天物金佰微电子有限公司厂房装修及购置生产设备项目.docx

1、天津天物金佰微电子有限公司厂房装修及购置生产设备项目 环境保护竣工验收监测报告表天 津 市 环 境 监 测 中 心 验 收 监 测 单 位 ： 天 津 市 环 境 监 测 中 心 中 心 主 任 ： 邓 小 文项 目 负 责 人 ： 王 凤 炜项 目 管 理 人 ： 徐 立 敏编 写 人 ：审 核 人 ：批 准 人 ：批 准 日 期 ： 年 月 日验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 1 页 共 35 页建设项目名称 天津天物金佰微电子有限公司厂房装修及购置生产设备项目建设单位名称 天津天物金佰微电子有限公司建设单位地址 天津市西青经济技术开发

2、区赛达工业园 5 号厂房立项审批部门 西青区行政审批局建设项目性质 新 建 改扩建 技 改 迁 建主要产品名称 贴片二极管设计生产能力 6000KK（ 百 万 个 ）实际生产能力 6000KK（ 百 万 个 ）实际总投资 4000 万元 实际环保投资 250 万 元 比 例 6.25%环 评时 间 2016 年 3 月 环 评部 门 天津市环境保护科学研究院审 批部 门 天津市环保局 环评批复时间 2016 年 7 月 4 日项目开工日期 2014 年 7 月 竣 工 时 间 2016 年 8 月投入试生产时间 2017 年 8 月验收监测 依 据1、中华人民共和国国务院令第 253 号建设项

3、目环境保护管理条例 ；2、国家环境保护总局令第 13 号建设项目竣工环境保护验收管理办法 ；3、天津市人民政府令第 58 号天津市建设项目环境保护管理办法 ；4、 津 市 环 境 保 护 科 学 研 究 院 编 制 的 天 津 天 物 金 佰 微 电 子 有 限 公 司 厂 房 装 修及购置生产设备项目2016.3；5、 天 津 市 环 保 局 环 许 可 表 201633 号 “天 津 天 物 金 佰 微 电 子 有 限 公 司 厂 房 装修及购置生产设备项目环境影响报告表的批复” （见附件 1） 2016.7.4； 6、天津天物金佰微电子有限公司提供的该项目有关的基础资料。验 收 监 测

4、报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 2 页 共 35 页项目主要建设情况1.建设地点本 项 目 是 新 建 项 目 ， 选 址 于 天 津 市 西 青 经 济 开 发 区 赛 达 工 业 园 5 号 厂 房（N390 18.95 E1171330.50） ，占地面积 5804 平方米。项目西侧为兴华四支 路 ， 东 侧 为 道 路 、 北 侧 为 空 置 厂 房 ， 南 侧 为 艾 普 斯 电 源 有 限 公 司 。 项 目 工 程 地 理 位置见附图 1。2.工程内容天津天物金佰微电子有限公司租用天津西青开发区赛达工业园 5 号厂房建设天津天物金佰微电子有

5、限公司厂房装修及购置生产设备项目， 实际投资 4000 万元，该项目主要产品为贴片二极管， 生产能力为年产贴片二极管 6000KK。 本项目主要 工程内容见表 1：表 1 项目组成及工程内容项 目 组 成 实 际 建 设 内 容 是 否 与 环 评 一 致主 体 工 程 在厂房 内进 行装 修改 造， 建成面 积 为 2500m2 的芯 片 车 间 。 与 环 评 一 致辅 助 工 程 在 厂 房 东 部 建 设 局 部 二 层 的 办 公 区 。 厂 房 西 部 纯 水 站 二 楼 设 有 备 件 库 ， 面 积 为43.32m2。与 环 评 一 致公 用 工 程 自 来 水 ： 由 西 青

6、 开 发 区 供 水 管 网 统 一 供 水 。 循 环 冷 却 水 ： 由 厂 区 西 部 的 循 环 水 罐 提 供 ， 循 环 水罐容积为 6m3，采用自然冷却方式，不设冷却 塔 ， 不 使 用 冷 冻 机 。 纯 水 ： 由 厂 房 西 部 的 纯 水 站 提 供 ， 供 水 能 力 为 10m3/h。 纯 水 制 备 工 艺 采 用 精 密 反 渗 膜 多 次 循 环 过 滤 的 方 法 。 供 电 ： 由 西 青 开 发 区 统 一 供 电 。 排 水 ： 由 厂 总 排 口 排 入 西 青 区 大 寺 污 水 处 理 厂 。 采 暖 和 制 冷 ： 厂 房 冷 暖 环 境 采 用

7、 中 央 空 调 系 统 。 压 缩 空 气 ： 厂 房 北 侧 设 有 一 座 空 压 机 房 ， 生 产 中 使 用 的 压 缩 空 气 由 2 台 6m3/min 空 压 机 提 供 。 氮 气 和 氧 气 ： 生 产 中 使 用 的 氮 气 和 氧 气 由 液 化 空 气 （ 天 津 ） 有 限 公 司 提 供 。与 环 评 一 致贮运 工程贮存 厂区东部设有化学品仓库一座，面积约 190m2。 厂 房 西 部 纯 水 站 二 楼 设 有 原 材 料 库 和 成 品 库 ， 面 积 分 别 为 67.64m2 和 24.08m2。 原 材 料 库 主 要 用 于 存 放 硅 片 、 玻

8、 璃 粉 、 金 刚 砂 。 本 项 目 租 用 液 化 空 气 （ 天 津 ） 有 限 公 司 的 液 氮 储 罐 和 液 氧 储 罐 各 一 台 ， 位 于 厂 区 南 部 。 液 氮 储 罐 和 液 氧 储 罐 的 容 积 分 别 为 10m3 和 5m3， 由 液 化 空 气 （ 天 津 ） 有 限 公 司 负 责 日 常 维 护 工 作 。与 环 评 一 致运输 原 材 料 和 产 品 主 要 采 用 汽 车 运 输 。 与 环 评 一 致验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 3 页 共 35 页环 保 工 程 在 厂 区 西 南 角

9、 建 设 污 水 处 理 车 间 一 座 ， 包 含 酸 碱 废 水 、 酸 碱 废 液 、 含 镍 废 水 、 含 镍 废 液 处 理 系 统 。 厂 房 北 侧 设 有 两 套 酸 碱 废 气 塔 和 1 套 有 机 废 气 净 化塔。 按 照 危 险 废 物 暂 存 污 染 控 制 标 准 等 要 求 在 厂 房 西 侧 设 置 危 废 暂 存 区 域 。危 废 暂 存 室 设 置 与 厂 放 北 侧 ， 其 余 与 环 评 一 致3.原辅料消耗本项目原辅料消耗情况见表 2：表 2 主要原辅材料消耗量序号 名称 规格 浓度 使 用 工 序 年用量 来源 主 要 成 分1 硅片 4 英寸

10、- - 150 万 片 电 子 科 技 46 所 -2 硝酸 分析级 65% 清洗、 腐蚀 12T 江 阴 试 剂 厂 -3 氢氟酸 分析级 49% 清洗、 腐蚀 15T 江 阴 试 剂 厂 -4 丙酮 MOS 级 99.8% 玻 璃 钝 化 5T 江 阴 试 剂 厂 -5 盐酸 分析级 36% 氧化 2T 江 阴 试 剂 厂 -6 双氧水 分析级 30% 氧化 4T 江 阴 试 剂 厂 -7 醋酸 分析级 99.8% 腐蚀 5T 江 阴 试 剂 厂 -8 玻璃粉 600# 高纯 玻 璃 钝 化 500KG 昆 山 金 励 -9 光刻胶 R-450 99.8% 光刻 5T 苏 州 瑞 红 聚酯

11、胶10 显影液 RFX-2235 99.8% 光刻 5T 苏 州 瑞 红 正 庚 烷 77%苯 23%11 镀镍液 高纯 99.8% 镍电极 制作 5T 昆 山 红 吉 -12 剥离液 RFP-2202 99.8% 去胶 5T 苏 州 瑞 红醇醚二元醇 水 溶 性 有 机 溶剂表 面 活 性 剂 13 金刚砂 400 号 99.8% 喷砂 1.2t 河 南 新 华 -14 硼源 分析级 11.5% 扩散 180L 北 京 化 工 所 -15 磷源 高纯 2.5% 扩散 200L 外购 -16 氨水 分析级 40% 清洗 1t 外购 -4.主要生产设备本项目主要生产设备见表 3：表 3 主要设备

12、一览表序号 名称 规格 数量 来1 扩散炉 THERMO 6 外购 光刻机 JKG-2A 3 外购3 划片机 DISCO-6T 15 外购4 清洗机 PVC 9 自制5 蒸发台 MARK50 1 外购验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 4 页 共 35 页6 洗管机 PVC 2 外购7 台 式 匀 胶 机 KW-4A 6 外购8 三 槽 沟 槽 腐 蚀 机 JIS-1300 3 外购9 鼓 风 干 燥 箱 LC-233B1 1 外购10 TRR 二 极 管 测 试 仪 TRR-1.8 1 外购11 二 极 管 测 试 仪 SD-DS-600S

13、 5 外购12 三 次 元 显 微 镜 WMS-1510T 2 外购13 QT2A 图 示 仪 QT2A 1 外购14 四 探 针 测 试 KDY-1 1 外购15 导 电 类 型 鉴 定 仪 ST-11A 1 外购16 光 纤 激 光 打 标 机 HG-V20 1 外购17 自 动 探 针 台 PT-501A 4 外购18 超 声 波 清 洗 机 HT1700 型 8 外购19 光谱仪 OHS 1 外购20 自 动 组 装 机 定制 5 外购21 分选机 定制 5 外购22 纯 水 制 备 车 间 10m3/h 1 外购23 空 气 压 缩 机 6m3/min 2 外购24 废 气 处 理

14、机 WS-15 3 外购4.公用工程4.1 给排水（ 1） 新 鲜 水车 间 生 产 用 水 使 用 园 区 管 网 供 水 ， 生 产 过 程 中 产 生 的 废 酸 和 废 水 均 排 入 本 厂 污水处理系统，处理合格后排入园区污水管道。（ 2） 循 环 冷 却 水 生 产 中 使 用 的 冷 却 水 由 厂 区 西 部 的 循 环 水 罐 提 供 ， 循 环 水 罐 容 积 为 6m3，采用自然冷却方式，不设冷却塔，也不需要使用冷冻机。（ 3） 纯 水生 产 中 使 用 的 纯 水 由 厂 房 西 部 的 纯 水 站 提 供 ， 供 水 能 力 为 10m3/h。纯水制备 工艺采用精密

15、反渗膜多次循环过滤的方法。本项目水平衡图见图 1。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 5 页 共 35 页4.2 供电本项目使用赛达工业园标准厂房配置的变压器室， 位于厂区东北部， 变压器容 量为 630KW。4.3 供热和制冷 厂房冷暖环境采用中央空调系统， 办公区域配备分体空调。 赛达工业园标准厂房 在 建 设 时 给 每 座 厂 房 配 有 一 台 燃 气 采 暖 锅 炉 ， 位 于 厂 房 东 北 角 ， 但 本 项 目 建 设 单 位 考 虑 生 产 安 全 及 成 本 问 题 ， 采 用 空 调 供 暖 ， 不 使 用 该 锅 炉

16、 （ 建 设 单 位 承 诺 见 附件） 。4.4 压缩空气厂房北侧设有一座空压机房， 生产中使用的压缩空气由 2 台 6m3/min 空压机提 供。4.5 氮气和氧气 生 产 中 使 用 的 氮 气 和 氧 气 由 液 化 空 气 （ 天 津 ） 有 限 公 司 提 供 ， 本 项 目 租 用 液 化空气 （天津 ） 有限公司 的液氮储罐和液氧储罐各一台 （协议见附件） ， 位于厂区南 部 。 液 氮 储 罐 和 液 氧 储 罐 的 容 积 分 别 为 10m3 和 5m3， 由 液 化 空 气 （ 天 津 ） 有 限 公 司负责日常维护工作。5.劳动定员及时间本项目劳动定员为 140 人，

17、年运行时间为 365 天，每天 24 小时，三班生产。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 6 页 共 35 页图 1 本项目水平衡图（单位：m 3/d）验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 7 页 共 35 页纯水清洗 双面减薄 纯水清洗 扩散前处理纯水清洗 涂硼、磷 扩散 扩散后处理 纯水清洗氧化前处理 纯水清洗 氧化 纯水清洗纯水清洗 脱水 去氧化层 纯水清洗沟槽腐蚀 纯水清洗 去胶 纯水清洗玻璃钝化 一次镀镍 纯水清洗 烧渗纯水清洗 中测 划片 检验引线焊接 塑封 检验包装外协加工打标生

18、产工艺流程 本 项 目 主 要 生 产 流 程 及 污 染 环 节 见 图 2：G1 G2硅片W1 W2 G1 W1 W2 G4喷砂W1 G1 W2 W1 G3 S8匀胶W2G3 G3W1 W1G3 G1曝光 显影S1 W1G1 W2W1G3 G3脱水W2 W1G3S2 W1G2玻璃保护W4 W3G2二次镀镍W4 W3成品（ 1） 双 面 减 薄图 2 本项目生产工艺流程及污染环节图用纯水清洗原料硅片，去除硅片上的杂质。清洗后进行双面减薄，大部分产品采用 化学减薄，少量产品采用物理减薄。化学减薄是用氢氟酸、硝酸通过腐蚀一定厚度的硅验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 20

19、16第 172 号 第 8 页 共 35 页达 到 去 除 硅 片 应 力 的 效 果 ， 然 后 用 纯 水 清 洗 。 氢 氟 酸 腐 蚀 硅 片 发 生 的 化 学 反 应 为 ： Si+4HF=SiF4+2H2。 清 洗 产 生 的 废 水 、 废 酸 进 入 酸 碱 废 水 处 理 系 统 处 理 后 由 总 排 口 排 放。 清洗产生的酸性废气进入 1#酸碱废气净化塔处理后， 由 15m 高的排气筒 （P1） 排放 。物理减薄是通过研磨的方法进行减薄，研磨过程不使用研磨液，只使用水。研磨废 水 进 入 酸 碱 废 水 处 理 系 统 处 理 后 由 总 排 口 排 放 。（2）扩散

20、前处理 扩散前需要进行前处理，前处理的目的主要是利用过氧化氢的强氧化性去除有机杂质。分别用过氧化氢与氨水、过氧化氢与盐酸的混合液对硅片进行清洗，之后采用纯水 进行清洗，清洗后甩干。清洗产生的废水、废酸进入酸碱废水处理系统处理后由总排口 排放。 清洗产生的酸性废气进入 2#酸碱废气净化塔处理后， 由 15m 高的排气筒 （P2） 排 放。（3）扩散 在清洗后的硅片表面一面涂上硼溶液，另一面涂上磷溶液后，将硅片送入高温扩散炉，在先通 N2 再通 O2 的情况下，使硼、磷原子扩散至硅片内部形成电子结。扩散炉的工作温度为 800-1200 度，常压使用，扩散过程中仅产生大量热气，不产生污染物。（4）扩

21、散后处理 扩散后的硅片冷却到室温后，用醋酸浸泡分解，去除杂质，使硅片分离，但由于醋酸 是 弱 酸 ， 不 会 损 伤 硅 片 表 面 。 之 后 取 出 硅 片 用 纯 水 清 洗 。 醋 酸 挥 发 产 生 的 废 气 进 入 1# 酸 碱 废 气 净 化 塔 处 理 后 ， 由 15m 高 的 排 气 筒 （ P1） 排 放 。 清 洗 产 生 的 废 水 、 废 酸 进 入 酸 碱废水处理系统处理后由总排口排放。（5）喷砂 采用喷砂机对硅片进行表面处理，通过空气与金刚砂混合物的高速冲击，去除硅片表面的沾污及杂质。喷砂机产生的少量排气经自带的过滤回收装置回收金刚砂后在车间 内排放。（6）氧

22、化 对扩散完成的硅片，使用双氧水和盐酸进行再次清洗，然后用纯水清洗。清洗后的硅片进入氧化用扩散炉， 在通氧气的情况下， 通过高温过程在硅片表面形成二氧化硅层。 氧化完成后用纯水对硅片进行清洗。清洗产生的废水、废酸进入酸碱废水处理系统处理 后由总排口排放。 清洗产生的酸性废气进入 1#酸碱废气净化塔处理后， 由 15m 高的排气验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 9 页 共 35 页筒 （ P1） 排 放 。（7）光刻 使用匀胶机在硅片表面均匀涂上光刻胶，涂胶时旋转硅片，使光刻胶在表面形成薄层，该工序有部分光刻胶被离心带出，经收集器收集后回用。

23、将硅片固定在光刻板的正 板与背板之间，放入光刻机，在一定波长光照下进行曝光，使光刻胶分解，光刻版上的 图形被转移到光刻胶上，曝光后的硅片在显影机里使用显影液进行显影，显影后即在光 刻胶上得到所需图形，然后对硅片进行清洗并使用丙酮进行脱水。本工序使用光刻胶、显影液、丙酮会产生有机溶剂废气，主要污染物为挥发性有机 物（丙酮、苯等） ，经收集后进入活性炭纤维吸附净化设施处理，由楼顶高于 15m 的排 气筒（P3）排放。废显影液定期送有资质单位处理，丙酮经蒸馏回收后循环使用。清洗 产生的废水进入酸碱废水处理系统处理后由总排口排放。丙酮的蒸馏回收采用常压蒸馏 装 置 ， 蒸 馏 回 收 能 力 小 于

24、10L/h， 由 于 规 模 很 小 ， 因 此 没 有 蒸 馏 不 凝 气 产 生 。 由 于 丙 酮 在生产中仅作为脱水剂使用，在蒸馏回收过程中产生的蒸馏残液主要成分是水，产生量 约为 1-2L/d， 进 入 酸 碱 废 水 处 理 系 统 处 理 后 由 总 排 口 排 放 。（8）开槽去氧化层（腐蚀） 为使光刻胶上的图形变为硅片图形，首先用氢氟酸腐蚀液对曝光显影后无光刻胶掩盖的氧化层进行腐蚀，然后使用由硝酸、氢氟酸和冰乙酸组成的混酸腐蚀液与曝光显影 后无光刻胶掩盖的硅片表面反应，在硅片表面腐蚀出沟槽，形成图形。腐蚀后的硅片在 清洗槽内用纯水冲洗。腐蚀工序产生酸性废气，主要污染物为氟化物

25、、氮氧化物，经收 集后进入 1#酸碱废气喷淋净化设施处理， 由 15m 的排气筒 （P1 ） 排放。 腐蚀和清洗过程 产生的含氟废水、废酸一同进入酸碱废水处理系统处理后由总排口排放。（ 9） 去 胶 在刻蚀之后，作为阻挡层的光刻胶不再需要，所以进行去胶。使用剥离液浸泡去除光刻胶层，然后用纯水清洗，清洗后用丙酮进行脱水。去胶工序剥离液和丙酮挥发产生 有机溶剂废气，主要污染物为挥发性有机物和丙酮，经收集后进入有机废气净化设施处 理 ， 由 楼 顶 高 于 15m 的 排 气 筒 （ P3） 排 放 。 废 剥 离 液 定 期 送 交 有 资 质 单 位 处 理 ， 丙 酮 经 蒸馏回收后循环使用，

26、清洗产生的废水进入酸碱废水处理系统处理后由总排口排放。（ 10） 玻 璃 保 护 （ 电 泳 ） 将去胶后的硅片浸没在溶有玻璃粉的丙酮溶液当中，通过电场作用使硅片表面附着验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 10 页 共 35 页一层玻璃粉。电泳过程中的丙酮溶液通过丙酮提纯机蒸馏提纯后循环使用。丙酮挥发产 生有机溶剂废气，主要污染物为挥发性有机物，经收集后进入有机废气净化设施处理， 由楼顶高于 15m 的排气筒（P3）排放。（ 11） 玻 璃 钝 化 将硅片放入玻钝用扩散炉中，通过高温使硅片表面的玻璃粉固化烧结成玻璃层，在500 度温度下烧结

27、30min，烧结结束后降温至 100 度取出芯片。（ 12） 一 次 镀 镍将制作好的芯片放入石英烧杯中浸镀镍液 20 分钟，然后用纯水清洗，清洗后甩干。 镀镍液为外购配置好比例的混合溶液，成分为氯化镍、氯化铵和氨水。清洗产生的含镍 废水和废镀镍液经单独管线收集后进入含镍废水处理系统处理，处理达标后与其他废水 混 合 ， 由 总 排 口 排 放 。 氨 水 挥 发 产 生 的 少 量 氨 气 经 收 集 后 进 入 2#酸碱废气喷淋净化设施 处理，由楼顶高于 15m 的 排 气 筒 （ P2） 排 放 。（ 13） 烧 渗 将一次镀镍后的硅片置于扩散炉内，在高温条件下将镀镍层烧结，提高镍层与硅

28、片的结合力。（ 14） 二 次 镀 镍 烧渗后采用同样的方法进行二次镀镍，之后用纯水清洗，清洗后甩干。含镍废水、废镀镍液及氨水挥发废气的收集处理方式与一次镀镍相同。（ 15） 中 测 将完成上述工艺的硅片送入测试机中进行参数测试。（ 16） 划 片 测试合格的硅片使用划片机分割成晶粒，划片后的晶粒进行分选，用显微镜挑去不良的晶粒。（ 17） 检 验 对晶粒进行最后的监测，然后送至外协加工厂进行封装。生产中使用的各种化学原料的包装桶均由供应商回收处理。（ 18） 封 装 （ 外 协 加 工 ） 封装工序在外协加工厂完成，主要包含引线焊接、塑封、检验包装三个步骤。（ 19） 打 标 完 成 封 装

29、 后 的 产 品 运 回 本 厂 打 标 ， 然 后 作 为 成 品 出 厂 。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 11 页 共 35 页主要污染排放情况1.废气本项目双面减薄、扩散后处理、氧化前处理、去氧化层、沟槽腐蚀工序产生的 氟 化 物 、 氮 氧 化 物 、 氯 化 氢 经 1#喷淋塔处理后由 1 根 15 米 排 气 筒 （ P1） 排 放 ； 扩 散前处理、 一次镀镍、 二次镀镍工序产生的氯化氢、 氨经 2#喷淋塔处理后由 1 根 15 米 排 气 筒 （ P2） 排 放 ； 均 胶 、 曝 光 、 显 影 等 工 序 产 生 的

30、 有 机 废 气 经 洗 涤 冲 洗 塔 和 活 性 炭吸附处置后由 1 根 15 米 排 气 筒 （ P3） 排 放 ； 喷 砂 工 序 产 生 的 粉 尘 无 组 织 排 放 。 有 组织废气排气筒见图 3、图 4、图 5。2.废水本 项 目 建 有 独 立 的 污 水 处 理 站 ， 污 水 站 底 部 垫 设 20cm 沙 土 层 ， 沙 土 层 上 浇 筑 20cm 厚 混 凝 土 层 作 防 渗 处 理 ； 含 镍 废 水 由 单 独 的 处 理 系 统 进 行 处 理 ； 酸 碱 含 氟 废 水 经处理后与含镍废水、 生活污水一同排入西青大寺污水处理厂 。 主要污染物为 pH 值

31、、 CODcr、BOD 5、氨氮、总磷、悬浮物、动植物油类、石油类、氟化物、总镍。污水 处理站及规范化排口见图 6、图 7、图 8。3.噪声本项目噪声主要源为空压机、风机、真空泵等设备运行时产生的噪声。4.固体废物本 项 目 产 生 的 废 显 影 液 、 废 剥 离 液 、 树 脂 再 生 废 液 、 废 活 性 炭 纤 维 、 废 离 子 交 换 树 脂 、 废 水 处 理 污 泥 及 废 滤 料 等 危 险 交 由 天 津 合 佳 威 立 雅 环 境 服 务 有 限 公 司 进 行 处理；废硅片由供应商回收；废金刚砂、生活垃圾由环卫部门进行清运。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津

32、 环 监 验 字 2016第 172 号 第 12 页 共 35 页图 3 P1 排 气 筒 图 4 P2 排 气 筒图 5 P3 排 气 筒 图 6 污 水 处 理 站图 7 废 水 规 范 化 排 口 图 8 废 水 规 范 化 排 口验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 13 页 共 35 页验收监测执行标准1.废 气 执 行 标 准 ： 见 表 4表4 废气执行标准标准限值最高允监 测 点 位 污染物 最高允许排放浓度（ mg/m3）许排放 速率（k g/h） 排气筒（ m）依据1#酸 碱 废 气 净 化 塔 出 口氟化物氮 氧 化 物

33、 9.0240 0.100.77 15 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 氯化氢 100 0.26（G B16297-1996） 中 表 2 新污染源 大 气 污 染 物 排 放 限 值 （ 二 级 ）2#酸 碱 废 气 净 化 塔 出 口氯化氢100 0.26 15 恶 臭 污 染 物 排 放 标 准 氨 - 3.42 （ DB12/-059-95） 有 机 废 气 净 化 塔 出 口VOCs苯2010.70.215 天 津 市 工 业 企 业 挥 发 性 有 机 物 排 放 控 制 标 准 （ DB12/524-2014）电 子 工 业 （ 半 导 体 制 造 ） 无组织 排放源

34、 颗粒物 1.0 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （G B16297-1996） 中 表 2 无组织 排 放 监 控 浓 度 限 值验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 14 页 共 35 页2.废 水 执 行 标 准 ： 见 表 5表5 废水执行标准控制项目 标 准 限 值 （ mg/L） 标准依据pH 值 6.0-9.0（ 无 量 纲 ）CODcr 500BOD5 300悬浮物 400氨氮 35总磷 3.0动 植 物 油 类 100石油类 20氟化物 20总镍 1.0 污 水 综 合 排 放 标 准 DB12/356-2008三

35、 级2.噪声排放标准执 行 GB12348-2008 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准 中 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声排放 3 类昼间限值，标准值 65dB(A) 夜 间 ， 55dB(A)。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 15 页 共 35 页验收监测分析方法及依据1. 废 气 监 测 ： 见 表 6表 6 废气监测分析方法及依据监 测 项 目 监 测 分 析 方 法 及 依 据氟化物 大 气 固 定 污 染 源 氟 化 物 的 测 定 离 子 选 择 电 极 法 HJ/T67-2001氮 氧 化 物

36、固 定 污 染 源 废 气 氮 氧 化 物 的 测 定 定 电 位 电 解 法 HJ693-2014氯化氢 环 境 空 气 和 废 气 氯 化 氢 的 测 定 离 子 色 谱 法 HJ549-2017氨 环 境 空 气 和 废 气 氨 的 测 定 纳 氏 试 剂 分 光 光 度 法 HJ533-2009VOCs 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 固 相 吸 附 -热 脱 附 /气 相 色 谱 -质 谱 法 HJ734-2014苯颗粒物 环 境 空 气 总 悬 浮 颗 粒 物 的 测 定 重 量 法 GB/T15432-19952.废 水 监 测 ： 见 表 7表

37、7 废水监测分析方法及依据污染物 分析方法 依据pH 值 玻 璃 电 极 法 GB/T6920-1986悬浮物 重量法 GB/T11901-1989氨氮 纳 氏 试 剂 比 色 法 HJ535-2009BOD 微 生 物 传 感 器 快 速 测 定 法 HJ/T86-2002COD 重 铬 酸 盐 法 GB/T11914-1989动 植 物 油 类 石油类红 外 分 光 光 度 法 HJ637-2012总磷 钼 酸 铵 分 光 光 度 法 GB/T11893-1989总镍 火 焰 原 子 吸 收 分 光 光 度 法 GB/T 11912-1989氟化物 离 子 选 择 电 极 法 GB/T74

38、84-19873.噪 声 监 测执行 GB 123482008工业企业厂界环境噪声排放标准中第 5 部分监测方法。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 16 页 共 35 页验收监测内容1.废 气 监 测 点 位 、 项 目 及 频 次 ： 见 表 8表 8 废气监测点位、项目及频次污染源 采 样 点 位 点位数 监测因子 监测项目 监 测 频 次有组 织源1#酸 碱 废 气 净 化 塔 出 口2#酸 碱 废 气 净 化 塔 出 口3#有 机 废 气11氟 化 物 、 氮 氧 化 物 、 氯 化 氢氯 化 氢 、 氨排 放 浓 度 排 放 速

39、率排 放 浓 度 排 放 速 率排 放 浓 度2 周期 ， 4 次/ 周期 ， 每 次 一 小 时 ；氯 化 氢 、 VOCs、 颗 粒 物 ： 1 样 /小 时；氨：2 样 /小 时 ；净 化 塔 出 口 1 VOCs、 苯 排 放 速 率 氟 化 物 ： 3 样 /小 时；无组 织源下 风 向 浓 度 最 高 点 4 颗粒物 排 放 浓 度氮 氧 化 物 ：4 样 /小 时 ；2.废 水 监 测 点 位 、 项 目 及 频 次 ： 见 表 9表 9 废水监测点位、项目及频次监测点位 监测项目 监测内容 监测频次车 间 排 口 总镍 排 放 浓 度酸 碱 含 氟 废 水 处 理 系 统 进

40、出 口 pH 值 、 氟 化 物排 放 浓 度 净 化 效 率总排口pH 值 、 CODcr、 BOD5、 悬 浮 物 、 氨 氮 总 磷 、 动 植 物 油 类 、 石 油 类 、 氟 化 物 、 总镍排 放 浓 度2 周 期 ，4 次 /周 期3. 噪声（1）点位布设： 沿厂界外 1 米，共布设 6 个监测点位。 （监测点位布设见附图 2） 。（ 2） 监 测 频 次 ： 共 监 测 2 周期，一般监测点位每周期测量 3 次。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 17 页 共 35 页验收监测结果一 有 组 织 源 废 气 监 测 结 果

41、：表 10 1#酸碱废气净化塔出口监测 监测 2017.1.17 2017.1.18因子 频次 排 放 浓 度（ mg/m3） 排 放 速 率（ kg/h） 排 放 浓 度（ mg/m3） 排 放 速 率（ kg/h）氟化物氯化氢氮氧 化物1 次 未检出 2.110-3 0.773 9.610-32 次 0.358 4.410-3 0.713 9.310-33 次 未检出 1.910-3 0.436 5.310-34 次 0.382 4.910-3 0.454 6.110-3标 准 限 值 9.0 0.10 9.0 0.101 次 0.14 1.810-3 0.32 4.010-32 次 0.

42、21 2.610-3 0.32 4.210-33 次 0.22 2.610-3 0.18 2.210-34 次 0.23 2.910-3 0.17 2.310-3标 准 限 值 100 0.26 100 0.261 次 5.50 7.110-2 6.25 7.810-22 次 6.00 7.410-2 5.75 7.510-23 次 5.75 6.810-2 5.25 6.310-24 次 6.00 7.610-2 6.25 8.310-2标 准 限 值 240 0.77 240 0.77注：氟化物方法检出限为 0.328 mg/m3， 排 放 速 率 按 1/2 检 出 限 计 算 。验 收

43、 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 18 页 共 35 页表 11 2#酸碱废气净化塔出口监测 监测 2017.1.17 2017.1.18因子 频次 排 放 浓 度（ mg/m3） 排 放 速 率（ kg/h） 排 放 浓 度（ mg/m3） 排 放 速 率（ kg/h）氨氯化氢1 次 0.191 2.310-3 0.221 2.710-32 次 0.206 2.510-3 0.128 1.610-33 次 0.362 4.410-3 0.252 3.010-34 次 0.378 4.510-3 0.283 3.510-3标 准 限 值 - 3.

44、42 - 3.421 次 0.20 2.410-3 0.19 2.310-32 次 0.13 1.610-3 0.13 1.610-33 次 0.18 2.210-3 0.14 1.710-34 次 0.21 2.510-3 0.16 2.010-3标 准 限 值 100 0.26 100 0.26表 12 3#有机废气净化塔出口监测 监测 2017.1.17 2017.1.18因子 频次 排 放 浓 度（ mg/m3） 排 放 速 率（ kg/h） 排 放 浓 度（ mg/m3） 排 放 速 率（ kg/h）VOCs苯1 次 0.080 2.410-3 0.227 6.610-32 次 未检

45、出 1.510-5 0.220 6.610-33 次 未检出 1.510-5 0.280 8.310-34 次 0.020 5.910-4 0.425 1.210-2标 准 限 值 20 0.7 20 0.71 次 未检出 6.010-5 未检出 5.910-52 次 未检出 6.010-5 未检出 5.910-53 次 未检出 6.010-5 未检出 5.910-54 次 未检出 5.910-5 未检出 5.810-5标 准 限 值 1 0.2 1 0.2注： VOCs 检出污染物共 23 项， 2-庚 酮 、 六 甲 基 二 硅 氧 烷 检 出 限 最 低 ， 为 0.001 mg/m3，

46、 未 检 出 样 品 排 放 速 率 按 污 染 物最低检出限 1/2 计 算 得 出 ； 苯 的 方 法 监 测 下 限 为 0.004mg/m3， 排 放 速 率 按 1/2 检出限计算。验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 19 页 共 35 页监 测 日 期 频次 风向 风 速 （ m/s） 气 温 （ ） 气 压 （ kPa）12西北西北1.11.1-10103.1103.13 西北 1.2 1 103.14 西北 1.2 2 103.112北北1.01.101103.8103.83 北 1.1 2 103.84 北 1.2 2 10

47、3.8验收监测结果二 无 组 织 源 废 气 监 测 结 果 ：表 13 验收监测期间气象情况2017.1.172017.1.18表 14 颗粒物监测结果 单位：mg/m 3日期 频次 点位 4# 5# 6# 7#1 0.413 0.587 0.435 0.3702017.1.17230.3930.4380.5680.6790.6770.5260.6550.5044 0.440 0.550 0.484 0.4621 0.412 0.586 0.434 0.3692017.1.18230.3920.4370.5660.6770.6750.5240.6530.5024 0.437 0.546 0.

48、481 0.459标 准 限 值 1.0验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 20 页 共 35 页验收监测结果三 废 水 监 测 结 果 ：表 15 车间排口监测结果监测时间 监测频次 总 镍 （ mg/L）1 次 0.102 次 0.112017.1.172017.1.183 次 0.114 次 0.11日均值 0.111 次 0.05L2 次 0.05L3 次 0.05L4 次 0.05L日均值 0.05L排 放 限 值 1.0注 ： “L”表 示 未 检 出 ， L 前的数字为方法最低检出限。表 16 2017.1.17 酸碱含氟废水处

49、理系统进出口监测结果监测点位 监测频次 pH 值（无量纲） 氟 化 物 （ mg/L）1 次2 次7.257.2138.436.9净 化 设 施 入 口 3 次 7.21 38.44 次 7.13 35.4日均值 7.13 7.25 37.31 次2 次3.743.6929.030.1净 化 设 施 出 口 . 3 次 3.75 27.84 次 3.70 30.1日均值 3.69 3.75 29.2净 化 效 率 - 21.7%验 收 监 测 报 告 表 编 号 ： 津 环 监 验 字 2016第 172 号 第 21 页 共 35 页表 17 2017.1.18 酸碱含氟废水处理系统进出口监测结果监测点位 监测频次 pH 值（无量纲） 氟 化 物 （ mg/L）1 次2 次7.397.3713.4