1、AC屬電極放電子放電氣體誘電體 ( 合成石英玻璃 )東桓電機企業有限公司 SEN Lights 特殊光源株式會社 UV 設備及 LAMP 專業 日本 IR/UV/CP/HP 機台製造廠 UV 光洗淨設備小百科14 Excimer-Lamp誘電激發瞬間點燈 -節自 HOYA-SCHOTT 99/08/25 考資、感謝HOYA 發光原： 在屬電極和屬網電極間施以 交高電壓的話，在內側和外側 的石英玻璃間有多的放電子 產生 依此放電子、起放電氣體的 原子，瞬間成為激光態。 從此激光態回到原始態 時， 172nm 的激光發生 與低壓水銀燈管的差點： 1. 瞬間點燈、熄燈、點燈可能 -要加溫時間，只在必
2、要時點燈 2. 低消費電 - 高效 (發光能約為投入電的 10% ) 3. 發光波長是單一高能短波長，含 熱線，工作物溫低下 4. 可隨意的照射方向 5. 簡單的構造、 lamp 形彈性大 6. 代表波長的 LAMP 有 172nm（氙） 、 222nm（氪氯化物） 、 308nm（氙氯化物） 瞬間照射系統基本構成圖： 入電源 AC200220V 卻純水IN卻純水OUTExcimer-Lamp 控制裝置 LAMP 電源 裝置 照射裝置 氮氣IN氮氣OUT問答集： Q：需要純水或氮氣（ N2） gass 的由是？ A：純水是使用在 LAMP 的卻上。另一方面純水在電極線四週動所以能使用一般自水。
3、純水的低抗值在 2us 以下，規定在 2L/min 以上。純水通過 LAMP後，臭氧水等的活性氧種在產生。 氮氣 gass 是為讓真空紫外光（ 172nm）在到達玻璃基板前被氧分子大吸收導致驟減而使用的；所以純需在 99.99以上，需在 10L/min 左右。 Q： LAMP HOUSE 和基板間的距到底其極限到麼程呢？ A：紫外光光源與基板間距愈大的話， 氧氣的吸收變多及能強的衰減，到達基板的紫外光就會減少。和 3mm 比較， 10mm 處紫外光強約減少 3 分之一。 Q： take time 是怎樣的程呢？ A：在故意污染的 8 inch 矽晶片上的場合，能夠在 30 秒內處。在無塵室內的
4、基板等我想清潔會高，所 以變成秒內就能夠處。 在 500*400*0.7mm 的 Cr 膜液晶用基板上，未處前接觸角平均為 46.7 ；經UV 照射處 30 秒後接觸角平均為 4.2 。 Q：在於 UV / O3 光洗淨方面和低壓水銀燈的同是？ A：低壓水銀燈主要的發光波長是 185nm、 254nm 及干可光及熱波，而 172nm 是Excimer-Lamp 唯一發光波長，所以 1. 單以產生 O3 氣氛而言、以 172nm 波長能較強 2. 因為 172nm 是單波長，含熱波，基板會有過熱的問題 Q：能夠做塑的表面改質嗎？ A：除特氟綸等氟素系樹脂以外很多的塑 (高分子材 )都確定能夠作表
5、面改質。 Q：用 Excimer-Lamp 照射對晶體管特性是否有影響呢？ A：確實在 172nm 的 UV 光的子能高達 7.2eV，所以當初就有質疑會有熱傷害的問題，但與用電漿洗淨、改質、 剝等製程因慎而造成基板損傷的問題比較的話化的情形可以是非常少的。 Q：接觸角的評價是麼東西呢？ A：接觸角是有機污染物的簡評價法，接觸角 低下為有機污染物的減少。如果要嚴密評價的話，就必須使用 GCMS（色譜法氣體分析）或 XPS（ X 光起光電子分光法） 。 營業部專線：0910 -828-675 / 0918-613-756 TEL： 06-2675405 ( 詳細資備 ,歡迎電洽詢 ) FAX： 06-2681823 E-mail:
