1、检测设备宕机处理规范页码：第 1 页，共 8 页1、目的确保产品在检测设备异常期间，得到及时有效的检测，从而保证产品质量。2、适用范围适用于所有在线、离线检测设备。3、部门职责3.1 生产部：按照规定执行使用部门职责。3.2 质量部：.负责挂牌和对应应急预案以及检测设备异常处理行动方案的监控和播报，在责任部门交付后进行验证，判断合格，给予复机批准。 .按照规定执行使用部门职责。.监督此文件标准化执行。3.3 工艺部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与设备部负责人同时进行问题排查。若确认是由于软件原因造成的异常，由工艺部进行排查，排查完毕后在检测设备宕机、屏蔽/复机记录单中填写原因、措施、处
2、理结果，处理完毕后交付给使用部门；3.4 设备部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与工艺部负责人同时进行问题排查，若确认是由于硬件原因造成异常的，由设备部填写原因、处理结果，处理完毕后、交付使用部门。3.5 通用职责：3.5.1 使用部门：发现自己使用的检测设备异常（不工作或测试异常）后，第一时间通知IPQC、相应责任部门负责人（可参照检测设备宕机责任部门表） ，并填写检测设备宕机、屏蔽/复机记录单 。测试设备宕机维护责任部门岗位 NO. 检测设备 责任部门1 GP-Waf-Q 工艺/设备2 Semilab-WMT 工艺/设备硅片检验3 Nano-D/MCI-100 工艺/设备前清洗 4
3、反射率测试仪 工艺/设备5 Semilab-SHR 工艺/设备扩散6 Napson 工艺/设备7 GP 边阻测试仪 设备后清洗8 电子天平 设备9 GP-Col-Q 工艺/设备PECVD10 膜厚折射率测试仪 工艺/设备丝网印刷 11 电子天平 设备12 GP-Cell-Q-FS/Manz 分色 工艺/设备13 GP-Cell-Q-RS 工艺/设备14 在线 EL 设备15 离线 EL 设备分检16 金相显微镜 工艺/设备检测设备宕机处理规范页码：第 2 页，共 8 页17 衰减箱 设备可靠性18 卧式拉力机 设备温湿度 19 液晶大屏温湿度计 质量-计量3.5.2 异常原因排查超过 60mi
4、n，现场的工艺监控，责任部门根据此文件给出应急预案给出，相应部门按照预案执行（若文件未涉及） 。3.5.3 若需要屏蔽某处在线检测设备，申请屏蔽部门必须提出申请，填写检测设备宕机、屏蔽/复机记录单 ，交予工艺进行审核，审核通过后将表单交给 IPQC，由责任部门进行实施屏蔽。3.6 使用部门定义：生产部：所有在线检测设备（安置在生产设备内的检测设备） ，称重天平，边阻测试仪；质量部：离线检测设备，包括 Napson、椭偏仪、反射率测试仪，离线 EL 测试仪,卧式拉力机，温湿度计，光衰减箱。检测设备宕机处理规范页码：第 3 页，共 8 页4、处理流程检测设备宕机处理流程 责任部门 要求 相关记录使
5、用部门通知工艺部 / 设备部和质量部 I P Q CI P Q C 到场挂牌 ， 工艺部和设备部同时进行排查 ， 使用部门开具 检测设备宕机 、 屏蔽 / 复机记录单 检测软件问题设备部给出异常解决措施并调试工艺调试是交付 I P Q C 验证挂正常牌恢复生产异常已解决否是调试完毕否检测设备宕机1. 使用部门2. 工艺部/设备部3. 质量部4. 工艺部/设备部5. 设备部6. 质量部7.质量部1. 第一时间通知责任部门和质量部巡检和设备部到现场排查开具检测设备宕机、屏蔽/复机记录单2. IPQC 到场挂牌3. 工艺/设备同时到场进行排，查判断是否是检测设备软件问题，若是，工艺部进行调试解决，若
6、是非检测设备软件问题由设备部进行解决，产线按照本文件规定预案指向相关测试4. 设备部给出解决措施并调试质量部巡检接到通知到场进行验证，验证方法：利用多片二级样片进行测试，分析标值与测试值的差；判定标准：最大极差小于容差，判定合格6.确认调试完成后，IPQC 挂正常牌回复生产检测设备宕机、屏蔽/复机记录单检测设备宕机处理规范页码：第 4 页，共 8 页检测设备屏蔽处理流程 责任部门 要求 相关记录由屏蔽部门开具 检测设备宕机 、 屏蔽 / 复机记录单 注明屏蔽原因 、 预案以及复机方案和日期工艺部判定可以屏蔽I P Q C 挂屏蔽牌进行生产否是责任部门按照复机计划进行改善交付 I P Q C 验
7、证异常已解决是否挂正常牌恢复生产申请检测设备屏蔽1. 工艺部2. 生产部3. 设备部4. 工艺部5.责任部门按照复机计划进行改善6.质量部7.质量部非检测设备宕机需要屏蔽检测设备时要求屏蔽部门填写表单，进行屏蔽申请。要求申请部门将：屏蔽原因、预案以及复机方案和日期填写清楚，交给工艺评审工艺部对屏蔽申请进行审核，审核完工艺将记录单交给 IPQC质量部巡检到场挂牌（屏蔽牌）验证取消屏蔽后是否正常检验。验证方法：利用多片二级样片进行测试，分析标值与测试值的差；判定标准：最大极差小于容差，判定合格IPQC 挂正常牌恢复生产检测设备宕机、屏蔽/复机记录单检测设备宕机处理规范页码：第 5 页，共 8 页5
8、、宕机预案相关测试设备异常应急预案岗位 NO. 检测设备 异常 应急预案 测试方法和 频率1 GP-Waf-Q2 Semilab-WMT硅片检验3 Nano-D/MCI-100由生产人工全检前清洗 4 反射率测试仪单/多晶反射率测试仪（AudioDev) 共有 2 台，每车间一台，如有一台出现异常，由清洗工艺、生产、质量按参照控制计划流程文件中的测试方法和频率轮流到另一车间测试,如两台测试仪同时出现异常，则以减薄量为工艺调整的主要参考基础。5 Semilab-SHR在线 Semilab 测试仪每台扩散炉对应一台，共十六台。如在线测试仪无法使用，生产人员对该机台对应的扩散炉管进行测试，每管抽测4
9、pcs（确保每盒抽测 1pcs），采用“5point”测试模型，并在流程卡做好记录抽测方阻数值和对应炉管管号。详见工艺规程扩散6 Napson测试异常或故障无法正常工作1#车间 3 台，10#车间 1 台，共 4 台，1#车间 Napson 故障，故障线别的测试在 1#车间正常 Napson 机台进行测试；若1#车间机台均故障，将 10#车间机台移至 1#车间，所有测试在此机台上完成；若 10#车间机台故障，移一台 1#车间正常的机台到 10#车间进行测试。机台故障后，使用部门必须及时报修。预案中未提及的，按照最新的控制计划要求执行检测设备宕机处理规范页码：第 6 页，共 8 页7 GP 边阻
10、测试仪GP 边缘电阻测试仪共有 3 台，1#车间两台，10#车间一台，如有个别出现异常，则由生产人员按常规比例使用其他机台进行抽测，如均出现异常，则减薄量和目测刻蚀效果为工艺调整的主要参考基础。后清洗8 电子天平每车间一台电子天平，共 2台电子天平，若故障，由生产物料领取备用电子天平，放置到线上替换故障天平，并及时保修故障电子天平。9 GP-Col-Q1-4 线在线 GP solor 测试仪，每台 PE 对应一台，共八台，任何一台出现问题即全部由生产员工手工挑选镀膜后返工片。PECVD10 膜厚折射率测试仪AudioDev 折射率测试仪，AudioDev 反射率测试仪各有两台(同前清洗)每车间
11、一台，如有一台出现异常，由IPQC、生产、工艺一起按常规比例到另一个车间进行抽测（每个部门每班一台）丝网印刷 11 电子天平每两条线一台电子天平，共5 台电子天平，若故障，由生产物料领取备用电子天平，放置到线上替换故障天平，并及时报修故障电子天平。12 GP-Cell-Q-FS/Manz分色 出现机台故障，由 FQC 进行人工分色13 GP-Cell-Q-RS由于 GP-Cell-Q-RS 控制电池片的定位，若出现故障，必须整机停机，电池片由生产离线进行效率测试，然后由FQC 进行颜色分类。分检14 在线 EL在线 EL 测试仪，L3-6 线每条线一台，共四台，若出现故障由 FQC 按照 15
12、0 片/时/线的频率进行抽测。检测设备宕机处理规范页码：第 7 页，共 8 页15 离线 EL离线 EL 测试仪，1#车间 3 台，10#车间 2 台，共 5 台；若一台故障，离线 EL 的抽测量由其余完好机台完成,成批出现的 EL 不良，先隔离入库，再由 FQC 安排全检验；设备部对故障机台进行修复；出现两台机及以上的离线 EL 故障时，由使用部门组织相关部门会议决定在检测设备修复期间，如何处理在线产品的EL 测试安排16 金相显微镜线宽线高测量，奥林巴斯金相显微镜共 2 台，每车间一台，如 1#或 10#车间机台出现异常，反馈当班工艺员在好的机台测试线宽线高，如所有机台出现异常则以印刷湿重
13、为工艺调整的主要参考基础。17 衰减箱光衰减箱，每车间一台，若其中一台损坏，则衰减到另外一台衰减箱进行；若两台衰减箱都损坏，应急措施：将电池片送至尚德进行衰减；光衰减箱损坏，使用部门及时报修电池可靠性分析18 卧式拉力机卧式拉力机，1#车间一台，10#车间一台；若其中一台故障，拉力测试在另外一台卧式拉力机上测试；若两台同时故障，拉力测试用指式拉力机或数显拉力机完成；卧式拉力机故障后，使用部门及时报修温湿度 19 温湿度计液晶大屏温湿度计，1#车间12 个，10#车间 6 个，若有部分或全部损坏，则对应损坏位置使用毛发温湿度计（备用 40 只）；损坏的温湿度计由计量负责报修5.1 如遇以上未涉及
14、的检测设备异常，由当班工艺组织质量/生产/设备部各班长，现场协商制定出对产品工艺监控的应急预案，预案由工艺填写在检测设备宕机、屏蔽/复机记录单中，若检测设备处理异常检测设备宕机处理规范页码：第 8 页，共 8 页超过 12 小时，工艺部编制临时文件，现场工艺监控按照临时文件执行。若各班长无法达成一致，由各班长上报升级，汇总意见后进行处理。预案给出时间，不超过 60min（异常发生起计算） 。6、相关表单6.1 检测设备宕机、屏蔽/复机记录单7、职责与权限7.1 文件编制编制部门：质量部7.2 文件审批本文件由以下部门/人员审批：工艺部负责人、生产部负责人、设备部负责人、质量部负责人7.3 文件分配工艺部、设备部、质量部、生产部
