1概述油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域其工作压强范围为10 -2-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。2油扩散泵的工作原理与结构 图3：油扩散泵结构示意图图3是扩散泵的结构示意图。当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽 射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在处工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图4所示。 图4：油扩散泵抽气速率与入口压力的关系曲线
