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1、洁净技术专业用语1 洁 净 度 cleanliness以 单 位 体 积 空 气 某 粒 径 粒 子 的 数 量 来 区 分 的 洁 净 程 度 。2 洁 净 室 clean room 空 气 悬 浮 粒 子 浓 度 受 控 的 房 间 。 它 的 建 造 和 使 用 应 减 少 室 内 诱入 ,产 生 及 滞 留 粒 子 。 室 内 其 它 有 关 参 数 如 温 度 、 湿 度 、 压 力等 按 要 求 进 行 控 制 。3 洁 净 区 clean zone 空 气 悬 浮 粒 子 浓 度 受 控 的 限 定 空 间 。 它 的 建 造 和 使 用 应 减 少 空间 内 诱 入 ,产 生

2、及 滞 留 粒 子 。 空 间 内 其 它 有 关 参 数 如 温 度 、 湿度 、 压 力 等 按 要 求 进 行 控 制 。 洁 净 区 可 以 是 开 放 式 或 封 闭 式 。4 移 动 式 洁 净 小 室 clean booth 可 整 体 移 动 位 置 的 小 型 洁 净 室 。 有 刚 性 或 薄 膜 围 档 两 类 。5 人 身 净 化 用 室 room for cleaning human body 人 员 在 进 入 洁 净 区 之 前 按 一 定 程 序 进 行 净 化 的 房 间 。6 物 料 净 化 用 室 room for cleaning material 物

3、料 在 进 入 洁 净 区 之 前 按 一 定 程 序 进 行 净 化 的 房 间 。7 粒 径 partical size 由 给 定 的 粒 子 尺 寸 测 定 仪 响 应 当 量 于 被 测 粒 子 等 效 的 球 体 直 径 。对 离 散 粒 子 计 数 ,光 散 射 仪 器 采 用 当 量 光 学 直 径 。8 悬 浮 粒 子 airborne particles 用 于 空 气 洁 净 度 分 级 的 空 气 中 悬 浮 粒 子 尺 寸 范 围 在 0.1 5 m的 固 体 和 液 体 粒 子 。9 超 微 粒 子 ultrafine particle 具 有 当 量 直 径 小

4、于 0.1 m 的 粒 子 。10 微 粒 子 macroparticle 具 有 当 量 直 径 大 于 5 m 的 粒 子 。11 粒 径 分 布 particle size distribution 粒 子 粒 径 频 率 分 布 和 累 积 分 布 ,是 粒 径 的 函 数 。12 含 尘 浓 度 particle concentration 单 位 体 积 空 气 中 悬 浮 粒 子 的 颗 数 。13 气 流 流 型 air pattern 对 室 内 空 气 的 流 动 形 态 和 分 布 进 行 合 理 设 计 。14 单 向 流 unidirectional airflow

5、沿 单 一 方 向 呈 平 行 流 线 并 且 横 断 面 上 风 速 一 致 的 气 流 。15 垂 直 单 向 流 vertical unidirectional irflow 与 水 平 面 垂 直 的 单 向 流 。16 水 平 单 向 流 horizontal unidirectional airflow 与 水 平 面 平 行 的 单 向 流 。17 非 单 向 流 non-unidirectional airflow 凡 不 符 合 单 向 流 定 义 的 气 流 。18 混 合 流 mixed airflow 单 向 流 和 非 单 向 流 组 合 的 气 流 。19 洁 净

6、工 作 区 clean working area 指 洁 净 室 内 离 地 面 高 度 0.8 1.5m(除 工 艺 特 殊 要 求 外 )的 区 域 。20 空 气 吹 淋 室 air shower 利 用 高 速 洁 净 气 流 吹 落 并 清 除 进 入 洁 净 室 人 员 表 面 附 着 粒 子 的 小室 。21 气 闸 室 air lock 设 置 在 洁 净 室 出 入 口 ， 阻 隔 室 外 或 邻 室 污 染 气 流 和 压 差 控 制 而 设置 的 缓 冲 间 。22 传 递 窗 pass box 在 洁 净 室 隔 墙 上 设 置 的 传 递 物 料 和 工 器 具 的

7、开 口 。 两 侧 装 有 不能 同 时 开 启 的 窗 扇 。23 洁 净 工 作 台 clean bench 能 够 保 持 操 作 空 间 所 需 洁 净 度 的 工 作 台 。24 洁 净 工 作 服 clean working garment 为 把 工 作 人 员 产 生 的 粒 子 限 制 在 最 小 程 度 所 使 用 的 发 尘 量 少 的 洁净 服 装 。25 空 态 as-built 设 施 已 经 建 成 ,所 有 动 力 接 通 并 运 行 ,但 无 生 产 设 备 ,材 料 及 人 员 。26 静 态 at-rest设 施 已 经 建 成 ,生 产 设 备 已 经

8、安 装 ,并 按 业 主 及 供 应 商 同 意 的 状态 运 行 ,但 无 生 产 人 员 。27 动 态 operational 设 施 以 规 定 的 状 态 运 行 ,有 规 定 的 人 员 在 场 ,并 在 商 定 的 状 况 下进 行 工 作 。28 检 漏 试 验 leakage test 检 查 空 气 过 滤 器 及 其 与 安 装 框 架 连 接 部 位 等 的 密 封 性 试 验 。29 高 效 空 气 过 滤 器 HEPA(high efficiency particulate airfilter) 在 额 定 风 量 下 ,对 粒 径 大 于 等 于 0.3 m 粒

9、子 的 捕 集 效 率 在 99.9%以上 及 气 流 阻 力 在 250Pa 以 下 的 空 气 过 滤 器 。30 超 高 效 空 气 过 滤 器 ULPA(ultra low penetration airfilter) 在 额 定 风 量 下 ,对 粒 径 0.1 0.2 m 粒 子 的 捕 集 效 率 在 99.999%以 上 及 气 流 阻 力 在 280Pa 以 下 的 空 气 过 滤 器 。31 纯 水 purity water 对 电 解 质 杂 质 含 量 (常 以 电 阻 率 表 征 )和 非 电 解 质 杂 质 (如 微 粒 、有 机 物 、 细 菌 和 溶 解 气 体

10、 等 )含 量 均 有 要 求 的 水 。32 防 静 电 环 境 ESD controlled environment 能 防 止 静 电 危 害 的 特 定 环 境 ,在 这 一 环 境 中 不 易 产 生 静 电 ,静 电产 生 后 易 于 消 散 或 消 除 ,静 电 噪 声 难 以 传 播 。33 表 面 电 阻 surface resistance 在 材 料 的 表 面 上 两 电 极 间 所 加 直 流 电 压 与 流 过 两 极 间 的 稳 态 电 流之 商 。34 体 积 电 阻 volume resistance 在 材 料 的 相 对 两 表 面 上 放 置 的 两 电

11、 极 间 所 加 直 流 电 压 与 流 过 两 电极 间 的 稳 态 电 流 之 商 。 该 电 流 不 包 括 沿 材 料 表 面 的 电 流 。35 表 面 电 阻 率 surface resistivity 在 材 料 表 面 层 的 直 流 电 场 强 度 与 稳 态 电 流 线 密 度 之 商 。 其 量 纲为 / 。36 体 积 电 阻 率 volume resistivity 在 材 料 内 层 的 直 流 电 场 强 度 与 稳 态 电 流 密 度 之 商 。 其 量 纲 为 cm。37 专 用 消 防 口 fire-firing access 消 防 人 员 为 灭 火 而

12、 进 入 建 筑 物 的 专 用 入 口 ,平 时 封 闭 ,使 用 时 由消 防 人 员 从 室 外 打 开 。38 自 净 时 间 cleanliness vecoverly characteristic洁 净 室 被 污 染 后 ,净 化 空 调 系 统 开 始 运 行 至 恢 复 到 稳 定 的 规 定 室内 洁 净 度 等 级 的 时 间 。40 生 物 洁 净 室 biological cleanroom 洁 净 室 空 气 中 悬 浮 微 生 物 控 制 在 规 定 值 内 的 限 定 空 间 。41 浮 游 菌 airborne viable particles 洁 净 室 悬 浮 在 空 气 中 的 菌 落 。42 沉 降 菌 colony forming unit 洁 净 室 降 落 在 培 养 皿 上 的 菌 落 。