1、G106 Motorized Stages 介绍 控制器驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 直线运动系列 摆动 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 转动系列 真空用 其它 步进电机 在电机部， 和极限位置传感器部处， 附有1m长的镀有聚四氟乙烯层的 电缆， 可用于直接连线到真空腔的插头部。 信息 技术指 标 型 号 VSGSP-60YAW VSGSP-120YAW 机 械 技 术 指 标 转 动 范 围 CW ， CCW 方 向 逆 时 针 旋 转CCW 方 向 无 限
2、制 顺 时 针 旋 转 方 向 在0 度 附 近 处 停 止 台 面 尺 寸 mm 60 120 驱 动 机 构 蜗 轮 蜗 杆 蜗 轮 蜗 杆 导 轨 形 式 滚 动 轴 承 十 字 交 叉 滚 柱 主 要 材 料 铝 合 金 铝 合 金 不 锈 钢 表 面 处 理 无 无 自 重 kg 0.45 1.7 精 度 技 术 指 标 分 辨 率 （ 整 步 ） 0.005 0.005 （ 半 步 ） 0.0025 0.0025 最 大 速 度 /sec 20 20 重 复 定 位 精 度 0.02 0.02 承 载 能 力 N 29.4 （3.0kgf ） 98.0 （10.0kgf ） 空 行
3、 程 0.05 0.05 传 感 器 种 类 无 GN-STM35A-1 （ （ 株 ） Metrol ） 极 限 位 置 传 感 器 无 真 空 接 触 式 （ 常 开 ） 原 点 传 感 器 无 无 近 接 原 点 传 感 器 无 无 电 机传 感 器 技 术 指 标 电 机 类 型 真 空 用5 相 步 进 电 机 0.75A/ 相 （ 多 摩 川 精 机 （ 株 ） ） 真 空 用5 相 步 进 电 机 0.75A/ 相 （ORIENTAL MOTOR （ 株 ） ） 型 号 TS3664N5 （ 24mm ） PK543V-NB （ 42mm ） 步 距 角 0.72 0.72 传
4、感 器 输 出 端 电 气 特 性 接 触 式 信 号 的 含 义 常 开 推 荐 选用的驱 动 器 控制器 型 号 电 器 系 统 驱 动 器 SG-5M ， MC-S0514ZU ， SG-514MSC ， MC-7514PCL 控 制 器 GSC-01 ， GSC-02 ， SHOT-702 ， HSC-103 ， SHOT-302GS ， SHOT-304GS ， HIT-MHIT-S ， PGC-04-U 真空用自动转动平台 VSGSP-YAW 这 是 一 款 真 空 用 的自动 转 动 平台。 6 0 m m 的 小 型 平 台 ，适 用 于 实 验 或 检 查 装 置 。 12
5、0 m m 的 真 空 用 平台上 配备 了限位传 感 器。 厚 度小， 承 载 能力大 （选 用了4 2 m m 的 大 型电机） 。 转动范围 我们将自动转动平台的CW方向的极限位置传感器兼为原点传感器使用 了 ， 以此位置为参考进行原点复位。 我们规定， 以半步细分驱动， 并采用MINI方式进行原点复位操作时的停 止位置为刻度0度位置。 信息 负极 限位 置 传 感 器： 2 . 5 刻 度 ：0 逆时 针 C C W 方向为 顺 时 针 C W 方向在 0 度 附 近（ 2 . 5 ）停 止G107 WEB http:/www.sigma- E-mail internationalsi
6、gma- TEL +81-3-5638-8228 FAX +81-3-5638-6550 介绍 控制器驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 直线运动系列 摆动 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 转动系列 真空用 其它 步进电机 W9083 目录 编 号 外 形图 真空 用 极 限 位 置传感 器 （高 真 空 对应 型 接 触 开 关 ） ：V S G S P - 1 2 0 Y A W 转 动 平台用 常 开 型 注 1 在 控制 真 空 用 自 动 转 动 平 台 的
7、 控制 器 上 ， 请 把 极限 位 置 传 感 器 的 使 用 条 件 设 为 常 开 。 注 1 Stage Driver 各种 驱 动 器 Cable Controller G S C - 01 GSC- 0 2 S H O T-7 0 2 H S C -10 3 S H O T- 3 0 2 G S S H O T- 3 0 4 G S H I T- M H I T- S P G C -04- U 1轴 2轴 2轴 3轴 2轴 4轴 8轴 4轴 D1 5 R P- C A Cable MINI- C A-SG G 020 G 02 1 G12 0 G1 0 8 G1 17 G12 0
8、V S G S P - 6 0 YA W V S G S P - 12 0 YA W 控 制器 驱动器 和 电 缆的 选 配 关于此 处介 绍 的 电缆 ， 请 客 户购 买之 后 ，自 行 更 改 为 需 要的 散 线 状 态 。 内六角螺栓 M4103个 V S G S P- 6 0Y A W 25 （ ） 0.025 0.005 （117） 64 50 32 30 P.C.D.50 4-M4 深5.5 4-M3 深5.5 2-M6 深5 4-4.5安装孔 8沉孔 64.5 30 50 32 70 60 28 14 5 2 14 26 聚四氟乙烯电缆 1m 内六角螺栓 M6103个 V S
9、 G S P- 1 2 0Y A W 4-M40.7 深8 4-M40.7 深8 P.C.D.100 5根电机用电线， 长各1m， 聚四氟乙烯 （PTFE） 绝缘 AWG26传感器用电线， 长各1m， 聚四氟乙烯 （PTFE） 绝缘 AWG27相当品3-6.5安装孔 11沉孔 50 50 100 61 123 100 61 122 64 138 174.5 20 45 3.5 22 43 120 关 于 真 空用 平 台 的 接线 方 法 真空用平台使用的是真空用步进电机 （型号： TS3664N5） ， 它有5根外接导线。 接线时， 请参考下图所示信息。 （注意： 驱动器等说明书中提到的电缆接线图中所示的电机导线， 都是普通步进电机用的接线图。 如下图所示， 它们的接线图是不同的。 ） 真空用步进电机导线颜色 蓝 蓝 红 红 红 白 橙 黄 绿 橙 绿 黑 黑 普通步进电机用电机导线颜色 真空用步进电机接线图 （VSGSP-60YAW） 5相步进电机的接线图 （SGSP系列） 1 2 3 4 5 对 应 的 接 线 A相 B相 C相 D相蓝 红 红白 白 黄 黄 黑 E相 A相 B相 C相 D相 E相 蓝 红 橙 绿 黑 60YAW 60YAW 120YAW 120YAW
