，所以集成化程度不如物理传感器。,微型气敏传感器,氢敏MOS场效应晶体管氢敏MOS场效应晶体管（MOSFET）采用金属钯作为栅金属，当接触氢气时，氢原子能进入金属钯，并在钯中扩散，从而使钯的功函数变化，因而改变了钯与半导体硅之间的功函数差，进而引起MOSFET的阚值电压VT发生变化。 应用：钯栅MOSFET除了用来检测环境中的氢气含量以提供防爆报警之外，还可以用来检测烟雾以用做火灾报警器，这是由于在烟雾中常含有少量的氢气。把该器件安装到天花板上
23、，当下面有两个人吸烟时，器件的阚值变化量约为18mV。因此可根据现场情况设置一个适当的电压值（如30mV）作为发出火灾报警的阚值。,湿度传感器,湿度传感器是一种检测环境中水汽含量的传感器。 水分子是一种极性分子，水解后产生氢氧根离子 和水合氢离子 ，具有一定的导电性能。利用水分子的这种特性研制成功了一种硅MOS型A1203湿度传感器。这是一种电容式湿度传感器。其结构如图所示。 制备工艺：首先在单晶硅片热氧化生长一层SiO2层，在采用蒸发和阳极氧化的方法在SiO2层上制备一层多孔Al2O3作为感湿膜，而后在Al2O3上再淀积一层多孔金膜，使感湿膜具有良好的导电性和足够的透水性。最后在硅片背面再蒸
24、发一层金属铝作为下电极。,湿敏传感器的感湿特性,当环境湿度改变时，这种蜂窝状的多孔A1203结构所吸附的水分子数量也随之改变，从而引起A1203感湿膜的电学特性发生变化。当环境湿度增加时，感湿膜吸附的水分子数增多，使每个孔的表面电阻大大降低，这等效于传感器上下两电极之间的隔离间距大大缩小，因而使其电容增大。,电子鼻,电子鼻：由气敏阵列和模式识别系统组成的智能气体传感器，因在一定程度上与人类的嗅觉器管相仿而被称之为电子鼻。 组成：主要由气味采样器、气体传感器阵列（关键部分）和信号处理系统三大部分组成。 工作原理：由于气敏阵列中的每个传感器对不同的气体具有不同的灵敏度，因此每种被测气体都对应着阵列
25、中所有传感器输出信号的一种排列组合（或称响应图像），对于不同的气体，气敏阵列的响应图像不同，电子鼻正是基于这个原理来识别各种气味。 应用领域：食品工业、化学工业、环境监测、医学诊断、汽车工业、安全检查、航空航天及军事国防等。,电子鼻应用实例 1,英国的研究人员研制出一种用于检查蔬菜和水果新鲜程度的电子鼻，它能准确“闻”出一氧化碳、乙烯、硫化氢等气体，这些气体都是水果蔬菜在腐烂过程中释放出的主要气体，因此利用它可判断水果蔬菜是否快要腐烂变质。 美国加州工学院研制出一种手持式电子鼻，它能嗅出特定种类的稻米，不但能判断出其种类，而且还能指出它的产地。 法国图卢兹与英国曼彻斯特的研究人员联合研制出一种
26、新型电子鼻它能准确找出藏在地下的珍贵蘑菇。据报道，这种珍贵蘑菇的售价高达每千克300美元。如果让普通的家犬来寻找这种蘑菇，往往会漏掉14之多。,电子鼻应用实例 2,意大利的研究人员也研制出一种用于医疗诊断的电子鼻，病人只需吹一口气，电子鼻即能捕捉到其中含有的各种气味，经过电脑处理后形成化学图谱，根据该图谱医生便能分析患者的健康状况，从而发现可能存在的疾病。这种电子鼻还能嗅出”人体皮肤各种腺体发出的气味，以及皮肤上的寄生虫和细菌发出的气味。 英国欧斯米泰克公司研制出了一种电子鼻，它能够“嗅”出侵蚀病人皮肤伤口的细菌在生张时发出的化学气味，从而提醒医生及时采取相应措施。试验表明，该电子鼻只需数小时
27、便可发现是否有细菌存在，而采用常规的实验室化验的方法，通常需13天才能得到结果。,国外部分已商业化的电子鼻,电子舌与敏感针,俄罗斯国立圣彼得堡大学的科研人员新近研制出一种可辨别食品成分和质量的电子舌。这种电子舌由多个化学传感器组成，每个化学传感器中都有一层聚合物薄膜，它淀积在金电极上，并与电路相连。当电子舌接触液态或经过碎解的固态食物时，化学传感器中的聚合物薄膜能吸收溶解在水中的物质，使电极的电容量改变。将每个化学传感器测出的信息与分析程序中存有的与食品成分、质量相关的各种标准进行一一对照，便可较准确地对食品进行鉴别。 国内曾报道过一种敏感针，这种针与中国传统针灸所用针外形相同，但却具有能探测
28、人体穴位温度、PH值和新陈代谢等多种功能，均用仪器显示读数，已应用于生物医学的研究和临床。这种敏感针被誉为具有中国特色的化学传感器。,微型生物量传感器,在传统的物理传感器和化学传感器中，信号敏感组件一般由非生命物质组成。而在生物传感器中信号敏感部分则含有生命物质(如蛋白质和核酸等)。这些生命物质也称为生物分子识别组件，它们具有分子识别功能，能与被测物质分子发生特异性的相互作用，这些相互作用能通过适当的换能器件转换成可检测的信号。 生物传感器中的换能器与传统的物理传感器和化学传感器中的信号转换器没有本质的区别，一般都是采用电化学电极、场效应管、热敏器件、压电器件、光电器件等作为生物传感器中的换能
29、器。,生物传感器的分类,生物传感器按照所采用的生物分子识别组件(即生物敏感介质)的不同，分为酶传感器、免疫传感器、微生物传感器、细胞传感器、组织传感器和DNA传感器等，如图所示。,酶传感器,机理：酶是一类蛋白质，它在生物体内起催化剂的作用。酶的催化作用有很高的选择性，一种菌只对应于一种特定的反应。如果把某种酶固定在功能膜中，在酶的作用下，被检测物质会发生某种化学反应。反应中消耗掉某种物质或生成某种物质均会引起电化学变化，进而引起敏感器件的输出变化，这样就可以实现对某种生物反应的检测。,微生物传感器,简介：微生物传感器是生物传感器的一个重要分支，它是以活的微生物作为敏感材料，利用其体内的各种酶系
30、及代谢系统来测定和识别被检对象。与酶传感器相比，微生物传感器的稳定性较好，使用寿命也较长，且价格低廉。 组成：微生物传感器由固定化微生物膜和换能器紧密结合而成，常用的微生物有细菌和酵母菌。 固定方法：微生物的固定方法主要有吸附法、包埋法、共价交联法等。 敏感机理：其一是通过微生物与被检样品作用，在同化样品中有机物的同时，微生物细胞的呼吸活性有所提高，依据反应中氧的消耗量或二氧化碳的生成量来检测被微生物同化的有机物的浓度。其二是微生物与样品作用后生成一些代谢产物，利用对代谢产物敏感的电极即可检测原来样品的浓度。,免疫传感器,免疫传感器是指用于检测抗体与抗原之间反应的传感器。一旦有病原菌或其它异种蛋白(抗原)侵入某些动物体内，体内会很快产生能识别这些异物并把它们清除出体内的抗体。抗原和抗体结合即发生免疫反应。如果这种具有高度选择性的免疫反应在某些特定的电极上发生，将会引起电极电位的变化。利用这一现象可制成各种抗体膜和抗原膜，从而制作出相应的免疫传感器。例如用抗体制成的免疫传感器可对生物体内是否有这种抗原做检查，也可以用抗原传感器快速检查生物内是否有这种抗体(即是否有针对该抗原的免疫力)等，目前美国加州大学已研制出能快速检查肝炎病毒的免疫传感器。,
