1、 直流电源 -AE MDX 500 操作说明 1.基本说明 前面板 面板说明： Output Power a) Stop 的指示灯亮时，表示电源已关闭 b) Start 的指示灯亮时，表示电源已打开 Regulation a) Power 的指示灯亮时，表示电源处于功率模式，设定值是功率值 b) Current 的指示灯亮时，表示电源处于电流模式，设定值是电流值 c) Power 和 Current 的指示灯同时亮，表示电源处于电压模式，设定值是电压值 d) Power 和 Current 的指示灯同时闪时，表示电源处于未知模式 Status a) Arc 指示灯亮时，表示腔室内阻抗过低，输出
2、电流超过电源规定的最大值 b) Setpoint 指示灯亮时，表示电源的输出值已经达到设定值 c) Remote 指示灯亮时，表示电源的开关或设置值处于远控模式 d) Output 指示灯亮时，表示电源已经打开 e) Plasma 指示灯亮时，表示输出电流大于 10mA f) Interlock 指示灯亮时，表示互锁已经满足，若不满足，则该灯闪烁 Level 键：用于设置电源参数 Display 键：按改键可切换显示功率、电压或者电流 后面板 拨码开关 RAMP， 0.1 Sec：开关置下时，表示电源输出从 0 到设定值的时间为 0.1 秒 RAMP， 1.0 Sec：开关置下时，表示电源输出
3、从 0 到设定值的时间为 1.0 秒 RAMP， 10 Sec：开关置下时，表示电源输出从 0 到设定值的时间为 10 秒 C HOLD：开关置下时，可缩短第一次以后电源输出值达到设定值的时间 ON/OFF：开关置上时，表示通过 User Port 来打开或者关闭电源，置下时，表 示通过前面板打开或者关闭电 源 SETPOINT：开关置上时，表示通过 User Port 设置电源参数，置下时，表示通 过前面板设置电源参数 SW7、 SW8：未用 User Port 定义 接口为 25PIN 母头 1 当前电流 14 +15V，供用户使用 2 当前功率 15 未用 3 当前电压 16 选择模式 (低 ) 4 缺水互锁 (低 ) 17 选择模式 (低 ) 5 真空互锁 (低 ) 18 未用 6 互锁 (低 ) 19 未用 7 关闭电源 20 地 8 打开电源 (低 ) 21 地 9 地 22 电源开关指示 (低 ) 10 参考电位 23 设定值 11 未用 24 未用 12 设定值（根据设定模式） 25 地 13 达到设定点 (低 ) 4 5 6 9 7 8 1 6 2 2 3 P L C 模 拟 量 输 入 P L C 模 拟 量 输 出 9 / 2 0 / 2 5 / 2 1 P L C M 9 / 2 0 / 2 5 / 2 1 P L C 数 字 量 输 出
