1、PERC电 池 工 艺KOH体 系 碱 刻 蚀 抛 光 技 术 介 绍深 圳 捷 佳 伟 创 研 发 部2018/6Outline1 碱抛光刻蚀技术发展介绍2 碱刻蚀技术搭配PERC电池3 碱抛光刻蚀技术的成本优势4 小结21.国产设备品质、功能、稳定性、产能都大幅度提升；2.能够提供工艺支持，解决设备与工艺的融合问题；湿法设备的发展轨迹2003-2005依赖进口设备 2006-2010国产化的开始 2010-2013国产设备规模化2014-今国产设备国际化1.全部为国外进口，价格在千万左右；2. 机器调试依赖国外技术人员，收费昂贵； 1.开始国产化设备，但功能、稳定性依然不能与国外设备比较；
2、2.尚未掌握设备与工艺的匹配问题； 1.普通电池环节品质可以和进口设备相当；2.市场占有率超越进口设备，达到60%以上，成本下降50%60%；3.设备与工艺融合更深入，同时实现高度自动化；累计向市场销售约60GW的湿法设备！ 未来更高效电池设备1.提供高端电池工艺设备（HITIBCTop-con等）；2.设备的选材，制造等环节全面升级；湿法设备的发展轨迹l 湿法设备（包含制绒、刻蚀等其他清洗设备）到目前为止市场占有率已经超过进口设备；捷佳创自2010年开始致力于碱刻蚀抛光技术设备的研究，替代传统的酸刻蚀设备52012年第一代碱刻蚀抛光设备在客户端成功量产！第一代链试碱抛光设备 第二代槽式碱抛光
3、设备 第三代高效槽式碱抛光设备 匹配PERC产线，满足背面平整度要求，电性能较酸刻蚀有明显优势, EL问题突出； 搭配TMAH抛光剂，N污染严重； 设备整体COO偏高； 设备故障率偏高； 辅材升级，KOH体系抛光研制成功上线，背面平整度满足要求，解决N元素污染问题； 使用槽式设备，整体COO下降； 设备稳定性大幅提升； 产能：400Pcs/批，6500Pcs/hour；兼容背面刻蚀抛光及单晶背面制绒工艺；支持多种添加剂及混合添加剂技术；支持最薄120um硅片洁净区域干燥，自洁净系统快速换液，在线换液支持MES、RFID及选配在线称重功能；碱抛光刻蚀设备可以用于多种工艺路径INKRear etc
4、hing , SE,PSG removePolishing(KOH)texturingDiffusionPECVDPrinting and AnnealingIV testAl2O3 PassivationlaserAnnealing , PIDtexturingDiffusionPECVDPrinting and AnnealingIV testAl2O3 PassivationlaserAnnealing , PIDPolishing(KOH)texturingDiffusionPECVDPrinting and AnnealingIV testPolishing(KOH) Polishi
5、ng(KOH)texturingDiffusionPECVDPrinting and AnnealingIV testAl2O3 PassivationlaserAnnealing , PIDLaser SEtexturingDiffusionPECVDPrinting and AnnealingIV testAl2O3 PassivationlaserAnnealing , PIDRear texturing(KOH)普通工艺 PERC工艺 PERC双面 PERC-SE PERC-SE完全替代酸刻蚀工艺： 起到背面及边缘刻蚀作用; 去除正表面PSG； 提升背面抛光效果；同样兼容双面电池工艺：
6、 将背面抛光刻蚀剂更换为特殊制绒剂，可以起到背面制绒的目的，大幅提高背面效率；7碱抛光刻蚀减重及反射率表现l 通过调整碱抛光的刻重，抛光度可调塔基大小，对应反射率30%-55%，最高减重在0.4g左右；酸抛光通过增加HF/HNO3耗量，也可以将减重做到0.3g左右，但耗酸量极大；抛光后3D显示呈金字塔塔基状，表面平坦；刻蚀后3D显示仍然为腐蚀坑状；酸8碱抛光刻蚀电性能表现l 通过PERC前后道工序工艺匹配， 使用KOH体系碱抛光体系，PERC电池工艺可以达到21.7%以上，量跑效率增益较酸刻蚀，Eta提升+0.1%以上，实验室已经取得0.15%0.2%的效率增益；碱抛光效率分布状况l 碱抛光在
7、多种工艺上均有正面效果；l 以PERC单晶为例，较酸抛光相比，电性能在高效率段有明显优势；1 0碱抛光搭配PERC工艺EL表现l 使用碱抛光EL效果图较好，无链试设备的各类滚轮印、皮带印、水痕、黑点/斑等不良；将大幅提升PERC产品良品率；碱抛光设备搭配PERC工艺传统链试刻蚀升级做PERC工艺1 1碱抛光环保性l 碱抛光废液酸碱为普通酸碱，可以自身中和，或用其他清洗工序的酸碱中和，不需要其他特别处理；l 酸抛光废液，因含氮含氟较高，需要经过生化处理；l 酸抛光生产过程中因硝酸耗量较高，会排放大量含氮废气，严重污染空气；1 2成本差异 H2O2方案 O3方案 酸抛光 备注1 效率增益 以酸抛光
8、为BL(%) +0.1% +0.1% - 1.碱抛光搭配PERC工艺，效率增益0.1%； 2.兼容背面制绒工艺，背面效率可提高5%;2 固定资产投入 电池设备 12台 12台 16台 2GW车间400万/台 520万/台 170万/台外围生化池废酸塔等 - - +600-900万3 化学品消耗及废水 化学品消耗（元/片） 0.05 0.042 0.096 高氟高氮废水处理（元/片） - - 0.08 行业平均水平0.06-0.1元/片4 维护成本 人工成本（万元/年） 20 20 20 设备维护（万元/年） 10 10 10 total成本差异（元/片） 0.059 0.054 0.184 不
9、含效率增益0.1%综合计算，碱抛光较酸抛光成本节约0.13元/片碱抛光的成本优势-单片成本节约0.13元；更环保，更低成本，更高效碱抛光成本较酸抛光下降70%；更加环保；电性能有明显增益，且能够兼容背面制绒，效率可以提高3%-5%；碱抛光的成本优势-单片成本下降70%碱抛光工艺管控 过程参数管控（可调）- 总减重控制范围 0.25g +/- 0.05g；- 反射率控制范围40% +/-5%；- 药液寿命 100200 Run； 工艺控制-高精度定排定补；-温度控制 +/- 0.5；-减重控制（inline or offline）；-反射率测试（offline）；-电导率监控（inline）；-
10、PH测试（inline）；-药液浓度测试（offline） 1 4Summary 在PERC工艺上，碱抛光成本较酸抛光下降70%，更环保，效率更高； 更低的化学品成本； 更高的反射率，更平坦的背面抛光效果； 效率整体高0.05-0.1%； 可兼容二次制绒工艺，背面出绒，可提升背面效率3%5%； 新款400片高效槽式碱抛光设备，在洁净度、能耗、智能制造等方面全面提升； 慢提和烘干增加高效洁净风，千级以下洁净度控制； MES系统，RFID功能，在线换液； 快速热水配液系统； 增加预习和SC的处理，设备洗净能力更高； 1 5特别感谢截止目前，常州捷佳创已向行业提供了约60GW的单多晶制绒酸洗设备和湿法刻蚀设备。借此机会，感谢光伏界的广大的客户对捷佳创公司的支持和厚爱！1 6
