1、N 沟道 MOS 管的结构及工作原理 N 沟道金属-氧化物-半导体场效应管(MOS 管)的结构及工作原理结型场效应管的输入电阻虽然可达 106109W,但在要求输入电阻更高的场合,还是不能满足要求。而且,由于它的输入电阻是 PN 结的反偏电阻,在高温条件下工作时,PN 结反向电流增大,反偏电阻的阻值明显下降。与结型场效应管不同,金属-氧化物-半导体场效应管(MOSFET)的栅极与半导体之间隔有二氧化硅(SiO2)绝缘介质,使栅极处于绝缘状态(故又称绝缘栅场效应管),因而它的输入电阻可高达1015W。它的另一个优点是制造工艺简单,适于制造大规模及超大规模集成电路。MOS 管也有 N 沟道和 P
2、沟道之分,而且每一类又分为增强型和耗尽型两种,二者的区别是增强型 MOS 管在栅-源电压 vGS=0 时,漏-源极之间没有导电沟道存在,即使加上电压 vDS(在一定的数值范围内),也没有漏极电流产生(iD=0)。而耗尽型 MOS 管在 vGS=0 时,漏-源极间就有导电沟道存在。一、N 沟道增强型场效应管结构a) N 沟道增强型 MOS 管结构示意图(b) N 沟道增强型 MOS 管代表符号 (c) P 沟道增强型 MOS 管代表符号在一块掺杂浓度较低的 P 型硅衬底上,用光刻、扩散工艺制作两个高掺杂浓度的 N+区,并用金属铝引出两个电极,分别作漏极 d 和源极 s。然后在半导体表面复盖一层很
3、薄的二氧化硅(SiO2)绝缘层,在漏-源极间的绝缘层上再装上一个铝电极,作为栅极 g。另外在衬底上也引出一个电极 B,这就构成了一个 N 沟道增强型 MOS 管。显然它的栅极与其它电极间是绝缘的。图 1(a)、(b)分别是它的结构示意图和代表符号。代表符号中的箭头方向表示由 P(衬底)指向 N(沟道)。P 沟道增强型 MOS 管的箭头方向与上述相反,如图 1(c)所示。二、N 沟道增强型场效应管工作原理1vGS 对 iD 及沟道的控制作用MOS 管的源极和衬底通常是接在一起的(大多数管子在出厂前已连接好) 。从图 1(a)可以看出,增强型 MOS 管的漏极 d 和源极 s 之间有两个背靠背的
4、PN 结。当栅 -源电压 vGS=0 时,即使加上漏-源电压 vDS,而且不论 vDS 的极性如何,总有一个 PN 结处于反偏状态,漏-源极间没有导电沟道,所以这时漏极电流 iD0。若在栅-源极间加上正向电压,即 vGS0,则栅极和衬底之间的SiO2 绝缘层中便产生一个垂直于半导体表面的由栅极指向衬底的电场,这个电场能排斥空穴而吸引电子,因而使栅极附近的 P 型衬底中的空穴被排斥,剩下不能移动的受主离子(负离子),形成耗尽层,同时 P衬底中的电子(少子)被吸引到衬底表面。当 vGS 数值较小,吸引电子的能力不强时,漏 -源极之间仍无导电沟道出现,如图 1(b)所示。vGS 增加时,吸引到 P
5、衬底表面层的电子就增多,当 vGS 达到某一数值时,这些电子在栅极附近的 P 衬底表面便形成一个 N 型薄层,且与两个 N+区相连通,在漏- 源极间形成 N 型导电沟道,其导电类型与 P 衬底相反,故又称为反型层,如图 1(c)所示。vGS 越大,作用于半导体表面的电场就越强,吸引到 P 衬底表面的电子就越多,导电沟道越厚,沟道电阻越小。我们把开始形成沟道时的栅-源极电压称为开启电压,用 VT 表示。由上述分析可知,N 沟道增强型 MOS 管在 vGSVT 时,不能形成导电沟道,管子处于截止状态。只有当 vGSVT 时,才有沟道形成,此时在漏 -源极间加上正向电压 vDS,才有漏极电流产生。而
6、且 vGS 增大时,沟道变厚,沟道电阻减小,iD 增大。这种必须在 vGSVT 时才能形成导电沟道的 MOS 管称为增强型 MOS 管。2vDS 对 iD 的影响图 1如图 2(a)所示,当 vGSVT 且为一确定值时,漏-源电压 vDS 对导电沟道及电流 iD 的影响与结型场效应管相似。漏极电流 iD 沿沟道产生的电压降使沟道内各点与栅极间的电压不再相等,靠近源极一端的电压最大,这里沟道最厚,而漏极一端电压最小,其值为 vGD=vGS - vDS,因而这里沟道最薄。但当 vDS 较小(vDS 随着 vDS 的增大,靠近漏极的沟道越来越薄,当 vDS 增加到使 vGD=vGS-vDS=VT(或
7、 vDS=vGS-VT)时,沟道在漏极一端出现预夹断,如图 2(b)所示。再继续增大 vDS,夹断点将向源极方向移动,如图 2(c)所示。由于 vDS 的增加部分几乎全部降落在夹断区,故 iD 几乎不随 vDS 增大而增加,管子进入饱和区,iD 几乎仅由 vGS 决定。三、特性曲线、电流方程及参数1特性曲线和电流方程图 1N 沟道增强型 MOS 管的输出特性曲线如图 1(a)所示。与结型场效应管一样 ,其输出特性曲线也可分为可变电阻区、饱和区、截止区和击穿区几部分。转移特性曲线如图 1(b)所示,由于场效应管作放大器件使用时是工作在饱和区( 恒流区),此时 iD 几乎不随 vDS 而变化,即不同的vDS 所对应的转移特性曲线几乎是重合的,所以可用 vDS 大于某一数值(vDSvGS-VT)后的一条转移特性曲线代替饱和区的所有转移特性曲线,与结型场效应管相类似。在饱和区内,iD 与 vGS 的近似关系式为( vGSVT ) 式中 IDO 是 vGS=2VT 时的漏极电流 iD。2. 参数MOS 管的主要参数与结型场效应管基本相同,只是增强型 MOS 管中不用夹断电压 VP,而用开启电压 VT 表征管子的特性。