1、光学工程专业毕业论文 精品论文 可见与红外双波段增透膜的研究与制备关键词：军用仪器 光学仪器 增透镀膜 镀膜工艺摘要：本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段4001000nm 的平均透射率大于 9
2、1，远红外波段 711m 的平均透射率大于90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。正文内容本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm的平均透射率大于 91，远
3、红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 7
4、11m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平
5、均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于
6、 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够
7、承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环
8、境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全
9、满足军用光学仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学
10、仪器的使用要求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要
11、求。本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。特别提醒
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