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离子束研磨系统1简介:此设备用於为穿透式电子显微镜试片制作.doc

上传人:无敌 文档编号:1272965 上传时间:2018-06-21 格式:DOC 页数:1 大小:38KB
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離子束研磨系統一、 簡介:此設備用於為穿透式電子顯微鏡試片製作。穿透式電子顯微鏡的試片厚度需低於數十奈米,以得到良好的分析影像。這樣的厚度非傳統機械式研磨可以輕易達到,而利用此套系統,以氬氣離子將試片轟擊以產生電子可穿透的薄區,提供可靠的試片製作方法。離子轟擊的過程中,試片表面很容易產生非晶相的薄膜,影響穿透式電子顯微鏡中高解析影像的品質。這套設備可以利用低加速電壓產生較低能量的氬氣離子,將試片表面的非晶層清除。二、型號:Gatan Precision Ion Polishing System II, 695.B。三、規格:1. 電壓輸出範圍: 100V8kV。2. 離子束入射角度10 度。四、試片尺寸:1. 標準 TEM 試片尺寸(直徑為 3 mm 圓盤)。2. 試片須先以機械研磨方式剪薄至 20 m。五、放置位置:工學院綜合大樓 B24 室。六、負責技術人員:謝坤州先生。

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