1、IZO透明导电氧化物材料 的研究,报 告 内 容,研 究 意 义,实 验 方 法,实 验 成 果,课 题 总 结,目前，透明导电二元氧化物 IZO薄膜作为ITO的替代物，正得到越来越广泛的关注。,透明导电IZO薄膜,透明导电IZO薄膜,组分可调：多重物理化学特性。低温制备：塑性好，高迁移率。功函数高：可用于OLED。,与ITO相比：,功函数高，用于OLED,IZO能够减小阳极空穴势垒，提高空穴注入效率,5.0 eV,4.7 eV,透明导电IZO薄膜,Han-Ki Kim，Surface & Coatings Technology 203 (2008) 652656,透明导电IZO薄膜,IZO为
2、阳极的OLED开启电压低，发光亮度高,报 告 内 容,研 究 意 义,实 验 方 法,实 验 成 果,课 题 总 结,国际上关于IZO薄膜的研究,磁控溅射 脉冲激光沉积（PLD） 化学气相沉积（CVD） 溶胶凝胶沉积 喷雾热分解,脉冲等离子体镀膜设备原理图,全新的制备方法：脉冲等离子体沉积法（PPD）,创新点,PPD的特点,好,好,好,好,报 告 内 容,研 究 意 义,实 验 方 法,实 验 成 果,课 题 总 结,按成分配比 In2O3:ZnO 将粉末混均匀,干压成形,大气氛围温度：1000 时间：10 h,普通研钵,粉末压片机,管式电阻炉,IZO靶材的制备,成分比为国际上主流的三种IZO
3、 ：富In，In-Zn相当，富Zn,IZO靶材的结构,PPD制备IZO薄膜(In2O3:ZnO=1:3),IZO薄膜(In2O3:ZnO=1:3)的光电性能,电阻率： 1.6310-3 cm 可见光区平均透射率：80%,波 长 (nm),透射率 （%）,与国际研究水平对比,电学性能不理想，转为研究富In含量的IZO薄膜（10 wt.% ZnO）,PPD制备IZO薄膜(10 wt.%),IZO（10 wt.%）薄膜结晶性随温度变化关系,不同衬底温度下沉积的IZO薄膜的XRD谱图,IZO （10 wt.%）薄膜电学性能随氧压的变化关系,IZO薄膜的电阻率、载流子浓度和载流子迁移率随氧压的变化关系,
4、IZO （10 wt.%）薄膜电学性能随厚度的变化关系,IZO薄膜的电阻率、载流子浓度和载流子迁移率随厚度的变化关系,IZO （10 wt.%）薄膜电学性能随温度的变化关系,IZO薄膜的电阻率、载流子浓度和载流子迁移率随温度的变化关系,IZO （10 wt.%）薄膜光学性能随氧压的变化关系,IZO薄膜在可见光范围内的透射率随氧压的变化关系,IZO （10 wt.%）薄膜光学性能随厚度的变化关系,IZO薄膜在可见光范围内的透射率随厚度的变化关系,IZO （10 wt.%）薄膜光学性能随温度的变化关系,IZO薄膜在可见光范围内的透射率随温度的变化关系,IZO薄膜的禁带宽度：3.6 eV,IZO （10 wt.%）薄膜的禁带宽度,(h)2 -h 曲线图以及IZO薄膜的禁带宽度拟合直线,与国际研究水平对比,与国际水平基本持平,报 告 内 容,研 究 意 义,实 验 方 法,实 验 成 果,课 题 总 结,1、电阻率 6.56104 cm，可见光透射率80%性能优良的薄膜 2、IZO薄膜在有机光电器件领域有较好的应用前景,课题总结,谢 谢 ！,
