1、TFT LCD製程簡介 日期88年8月25日時間13 20 15 20講師謝經國 熊明德 液晶顯示器 LCD 之用途 聯友光電 一廠 二廠 投片 清洗 薄膜 黃光 蝕刻 測試 清洗 配向 框膠 熱壓 切裂 注入 磨洗貼 FPC COG 組裝 燒機 F I 投片 清洗 薄膜 黃光 蝕刻 測試 清洗 配向 框膠 熱壓 切裂 注入磨洗貼 FPC COG 組裝 燒機 F I 工廠概況 甚麼是TFT LCD TFT 薄膜電晶體ThinFilmTransistor LCD 液晶顯示器LiquidCrystalDisplay TFT LCD剖面圖 SOURCE源極 DRAIN汲極 ITO畫素電極 液晶分子C
2、RYSTAL CF彩色濾光膜 B L背光 一個電晶體 顯示單位 動作示意圖 液晶作動原理 偏光板作用及液晶旋光性介紹 一個電晶體顯示電路示意圖 Datadriver Scandriver 認識Array Unipac製程簡述 Array 電晶體矩形陣列 Cell 顯示單元體 Module 產品模組 鍍膜 sputter cvd 光罩 reticle 蝕刻 etch 去光阻液stripper TFT循環製程圖解 鍍下一層膜 酸A或氣體A TFT循環製程圖解1 顯影液 TFT循環製程圖解2 去光阻液A 顯影液 酸B或氣體B TFT循環製程圖解3 去光阻液B 鍍第三層膜 請依之前所示範的方法舉一反三
3、 自行模擬想像 FAB ARRAY之六步驟 FABIIARRAY之五步驟 TI AL TI S I N TI AL TI PASSIVATION 1 鍍上鈦鋁鈦合金 GATE 2 S SiNx 氮矽化合物 絕緣層 I Si 非結晶矽 通道層 N N 歐姆接觸 3 鍍上鈦鋁鈦合金 source drain 4 鍍上 5 鍍上ITO 銦錫氧化物 透明畫素電極 ITO是透明又會導電的物質 SiNx保護層及做VIA層 ITO 1 GE層 2 AS層 3 SD層 4 BP層 5 TI層 五層合一 FABII五道光罩的圖型 玻璃基板 A1 A2 GE Ti Al Ti AS SiNx AS Si AS N
4、 SD Ti Al Ti BP SiNx TI ITO Gate GE SIN AS Source Drain SD Passivation BP ITO TI 電晶體剖面圖 玻璃基板 B1 B2 GE Ti Al Ti AS SiNx SD Ti Al Ti BP SiNx TI ITO Gate GE SIN AS Source Drain SD Passivation BP ITO TI 補償電容剖面圖 ARRAY製程簡圖 610mm 甚麼是畫素 PIXEL 一個可以顯示出所有顏色的單位稱作 畫素 PIXEL 一個畫素含有三分割 紅 綠 藍 R G B 每一個分割叫做子畫素 SUB PI
5、XEL 畫素 子畫素 基礎色彩學介紹 白 紅 綠 藍紫 紅 藍黃 紅 綠青 綠 藍 乘法系統 過濾法 顏料 黑 黃 青 深紅紅 黃 深紅綠 黃 青藍 深紅 青 黑 深紅 青 黃 ColorFilter彩色濾光片簡述 早期的AV產品 亮度最高適用於OA產品 最新的AV產品 R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R 馬賽克 對角形 R G R G 條形 R G B R G B R G B R R G B R G R G B R G B R G B R 戴爾它 三角形 B PI共製程 CF TFT PICoating Polyimide配向膜
6、塗覆 PIRubbing配向 PI共製程 CF TFT 配向絨布 PI膜配向 基板和roller成45度角 TFT和CF基板方向差90度 Roller高速旋轉時 絨毛上的纖維會甩立起來 將PI膜刷出紋路Rubbing的情況 類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機 將路面刨出紋路 框膠及點銀膠 框膠 AgPaste Colorfilter 點銀膠是為了導通CF的共地極 COMMON極 PI膜 灑間隙粒子 SPACERSPRAYSPACER灑佈 Spacer ARRAY玻璃 PI膜 SPACER是小塑膠球又稱為 間隙粒子 CF TFT共製程 Attachment CF基板 大片組合 TFT基板 黏合玻璃的
7、UV膠 紫外線膠照射紫外線後就會產生黏合力 將兩片玻璃黏合 CF TFT共製程 HotPress 氣囊熱壓 大片組合之基板 熱壓機hotpressor 115 200度C4小時 一次可壓18 20片壓完後 CF和TFT板之間的距離變成約4 85 m二廠使用真空熱壓法 壓力表 CF TFT共製程 Scribing Breaking 切割 裂片 一片玻璃可以切成幾片面板 320mm 1 8 2 5 4 6 1 6 8 第1代面板 長400mm 寬320mm 400mm 面板範圍 裁餘部份 拋棄不用 一片玻璃可以切成幾片面板 720mm 610mm 13 3 14 1 15 17 19 22 32
8、面板範圍 裁餘部份 拋棄不用 第3 5代面板 長720mm 寬610mm 液晶注入示意圖 利用大氣壓力及毛細現象將液晶灌入cell內 UV膠 紫外線膠 照射紫外線 面板封口 Colorfilter Arraychip 磨邊 Beveling 磨邊 去掉短路棒shortingbar 短路棒 貼偏光片 Polarizer PolarizerAttachment 偏光片貼附 上下偏光片濾光角度差90度 異方性導電膜之簡述 IC貼附 ACF貼附 COG黏著 COGBonding 包括 Chips FPC 驅動IC黏著後用矽膠 白膠 封住 TFT CF 驅動IC ACF 偏光片 組裝Assembly 燒機 BURNIN 壽命測試穩定性測試 60度C6小時 Packing 包裝 外觀總檢 包裝 模組製程流程圖 COG chiponglass COG製程 CHIPONGLASS
