1、大型中央空调工作原理及系统结构图中央空调系统主要由制冷机、冷却水循环系统、冷冻水循环系统、风机盘管系统和冷却塔组成。各部分的作用及工作原理如下：制冷机通过压缩机将制冷剂压缩成液态后送蒸发器中与冷冻水进行热交换，将冷冻水制冷，冷冻泵将冷冻水送到各风机风口的冷却盘管中，由风机吹送达到降温的目的。经蒸发后的制冷剂在冷凝器中释放出热量成气态，冷却泵将冷却水送到冷却塔上由水塔风机对其进行喷淋冷却，与大气之间进行热交换，将热量散发到大气中去。中央空调系统部分组成：冷冻水循环系统该部分由冷冻泵、室内风机及冷冻水管道等组成。从主机蒸发器流出的低温冷冻水由冷冻泵加压送入冷冻水管道（出水），进入室内进行热交换，
2、带走房间内的热量，最后回到主机蒸发器（回水）。室内风机用于将空气吹过冷冻水管道，降低空气温度，加速室内热交换。 中央空调两侧的进出水温差设计时一般为 5 度闭式膨胀水箱一般叫做定压罐，而膨胀水箱一般都指开式的水箱( 1膨胀2透气3保持水压4补水5投药6作为观测窗)。都有膨 胀和定压的作用。闭式膨胀定压罐的控制可以有两种方式，一般常用的是压力控制。当然也可用水位控制，但不如用压力简单。说到系统的定压作用：因为无论是采暖还是空调，水循环系统都是闭式的，系统需要一个恒压点，也就是定压系统的定压点。定压点压力的高低要考虑两个因素，一个是系统运行时任一点都不超压，二是系统停运时系统不倒空。从水压图的分析
3、可以看得很清楚。显然，如果定压点的压力过高，那么系统中的每一点的压力也就相应的高，如果超过了管道、阀门或设备的承压能力，就要出事故。太低的话，一旦停 泵（指循环泵），系统顶部就成了负压，系统就会倒空，下一次运行时就要进行放气，不然就会出现气堵。定压罐的内部一般是有一个气囊的，系统亏水时在气囊内气体的压力下就将罐内的水挤到系统里了，气囊中气体的体积膨胀压力就会降低。系统内的水如果膨胀压力就会升高，水就会被挤到罐内，罐内的水多了就会压迫气囊，使气体的体积压缩，压力升高。因此可以根据气体的压力（或罐内水的压力）来决定是否补水（或者是排水）。一般允许有一个压力波动的范围。这个范围对应于气体体积的变化范
4、围。控制可以用一个电节点压力表实现。1.系统定压。如系统缺水，即压力降低时，膨胀水箱就会自动向系统补水。反之，如系统压力增大（比如说水的体积膨胀）时，膨胀水箱可自动排除多余的水量，直至压力保持平衡为止。2.排除系统内的空气。从膨胀水箱的作用可知，系统如不采用膨胀水箱可采用如下措施：1)、采用水泵定压。在系统的回水管上一套定 压水泵系统。采用测定回水压力的办法以控制水泵的开启，来保证系统内的压力稳定。2)、在系统的最高点设自动排气阀。要求：排气 阀的质量必须优良。3)、在系统供水管上设安全阀。防止压力过大，造成管道或设备破裂 冷却水循环部分该部分由冷却泵、冷却水管道、冷却水塔及冷凝器等组成。冷冻
5、水循环系统进行室内热交换的同时，必将带走室内大量的热能。该热能通过主机内的冷媒传递给冷却水，使冷却水温度升高。冷却泵将升温后的冷却水压入冷却水塔（出水），使之与大气进行热交换，降低温度后再送回主机冷凝器（回水）。主机主机部分由压缩机、蒸发器、冷凝器及冷媒（制冷剂）等组成，其工作循环过程如下：首先低压气态冷媒被压缩机加压进入冷凝器并逐渐冷凝成高压液体。在冷凝过程中冷媒会释放出大量热能，这部分热能被冷凝器中的冷却水吸收并送到室外的冷却塔上，最终释放到大气中去。随后冷凝器中的高压液态冷媒在流经蒸发器前的节流降压装置时，因为压力的突变而气化，形成气液混合物进入蒸发器。冷媒在蒸发器中不断气化，同时会吸收
6、冷冻水中的热量使其达到较低温度。最后，蒸发器中气化后的冷媒又变成了低压气体，重新进入了压缩机，如此循环往复。空压机的技术参数标示方法一、四种基本的标志方法： 1、使用马达马力来表示： 这在早期空压技术不发达时还行得通，但随着技术的不断发展，现在纵使是使用相同的马达，也会因压力高低，压缩机制造厂家及机型大小不同，而使实际压缩机所排的风量多寡有天壤之别。因此，目录上只标示马达马力，是最不负责任的作法。 2、使用活塞 变位量(Piston displacement)来表示： 由于这是压缩机的设计资料，只须将气缸大小乘上回转数即可，所以，这资料最容易得到，也为许多制造厂家所用以标示。这个理论值与实际出
7、气量之间没有一定的关系，视生产厂家的技术能力而定。3、使用入气体 积（Inlet volume ）来表示： 这种表示方法通常在入气口侧以孔径测量计（Orifice meter）来测定，目前只用来标示离心式压缩机的大小。采用的单位用 ICFM，这虽然较前二种方式准确，但因未计内部损失，故仍比实际出气量为高。4、使用自由出气量（Free air delivery）来表示： 此法是采用孔径测流计在出口侧测定，由于准确因而成为世界主要标准用以测定压缩机的实际出风量，如 ISO，ASME，JIS 等，不过，在有的日本制造厂目录中，使用 F.A.D.来标 示，却又加注Nominal capacity，通常
8、可理解的 说法是：这个 F.A.D.不是真的，而只是一种设计值。 可惜的是，有 标准是一回事，有没有做又是一回事，因此，除非原厂目录上白纸黑字说明所依据的标准，否则，其可信度便得大打折扣。二、不同工况下表示出的实际出风量： 实际出风量指的是考虑了所有损耗,在压缩机整机出口处(后冷却器之后)测得的出风量,通常用自由出气量(Free Air Delivery)来表示。所谓自由出气量是指经过压缩机压缩后的空气体积以入气口的自由空气状况（温度，压力，湿度等）来表示。 因此，即使是使用了相同的测试标准，也会因取用的“ 自由空气”不同而使表示出来的数字相差 20%以上，以下是几种常用的自由空气状况。 1、
9、正常状况 (Normal Condition)： 表示的方法：Nm3/min（或注明测试所采用之入气状况） 所指的空气状况：760 mmHg, 0 0C, 0% RH 体积指数：1.00 2、标准状况 (Standard Condition)： 表示方法：SCFM（或注明测试所采用之入气状况） 所指的空气状况：1 bar, 20 0C, 0% RH 体积指数：1.05(约) 3、实际 状况(Actual Condition)： 表示方法：ACFM，ICFM （或注明测试所采用之入气状况） 所指的空气状况：14.4 psi, 35 0C, 60% RH 体积指数：1.20（约） 同样的出气量，只
10、要使用不同空气状况，便可把数字变大 20%。 三、不同压力下测试出的实际出风量： 实际出风量(FAD)的数值与参照的空气状况有关，同时也与在什么压力下测试有关。 例如， 55 kW 的鲁茨鼓风机在 0.5 barg 时测得的实际出风量约为 40 m3/min，55 kW 的微油螺杆式压缩机在 8barg 时测得的实际出风量约为 9.1 m3/min，而在 13 barg 时测得的实际出风量约为6.8 m3/min。 因而在比较同功率不同品牌压缩机的实际出风量时，要考虑其测试流量时的压力。这里没有严格的理论计算公式来换算，但是有一个公认的经验公式可做参考。 对于喷油螺杆式压缩机，如果在压力升高时
11、仍要保持同样的实际出风量，需要增加转子的转速，同时要多消耗 67%的马达功率。 对于完全无油螺杆式压缩机，则需要增加约 10%的功率消耗。 举例来说，假定一台 55 kW 微油螺杆机 A 在 7 barg 下测得实际出风量为 9.54 m3/min，另一台 55 kW 微油螺杆机 B 在 8bar 下测得实际出风量为 9.1 m3/min，究竟是 A 的效率高还是 B 的效率高？ 根据上面的经验公式，A 要在 8 barg 下仍保持 9.54 m3/min 出风量不变，则需增加 6%以上的功率消耗，即 55 kW1.06=58.3 kW 两者的比能分别是： A：58.3kW9.54m3/min
12、=6.11kW/(m3/min) B：55kW9.1 m3/min=6.04kW/(m3/min) (6.11-6.04)6.04100%=1.16% 这就是说 B 压缩机的效率高 1.16%。 四、 压缩 机的马达功率 压缩机的效率与压缩机的实际出风量和马达所消耗的功率有关。实际出风量会因测试方法和表示方法不同而在数值上有很大差异。在考察压缩机的马达功率时同样有类似的情况。同时，压缩机的效率还与马达服务系数，马达效率等相关。 1、特定压力之轴马力 人们常用比能(Specific energy)单位出气量之动力消耗来衡量压缩机效率，这里的动力消耗说的是特定压力之轴马力，意思是压缩机出口压力达到
13、一定压力点时，压缩机主轴所消耗之动力。由于不同厂家选定的压力点不一样,因而标示的轴马力值也不一样。 2、服 务 系数(Service Factor) 压缩机的马达功率指的是马达的名义马力或额定功率，但这并不等于马达实际消耗的功率。对于欧洲和中国国内的厂家，马达实际动力消耗一般要小于名牌上的额定功率，而美国的制造厂家在习惯上都配用较小的马达，其服务系数较大如 1.25, 而在全负载时, 马达出力可以超过铭牌的 15%, 如标识为 100HP 的马 达，其实际出力可能超过 115HP。这使得“马达的实际动力消耗一定小于 马达铭牌上的额定功率这一老规则被打破了”。 因此，一般而言，对于同马力的压缩机
14、，欧洲品牌的风量数据比美国品牌的风量数据小，原因如上。现在有些欧洲品牌的制造厂家已经开始美国的做法了。 五、 压缩 机的效率 如上述，考 虑压缩机的效率要考虑其测试方法，表示状态、测试压力点，实际功率消耗等，同时还要考虑马达效率，因为轴马力只是马达的输出部分，用户支付电费是按输入功率计算的，考察压缩机的效率不能不考虑马达的效率。 如此说来，如果不了解每一制造厂在标示压缩机和选用马达时所采用的标准，单凭其目录上的资料来比较其效率，几乎是毫无意义的。事实上，即使是了解了各制造厂所有的细节，也非常难以比较，因为不同标准之间的关系很难确定。因此，根据目录上提供的资料所做的比较只能“参考 ”。螺杆空压机
15、的工作原理(1) 吸气过程：电机驱动转子，主、从 转子的赤沟空间在转至进气端壁开口时，其空间大，外界的空气充满其中，当转子的进气侧端面转离了壳之进气口时，在齿沟间的空气被封闭在主、从转子与机壳之间，完成吸气过程。(2) 压缩过程：在吸气结束时，主、从 转子齿峰与机壳形成的封闭容积随着转子角度的变化而减少，并按螺旋状移动，此为“ 压缩过程”。(3) 压缩 气体与喷油过程：在输送过程中，容积不断减少，气体不断被压缩，压力提高，温度升高，同时，因气 压差而变成雾状的润滑被喷入压缩腔，从而达到压缩、降低温度密封放润滑的作用。（4）排气过程：当转子之封闭齿峰旋转到与机壳排气口相遇时，被压缩的空气开始排放
16、，直到齿峰与齿沟的吻合面移至排气端面，此时齿沟空间为零，即完成排气过程。与此同时，主从转子的另一对齿沟已旋转至进气端，形成最大空间，开始吸气过程，由此开始一个新的压缩循环。 压缩空气系统技术基本常识一、压缩空气指绝对压力大于 0.1Mpa 的空气二、螺杆空压机的规定工况吸气压力：0.1Mpa（绝压）吸气温度：20吸气相对湿度：0三、 空 压机排气压力指在空压机标准排气位置测得的压力四、 空 压机排气温度指在空压机标准排气位置测得的温度五、 空 压机排气量经空压机压缩并排出的压缩空气，在标准确排气位置的实际容积流量。该流量 应该换算到吸气工况六、 比功率压缩单位容积空气所需的空压机轴功率七、 空
17、压机噪声指在宽广的户外场院地，反射平面大于测量表面在其上的投影的环境中所测得的噪声声压级数值八、 空压机耗油量压缩单位容积空气所需的润滑油质量九、 吸附式干噪器用气相或液相分子吸附在吸附表面的方法来分离出压缩空气中水蒸气的干噪器。吸附剂可以除去吸附的水分而再生十、 进口容积流量换算到绝对压力为 0.1Mpa、温度为 20的规定工况下，进入干燥器的最大压缩空气容积流量（包括再生、增压或冷却用空气在内）十一、压力露点对应于某一压力，压缩空气中水蒸气开始凝结成液态时的温度十二、压缩空气含油量单位体积的压缩空气中所含油（包括油滴、悬浮粒子、油蒸汽）的质量，换算到吸气条件下的值十三、压缩空气含尘量单位体
18、积的压缩空气中所含灰尘的质量，换算到吸气条件下的值十四、压缩空气含湿量单位体积的压缩空气中所含水和水蒸气的质量之和十五、PPM一种表示微量物质在混合物中含量的符号，指每一百万中的份数或百万分率十六、压缩空气过滤器分离过滤压缩空气中污染物的设备十七、冷冻式干燥机通过制冷循环冷却分离出水蒸气的干燥器十八、有效容积流量（供气量）换算到绝对压为 0.1Mpa、温度为 20的 规定工况下，干燥器排除的最大压缩空气容积浪量，即扣除再生、增压或冷却用空气流量的剩余部分十九、用气量（需气量）对应某一工况，所有的用气设备所需压缩空气流量的总和二十、压力带压缩空气系统压力波动的范围，即系统压力最大值与最小值之差压
19、缩机常用知识介绍绝缘等级：根据 IEC85（国际电工协会）电机线圈的绝缘材料分成几个绝缘等级。如果超过 10绝缘的使用寿命缩短一半。绝缘等级 B=130 F=135 H=180环境温度 40 40 40温升 80 105 125热平衡 10 10 15最大终温 130 135 1802防护等级：根据 IEC34-5 电机防护等级，表示抗接触与抗水的能力，用 IP 表示，后面 2 个数字表示：第 1 个数字：抗固体接触与击穿能力。第 2 个数字：表示抗水的能力。例：IP23 ：2 表示抗固体接触的距离大于 12 mm.。3 表示抗水的直接飞溅为垂直方向至偏 600 。IP54：5 表示防尘。4
20、表示全方位防水的飞溅。IP55：5 表示防尘。5 表示全方位防低压水的喷射。3干燥：大气中所有的空气都含有水蒸气，温度高水分多，当空气被压缩时，水的浓度增加。例：工作压力 0.7Mpa，流量 12 m3/min 的 压缩机，吸入 20的空气，相对湿度 80%，工作 8 小时，管道内将排出 80L 的水。压力露点：（PDP）指在当前压力下，水蒸气 转变为水的温度，是用于描述压缩空气中所含有的水分。4 公式:41 对于给定压力降，管网的最大许可长度之经济公式。I=（P*d 5*P)/(450*QC1.85)I：管道总长 m。P：管网最大 许可压降 bar。P：进口绝对压 力 bar。QC：流量 L
21、/S。d:管道内径。设计一个管路系统，最好是环形布置，可使压缩空气从两个方向通到用气点，当间隙大量用气时压缩空气供应仍平衡。42 确定储气罐容积公式：（只适用满载空载调节方式的 压缩机）V=Q/（8*P）V：储气罐容积 m3。Q：最大 压缩机的流量 m3/min。P：设定的 压差 bar。使用较高压力 空压机作大气量补充之储气罐容积计算公式：V=(Q*t)/(P1-P2)=L/(P1-P2)V：储气罐容积 L。Q：放气阶段的流量 L/S。t: 放气阶段的所需时间 S。P1：网络的标 准工作压 力 bar。P2：用气设备 的最低压 力 bar。L：补气段的空气需要用量 L/工作周期。43 直管之
22、压降计算公式：P=450*(Qv 1.85*I)*(d5*P)P: 压力降 bar。Qv：空气流量，自由空气 L/S。d: 内管径 mm。I：管长度 m。P：绝对 初始压力 bar。管道连接件及其不同直径管子中损失之影响，损失折算当量长度：当量长度 m管件内径 mm部件25 40 50 80 100 125球阀全流量 0.3 0.5 0.6 1.0 1.3 1.6肘管 R=2d 0.3 0.5 0.6 1.0 1.2 1.5肘管 R=d 0.4 0.6 0.8 1.3 1.2 2.0直角弯管 1.5 2.4 3.0 4.5 6.0 7.5三通直流 0.3 0.4 1.0 1.6 2.0 2.5
23、三通侧流 1.5 2.4 3.0 4.8 6.0 7.5缩节 0.5 0.7 1.0 2.0 2.5 3.1微油螺杆机维护保养指南每日保养内容： 1.检查空滤芯和冷却剂液位； 2.检查软管和所有管接头是否有泄漏情况； 3.检查记录，如果易耗件已经到了更换周期必须停机予以更换； 4.检查记录，当主机排气温度达到或接近 98，必须清洗油冷却器； 5.检查记录，若发现分离器压差达到 0.6BAR 以上（极限 1BAR）或压差开始有下降趋势时应停机更换分离芯； 6.检查冷凝水排放情况，若发现排水量太小或没有冷凝水排放，必须停机清洗水分离器； 每月保养内容： 1.检查油冷却器表面，必要时予以清洗； 2.
24、清洗后冷却器； 3.清洗水分离器； 4.检查所有电线连接情况并予以禁固； 5.检查交流接触器触头； 6.清洁电机吸风口表面和壳体表面的灰尘； 7.清洗回油过滤器； 每季度保养内容： 1.主电机加注润滑脂； 2.清洁主电机和风扇电机； 3.更换冷却剂； 4.更换油过滤芯； 5.清洁油冷却器； 6.检查最小压力阀； 7.检查传感器； 每年保养内容： 1.更换冷却剂； 2.检查止逆阀； 3.检查冷却风扇； 4.检查液态缸或步进电机和步进限位装置； 5.安全阀校准（送劳动局指定单位强制检验）。电子无尘厂房洁净空调工程常用方案比较随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，越
25、来越要求生产 环境具有一定的空气洁净度和 环境的控制。目前国内还没有统一的电子产品的空气洁净度等级或生产 环境控制要求的统一规定，所以一般是依据洁净厂房设计规范（GB50073-2001）以及电子产品的生产厂家实际经验等来确定电子厂房的洁净度等级和温湿度的要求。在无尘车间洁净工程的设计过程中，应根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。 一、无尘车间的特点1
26、、无尘车间 的洁净度LCD 制屏的简略流程为：清洗印刷取向膜磨擦密封印刷层散布隔垫物组合划线和切割LC 注入贴偏振片制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的 冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。2、室内空气参数要求(1）温湿度要求：温度一般为 24+2，相对 湿度为 55+5。(2）新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的 10-30；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量40m3/h。(3）送风量大。为了
27、满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就 300 平方米的车间，吊顶高度为 2.5 米的，如果是万级，送风量就需要 3002.530=22500m3/h 的送风量（换气次数，是25 次/h ）；如果是十万级，送风量就需要 3002.520=15000m3/h 的送风量（换气次数，是15 次/h）。二、空调方案的选用比较1、组合式空气 处理机组冷水机组高效送风口这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段（或中间段）、 加热段、加湿段、 中效过滤段、 风机段等。其冷源由冷水机组提供。优点：A空气处理效果好，因空
28、气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确；B比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房；C空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源；D维修频率较低；E车间的噪音低。缺点：A需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，如 25000m3/h 的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为 645018502250mm 左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个 20-30的机房的；B造价高。特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合， 这样可以减少表冷段的冷处理负担；C 这类 方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级
29、、十万级等较低的净化无尘厂房。2、水冷柜机增 压风柜高效送风口与第一种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。优点：A空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组（增压风柜）里进行控制；B布置灵活。自带冷源；C大小厂房、新旧厂房都适用； D维修频率较低；E车间噪音低。缺点：A需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置；B 空 调 机组与空调处 理机组要集中布置；C 造价较低。特点
30、：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定；这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。3、分体空调柜机+FFU 送风口这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口（带初效过滤网）；FFU 均匀布置于吊顶天花。这 个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。优点：A不需要占用机房面积，布置很灵活的；B 可以满足空气的洁净度；C造价最低。如 300的无尘车间初投资约需要 40 万；D送风均匀度好。缺点：A温湿度控制较差；B可以 满足空气的 洁净度；CFFU 的维修频率高。总结：
31、对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案；对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。1)洁净室之定义 洁净室(Clean Room)，亦称为 无尘室或清净室。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内 压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、 静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变
32、化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之 环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。 (二) 洁净 室之等 级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准 209 为多，以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单位，洁净室等级以M字头 表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3依此行推，配合国际公制单位之标准化，M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5
33、(m 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以 1.5、2.5、3.5.表示。美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以 0.1(m 微粒子为计数标准。日本标准之表示法以 Class 1，Class 2，Class 3Class8 表示，最好的等级为 Class 1，最差则为 Class 8，以每立方公尺中微 尘粒子总数中化为10 的幂次方，取其指数而得。 (三) 洁净 室控管 之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压
34、力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。 (四) 洁净 室之分 类1.乱流式(Turbulent Flow)： 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级 1,000-100,000 级。 优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。
35、另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 2.层流式(Laminar) ： 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率 100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之 环境使用，一般其洁净室等级为 Class 1100。其型式可分为二种： (1)水平 层流式 ：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 (2)垂直 层流式 ：房间天花板完全以 ULPA 过滤器覆盖，空气
36、由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 3.复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净 隧道 (Clean Tunnel)：以 HEPA 或 ULPA 过滤器将制程区域或工作区域 100%覆盖使洁净度等级提高至 10 级以上，可 节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避
37、免机器维修时影响了工作及品质，ULSI 制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净 管道 (Clean Tube)：将产品流程经过的自动 生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100 级以上。因产品和作业员及发尘 环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的 自动化 生产线为最适宜使用。药品、食品业界及 半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000100,000 之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为 101000 级以上，以为生产之用；洁净工作台、
38、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级 Class 1100 级。洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防 静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之 HEPA或 ULPA 及空调送风机 组而成为一较高级之 洁净空间，其等级为101000 级 ，高度在 2.5 米左右，覆盖面积约 10M2 以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。 (五) 洁净 室气流之流 动洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用 HEPA、ULPA 过滤 空气，其 尘埃的收集率达 99.9799.99995%之多，因此经过此过滤器过滤
39、的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。洁净室内的气流是左右净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选在 0.250.5m/s 之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流
40、会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其 风速均取在 0.250.5m/s 之间。影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距 2/3 之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区
41、，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。 洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将歹使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 (六) 洁净 室之构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品 质良好的洁净室： (1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam
42、 或 U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid 或 Ceilingframe)。 (2)空调 系统 ：包括空气舱、过滤器系统、风车等。 (3)隔墙 板(Partitional wall)：包括窗户、门。 (4)地板：包括高架地板或防 静电舒美地板。 (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。 洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A.不会因温度变 化与振动而发生裂痕；B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；C.吸湿性小；D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。洁净室的使用、监测和维护洁净室的使用1. 人员进入洁净室必须按个人卫生与工作服装
43、管理要求，穿戴本区域的工作服装，按净化程序进入洁净室。洁净区内操作人员应控制到最低限度，限制非操作人员进入。 2. 凡洁净区使用的物料、器具、工艺用水等必须按规定程序净化。进入无菌室的物品，要在室外处理，灭菌后经过传递窗或气闸室送入洁净区内。 3. 洁净度百级、万级区域的空调宜连续运行。非连续运行的洁净室，可根据工艺要求，在非制剂时间，空 调系统作值班运行，使室内保持正压。 洁净室的监测 1. 为确保洁净室的净化 环境和洁净度，需对洁净室定期监测，监测项目和频次照有关规定。如有特殊要求，可另行规定。 2. 发现下列情况，高效空气过滤器应予更换： (1) 气流速度降到最低限度，即使更换初效和中效
44、空气过滤器后，气流速度仍不能增大。 (2) 高效 空气过滤器风量为原风量的 70%。 (3) 高效 空气过滤器出现无法修补的渗漏。 洁净室的维护 1. 建立洁净室安全措施综合系统，设置火灾报警、排烟、消防、事故照明等设施，对制剂中使用化学药品、气体的洁净室，还应根据腐蚀、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性质采取相应的安全措施。 2. 洁净室的维护管理应包括对洁净室的空气净化设备、配制制剂中使用的物料、设备和洁净室的操作人员等管理。应建立相应的管理制度，明确管理内容方法和责任，执行应有记录。 3. 除了依*使用人员日常管理外，应建立洁净室计划检修制度，对洁净室空调系统和空气净化设备实行定期检修、保养
45、洁净 室/无尘室/净化车间设计 要点1.洁净室 无尘室系统 室内的 空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例，二则取决于房间的工作参数。 2.洁净度与换气次数 房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求，再决定净化系统的技术参数。 3.结构 为了保证气流几乎不受干扰，就必须进行结构设计，必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。 4.设计方案 要确定设计方案，必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式，洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。 5.材料 作为洁净室顶棚，墙面和地
46、板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还必须考虑材料的化学性能是否稳定。 6.压力和气流 为了保证房间的洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。 7.辅助设备 必要时还得安置一些辅助设备：如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求，并且必须真正了解其功能. 8.人和物的控制 人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。 9.给排水和送风装置及 电源
47、 根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和 电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。 洁净室的规划 一般性的规划重点 洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表 3-1)，因涉及范围极广，需建筑、水电、空 调、环 保、防震、制造等各 项专业人才共同规划，尽管不少洁净室规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项： 1. 洁净度等级。 2. 室压之平衡措施。 3. 温湿度要求。 4. 机器设备之必要性。 5. 确定生产流程。 6. 局部排气之必要性。 7. 日后扩充弹性。 8. 足够维护保养空间。 9. 空调送风方式。 10. 员工休息区之安排。 11. 设施与动力之配置。 12. 室内净高与楼板载重。 13. 设备空间与管道间。 14. 门窗宜少，气密性要佳。 15. 静电、振动及噪音。 16. 生产线与活动线少交*。 17. 公害、污染与防灾。 18. 安装及运转成本之衡量。 洁净室的动线规划 所谓动线，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交*，以防止交*污染(Cross
