1、1关于川禾科技(重庆)有限公司 8 英寸集成电路生产线建设项目环境影响报告书（简本） 公示的公告根据国家环境保护总局环境影响评价公众参与暂行办法（环发 2006 28 号）的规定，现将川禾科技 (重庆)有限公司 8 英寸集成电路生产线建设项目环境影响报告书（简本）予以公示。一、公示目的征求可能受本项目建设影响所在地区的公众对该项目的看法和意见。二、公示期限1、公示时间：2006 年 8 月 29 日-2006 年 9 月 9 日。2、公众提出意见的起止时间：2006 年 8 月 29 日-2006 年 9月 13 日。三、公众提出意见和看法的具体形式（一）征求公众意见内容本次公示主要征求公众对
2、重庆市西永微电子工业园区域环境质量的看法；对目前区域范围内存在的主要环境问题的认识；对项目选择在重庆市西永微电子工业园建设是否认可；重点关心的该项目建设过程中可能存在的环境问题；对本项目环境保护工作的建议；对本次公众意见调查工作的建议。2（二）提出意见和看法的具体形式1、电子邮件或发短消息；2、电话；3、公众认为方便的形式，如邮寄、传真等。注 ：请公众在发表意见的同时尽量提供详尽的联系方式，以便我们及时向您反馈相关信息。四、联系方式（一）单位代表：川禾科技(重庆)有限公司联 系 人：杨东升联系电话：023-65300271 转 8010传 真：65300273电子邮件：TSYANGSUNWIN
3、811.COM通讯地址：西永镇西永路 367 号邮 编：401331（二）环境影响评价单位：信息产业电子第十一设计研究院有限公司（国环评证 甲 字第 3209 号）联 系 人：杨正宁、邓洪伟联系电话： 028-84372118 传 真： 028-84333172电子邮件：; 通讯地址：成都市双林路 251 号邮 编：6100213五、川禾科技(重庆)有限公司 8 英寸集成电路生产线建设项目环境影响报告书（简本）（附件）附件：川禾科技(重庆)有限公司 8 英寸集成电路生产线建设项目境影响报告书（简本）川禾科技(重庆)有限公司二六年八月二十九日川禾科技(重庆)有限公司 8 英寸集成电路生产线建设项
4、目环境影响报告书（简本）4目 录（一）建设项目情况简述；（二）建设项目对环境可能造成影响的概述；（三）预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点；（四）环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点；5一、建设项目情况简述川禾科技（重庆）有限公司的投资方为永日投资公司（Sun Forever Investment）。注册地址在 Offshore Chambers, P.O. Box 217, Apia, Samoa，注册资金为 3 千万美元，为一家标准的离岸公司。公司看好中国集成电路市场的巨大潜力与重庆市良好的投资环境，计划在重庆市投资新建芯片厂。川禾科技(重庆) 有限公司 8 英寸集成电路生产线
5、建设项目，总投资 10 亿美元（80 亿元人民币），拟在重庆市西永微电子工业园内-科技大道南线东侧建设，通过建设满足 8 英寸集成电路芯片生产的高级别净化生产厂房和配套设施，购置生产及动力设备、仪器，形成 8 英寸、线宽 0.35m 0.11m 、6 万片/月的集成电路芯片生产能力。项目总占地面积 400000 平方米，员工人数 3200 人。该项目属于国家重点鼓励发展产业，在重庆市西永微电子工业园建设，符合该园区发展集成电路的产业政策和产业发展规划，建成后对重庆市的经济发展，将有积极的推动作用。二、建设项目对环境可能造成的影响概述本项目属信息产业类集成电路芯片加工的前工序，其工艺特点为：“高
6、精技术，超洁净度”。产生的污染物主要有：生产废水（含氟废水、含氨废水、酸碱废水、研磨废水）、生产废气（酸性废气、碱性废气、有机废气）、生活污水、动力设备噪声以及固体废物和废液。1废水：排放总量 5567 t/d，生产废水和生活污水分别处理后排放。生产废水排放量 5455 t/d，主要为：含氟废水（3500 t/d，主要污染物为氟化物、氨），酸碱废水（1580t/d，主要污染物为酸、碱），CMP 研磨废水、（375t/d，主要污染物为酸、碱）。生活污水排放量 112 t/d，主要有：厂区卫生间污水（主要污染物为 COD、SS 、氨氮等）、餐厅废水（主要污染物为 COD、动植物油等）等。2废气：主
7、要包括生产工艺废气和燃气锅炉燃烧烟气两大类。工艺废气排放总量 71.5 万 m3/h，主要有：酸性废气、碱性废气、有机溶剂废气6三大类。其中：酸性废气 53.7 万 m3/h，主要污染物为 HF、HCl、H 2SO4 雾、NOx、NH 3 等；碱性废气 7.6 万 m3/h，主要污染物为 NH3 等；有机溶剂废气 10.2 万m3/h，主要污染物为异丙醇等、非甲烷总烃。本项目热水锅炉房拟设置 2 台燃气热水锅炉（1 用 1 备），燃料采用天然气（备用燃料为轻质柴油）。锅炉烟气排放量 10634 Nm3/h，主要污染物为 NOx、烟尘和 SO2。3噪声：本项目生产设备均位于洁净厂房内，噪声级小。
8、主要产噪设备是辅助动力设备，包括：风机（废气处理系统）、空压机（压缩空气系统）、冷冻机组（冷冻水系统）、冷却塔（冷却水系统）、真空泵（真空系统）、水泵（给水、循环水污水处理系统）、柴油应急发电机组（备用电源）等。4固体废物和废液：本项目废弃物产生总量 3974 t/a，分为固体废物和废液两大类。废液产生量 2248t/a，具体有：废酸（660 t/a，主要成分废硫酸、废磷酸等），混合有机溶剂废液（244 t/a，主要成份为异丙醇等），硫酸铵废液（170 t/a，主要成分为硫酸、硫酸铵），光刻胶废液、显影废液（1174 t/a，主要成分废显影剂TMAH、光刻胶、有机溶剂）。固体废物产生量 172
9、6 t/a，具体有：含砷、含汞废物（3 t/a，包括含砷抹布和废日光灯等），废水处理污泥（1080 t/a，主要成分为 CaF2、SiO 2），废活性炭（36 t/a），废试剂容器瓶（83 t/a），废过滤芯（4 t/a ，特殊废气处理产生的废吸附材料），废包装材料（140 t/a，主要有废包装箱、包装袋、包装纸箱和废塑胶手套等），厂区办公垃圾（380 t/a）。三、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施要点为了预防和减轻本项目建成投产后产生的污染物可能对周围环境的影响，本项目对产生的废水、废气、噪声和废弃物，拟分别采取的主要防治措施如下：1、废水处理措施及对策拟建一座生产废水处理站对生产废水进
10、行处理，废水处理站包括：7(1) 含氟废水处理系统，采用化学絮凝沉淀法处理，即向废水中投加过量Ca(OH)2 或 CaCl2 以及适量絮凝剂与废水中 F- 生成 CaF2 沉淀，当絮凝反应完成后，进行泥水分离，污泥经压滤机压成含固量 30左右的泥饼，出水监测合格后排入中和处理系统，水质不合格时将返回缓冲池进行二次处理；出水溢流至最终中和处理系统调匀池，与工艺酸碱废水一并中和处理后排放。(2) CMP 研磨废水处理系统，采用絮凝沉淀法处理，再汇入含氟废水处理系统；(3) 酸碱废水处理系统，采用中和法处理。生产废水经处理后的污染物指标均能达到国家污水综合排放标准GB 8978-1996 三级标准及
11、土主污水处理厂接管标准的要求。生活污水中的卫生间污水经化粪池预处理，餐厅废水经隔油池预处理，能达到污水综合排放标准GB 8978-1996 三级标准和土主污水处理厂接管标准的要求。2、废气处理措施及对策本项目根据所排废气性质，将废气处理系统分为酸性废气处理系统、碱性废气处理系统和有机废气处理系统。(1) 酸性废气处理系统：拟设 7 套酸性废气处理系统，主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。采用氢氧化钠溶液作吸收液，净化效率为93% 98%。(2) 碱性废气处理系统：拟设 2 套碱性废气处理系统，主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。采用硫酸溶液作中和吸收液，净化效率为
12、95%左右。(3) 有机废气处理系统： 拟设置 1 套沸石转轮处理系统，净化效率为 90%左右。(4) 工艺尾气处理系统（ POU 处理系统）：工艺尾气主要来自扩散、 CVD 沉积、离子注入、干法刻蚀等工序，尾气中含有微量硅烷、磷烷等。POU 处理系统在设备尾端对工艺尾气在线直接处理，工艺尾气在经过工艺设备附带的处理装置处理后，再纳入酸性废气处理系统进一步处理后排放。8POU 处理系统主要采用吸附、燃烧、水洗和热氧化 4 种处理方式，分别处理不同性质的废气污染物。具体见下表。表 1 工艺尾气处理措施废气处理设备 原理 废气来源 废气种类 排气类型 备注电热水洗式BOCE-HOX通过电加热（75
13、0 度）使废气氧化产生固体废物和可溶于水的气体，再由三级水洗系统吸收溶于水的气体并排走固体废物。炉管蚀刻CO、HCl、HF、 HBr、SiCl4、SiF 4、ClF3、 、 PFC酸性排气废水进入工业废水处理系统处理填充水洗式 BOC-Tempest逆流水淋洗废气吸收易溶于水气体。蚀刻、清洗 HCl、HBr酸性排气废水进入工业废水处理系统处理燃烧式 BOCE-TCS/TPU通入燃气（CH 4, C3H8 等）高温燃烧（700-1100 度）处理废气，产生固体废物和可溶于水的气体，再由三级水洗系统吸收溶于水的气体并排走固体废物。化学气相沉淀,物理气相沉淀,炉管PFC、H 2、SiF4、PH 3、
14、AsH3酸性排气废水进入工业废水处理系统处理区域性废气处理系统干式吸附式BOCE-GRC使用吸附剂（金属酶和钙盐），通过物理或化学吸附法处理各类有害气体。离子植入AsH3、PH 3,、B 2H6酸性排气吸附材料由指定厂商定期更换、再生本项目产生的工艺废气（酸性废气、碱性废气、有机废气），经相应的废气处理系统处理后通过 30 米高排气筒排放，均能达到大气污染物综合排放标准GB 16297-1996 中二级标准（第二时段），氨也能达到恶臭污染物排放标准GB 14554-93 的要求；有机废气中 VOC 的排放和工艺尾气经由设备附带的废气处理装置处理后，也能达到相应的排放限值要求。本项目燃气热水锅炉
15、以清洁能源天然气为燃料,轻质柴油为备用燃料，锅炉烟气通过锅炉房 25 米高的烟囱排放，能满足锅炉大气污染物排放标准GB 13271-2001 二类区标准。3、噪声防治措施(1) 合理布置噪声源，除冷却塔外的大部分动力设备安装在密闭的动力厂房内。(2) 水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲9绕橡胶接头以减振。(3) 柴油发电机房的进风道与排风道采取消声措施，对柴油发电机房的排烟系统加装消声器，柴油发电机组加装防振垫圈。(4) 空调设备风机带减振底座，空调净化排风系统的主排风管和通风机进出风管均安装消声器。通过采取上述相应的隔声、减振、消声、吸声等治理措施，能大大降低噪
16、声对周围环境的影响。4、废弃物污染防治措施一般固体废物产生量 1600t/a，主要有废包装材料和办公垃圾、废水处理污泥（主要成份氟化钙）等。其中废包装材料等由废品回收商收购；办公生活垃圾由环卫部门清运处置。危险废物产生量 2374t/a，包括有机废液（废有机溶剂、废光刻胶等）、废酸（废硫酸、废磷酸）、废活性炭、废化学试剂瓶、废手套、废鞋套、废净化纸等，由危废处置单位统一处置。各类固体废物均能得到妥善处置，去向明确。在采取处理固体废物的同时，公司应进一步加强对固体废物的管理，严格控制危险废物贮存、运输、处置中的一系列操作规程，依法执行危险废物的五联单制度，尽可能将废物对环境污染的影响降低到最低限
17、度。5、环境风险防范措施本项目使用为了加强对有毒有害化学品的风险管理，规范管理工作，为应付紧急意外事件，采取有效处置措施，公司将制定一系列的环境风险管理制度和措施，主要有：(1) 化学品风险管理和化学品环境风险管理制度；(2) 危险化学品安全措施；(3) 紧急意外事件类别及等级的判定标准；(4) 意外事故紧急救灾程序。公司通过严格执行各项化学品风险管理制度，从人培训、意外事故紧急应变组织、化学品泄漏意外事件等级判定、意外事故紧急救灾程序、危险品泄漏探测、报10告、处置等方面、采取上述一系列安全和预防有毒有害化学品发生事故的措施，可以有效地控制或缓解危险化学品的使用的环境风险，防止有毒有害化学品
18、环境风险事故的发生。综合上述，本项目的建设，充分考虑了项目建成投产后对周围环境可能造成的影响，制定了废水、废气、噪声和固体废物的污染防治措施，明确了严格的风险防范措施，所选择的治理方案和处置方案都是目前国内外集成电路芯片厂通用的、技术成熟的方法。本项目环境保护设施将按照国家建设项目环境保护有关法律、法规的规定，与工程同设计、同时施工、同时投入运行。整体来看，项目投产后对周围环境的影响较小。四、环境影响报告书提出的环境影响评价结论要点1、产业政策符合性：根据产业结构调整指导目录(2005 年本)（国家发展和改革委员会令第 40号），本项目属当前国家重点鼓励发展的产业。根据外商投资产业指导目录(2
19、004年修订)（中华人民共和国国家发展和改革委员会、中华人民共和国商务部令第 24号），本项目属国家鼓励外商投资的产业。因此，本项目符合产业政策。2、规划相容性：重庆西永微电子工业园于 2005 年 8 月产 22 日经重庆市人民政府批准成立，是重庆市重点建设的现代电子信息产业基地。重庆西永微电子工业园主要发展集成电路芯片制造、IC 设计、软件产业、电子电器产品、仪器仪表及工业控制产品、以及新能源材料等高新科技产业。本项目属大规模集成电路产业项目，并在规划的电子信息产业基地内建设，因此与规划相符。3、清洁生产：本项目为 8 英寸 0.35-0.11 微米集成电路制造生产线，与目前国内集成电路芯
20、片技术发展水平的主流同步。公司拟通过在内部管理、生产工艺设备选择、原辅材料选用和管理、废物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的清洁生产措施，11贯彻以“节能、降耗、减污”为目标的清洁生产，其芯片生产线清洁生产水平较好。4、总量控制：本项目主要污染物排放总量控制建议指标如下：1、废水污染物：排入重庆土主污水处理厂 CODCr178.5 t/a，氨氮 10.1 t/a；2、废气污染物：烟尘 1.6 t/a，SO 2 0.07 t/a5、污染物达标排放：本项目生产废水和生活污水经处理后的主要污染物指标均能达到污水综合排放标准GB 8978-1996 三级标准及土主污水处理厂接管标准的要求。工艺废
21、气中各污染物经处理后，均能达到大气污染物综合排放标准GB 16297-1996 中二级标准( 第二时段)，氨能达到恶臭污染物排放标准GB 14554-93的要求。有机废气 VOC 和工艺尾气也能满足相应的控制标准要求。经采取相应的降噪措施后，产噪设备对周围环境的影响能得到有效控制。固体废物经分类收集处置，可降低对环境的影响，避免二次污染。6、环境影响评价结论(1) 建设施工期施工期对周围环境质量的影响是短期的、也是多方面的，主要有：施工扬尘、施工机械废气及大型运输汽车尾气等；高噪声、高振动的施工机械及大型建材运输车辆；泥浆水、地面径流及机械设备和车辆的冲洗水；工程渣土和建筑垃圾等。施工期的环境
22、管理是控制施工期环境影响的关键。建设单位在同施工单位签订合同时，应以国家和重庆市有关施工管理的文件法规为指导，将有关内容作为合同内容明确要求，以控制建设期施工作业对环境的影响。(2) 项目营运期，工程污染物排放对周围环境影响较小。废水排放影响分析：本项目废水经处理后排入重庆西永微电子工业园的市政排水管网，废水水质和废水排放量均能满足污水综合排放标准GB 8978-1996 三级标准和土主污水处理厂的接管要求，也不会对该污水处理厂生物处理工艺产生毒害12的影响，不会改变最终受纳水体虎溪河水体功能现状。大气环境影响评价：本项目正常排放时各废气污染物经大气扩散稀释后的地面浓度预测值都很低，对周围大气
23、环境及本项目大气环境保护敏感目标的影响很小。本项目无组织排放源（化学品库）的卫生防护距离为 100m。公司附近的敏感保护目标与公司厂界距离均在 100 m 以上，完全能满足卫生防护距离的要求。噪声环境影响评价：拟建工程通过选用低噪声设备，合理布置噪声源，并采取吸声、消声、隔声、减振等降噪措施后，对周围声环境影响很小，各监测点昼间及夜间均能达到工业企业厂界噪声标准GB 12348-90 类标准。固体废物影响分析：本项目对产生的固体废物采取的处置措施安全有效，并且不会对周围环境产生污染，因而是经济、可靠、合理可行的。环境风险分析：公司对于使用的有毒有害危险化学物品，拟采取的一系列控制污染的防治措施
24、，可有效地控制其使用风险和对周围环境的影响。七、环保措施技术经济分析工程的废水处理方案合理、技术先进、处理效率高、系统稳定；废水、废气、噪声和固体废物所选择的治理方案和处置方案都是一些通用的、技术成熟的方法，公司所选的环保治理措施切实可行。综上所述，川禾科技（重庆）有限公司 8 英寸集成电路生产线建设项目， 属国家鼓励发展的高新技术产业，符合国家产业政策；选址位于重庆西永微电子工业园，与该地区发展规划一致。尽管其生产不可避免产生一定量的废水、废气、噪声和固体废物，但与之配套的环保设施比较完善，治理方案选择合理，只要认真加强管理、落实环保措施，完全能满足国家和地方环境保护法规和标准要求。在贯彻落实本环境影响报告书各项环境保护措施的前提下，从环境保护角度而言，本项目在重庆西永微电子工业园拟选厂址建设是可行的
