1、AUOProprietary Confidential S03E1 吴学磊2008年4月29日 电磁比例阀介绍 型号 ITV2050 212L X26 厂商 SMC 专业名词解释 功能介绍 电磁比例阀的作用是从人机输入制程所需压力值 后传输给DA模块 再与电磁比例阀通讯 达到预期要的压力值 主要应用在DECO机台ACF 本压 清洁单元控制压头的相刹压及清洁单元TANKPRESS 工作原理 电 气比例阀按其功能可分为压力式和流量式两种 压力式比例阀将输给的电信号线性地转换为气体压力 流量式比例阀将输给的电信号转换为气体流量 现行机台使用状况 1 SMCITV2050 212L X26型号的电磁比
2、例阀在DECOOLB清洁单元使用 用来控制酒精滴取的压力 2 SMCITV2050 212L X26型号的电磁比例阀在DECOOLBACF 本压单元使用 用来控制压头相刹压力 3 SMCITV2050 212L X26型号的电磁比例阀在DECOPCBACF 本压单元使用 用来控制压头相刹压力 如何调整 设定方法 1 首先长按UNLOCK键3秒 待跳动显示LOCK后按SET键切换为UNLOCK解锁 2 按下SET键 比例阀显示如下图1所示 设定F1值为0MPa 比例阀设定压力下限 3 再次按下SET键 比例阀显示如图2所示 设定F2值为0 9MPa 比例阀设定压力上限 4 按下SET键设定OK后
3、长按LOCK键3秒 待跳动显示UNLOCK后再按SET键切换为LOCK 图1 图2 UNLOCK及设定键 SET键 LOCK及设定键 如何判断好坏及常见故障维修 1 线圈部分线圈部分损坏有线路 接头接触不良及内部线圈损坏 现象 显示界面无显示或显示异常信息 88888 导致压头不下降 阀体部分阀体内部机构损坏及橡皮圈磨损导致漏气 现象 压头不下降或压力控制不稳定 3 底座部分气管接头处及阀体接触面橡皮圈磨损导致漏气 控制部件比例阀控制模块Q64DA损坏导致无法控制比例阀输出压力值 注意事项 1 选择电磁比例阀时要注意根据其适用的性能范围来选择 如右图 2 安装时要注意其接头部分要旋紧 防止接触不良 3 安装气管接头是要使用生料带 以防止漏气 AUOProprietary Confidential
