1、机械电子工程专业毕业论文 精品论文 挤出平模头抛光加工机理与工艺研究关键词：挤出平模头 大尺寸工件 抛光加工 多层共挤薄膜 化学机械抛光摘要：随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械
2、抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工
3、艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。正文内容随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要
4、工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理
5、的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤
6、出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，
7、并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心
8、挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊
9、性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大
10、。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和
11、设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后
12、，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据
13、超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120r
14、pm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用
15、化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工
16、时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要
17、工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理
18、的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤
19、出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，
20、并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心
21、挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊
22、性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。随着中国塑料工业的发展，对高档薄膜的需求也越来越大
23、。而目前我国由多层共挤流延法制得的高档薄膜还有赖于进口设备的生产，其主要原因是多层共挤薄膜设备的核心挤出平模头的抛光加工技术还相对落后，不能满足平模头对直线精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，开展挤出平模头自动抛光技术和抛光工艺的基础研究，对研发出拥有自主知识产权的抛光设备具有重要意义。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具钢材料特性的基础上，设计了材料的可加工性试验。试验结果表明，采用化学机械抛光的方法加工所获得的加工表面能够达到平模头产品的粗糙度（小于 20nm）的要求。 2.根据超精密抛光机床的设计要求和自动抛光的工艺要求，提出了挤出平模头抛光机的总体设计方案。在分析控制要求和
24、设计方案的基础上，研制了挤出平模头抛光样机，对机械部件和控制系统进行了调试，并针对挤出平模头尺寸特殊性设计了专门的工艺实施策略。 3.通过分析金属 CMP 加工模型，研究了挤出平模头抛光材料去除机理，并建立了磨粒的力学模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一种能合理解释挤出平模头大平面形成机理的数学模型。 4.在新研制的挤出平模头抛光样机上进行抛光加工优化实验，研究了抛光载荷、抛光转速和加工时间等工艺参数对工件表面粗糙度和去除率的影响，得到加工载荷为 6.494KPa，磨盘转速为 120rpm，横向进给转速为 60rpm 时，能够满足挤出平模头的粗糙度要求，并有较好的加工效率。 5.最后
25、，对全文进行总结，并对进一步的研究提出了一些展望。特别提醒 ：正文内容由 PDF 文件转码生成，如您电脑未有相应转换码，则无法显示正文内容，请您下载相应软件，下载地址为 http:/ 。如还不能显示，可以联系我 q q 1627550258 ，提供原格式文档。“垐垯櫃 换烫梯葺铑?endstreamendobj2x 滌?U 閩 AZ箾 FTP 鈦X 飼?狛P? 燚?琯嫼 b?袍*甒?颙嫯?4)=r 宵?i?j 彺帖 B3 锝檡骹笪 yLrQ#?0 鯖 l 壛枒l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛枒 l 壛渓?擗#?“?# 綫 G 刿#K 芿$?7. 耟?Wa 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 皗 E|?pDb 癳$Fb 癳$Fb癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$Fb 癳$F?責鯻 0 橔 C,f 薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵秾腵薍秾腵%?秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍秾腵薍
