1、高效过滤器检漏标准程序1.目的：规范高效过滤器的检漏操作，发现高效过滤器及其安装的缺陷所在，及时采取补救措施以保证洁净区域的洁净度。2.范围：适用公司内所有洁净区内安装的高效过滤器的检漏操作。3.职责：质量部 QA 人员负责高效过滤器的检漏，生产部工程人员负责高效过滤器的补漏或更换。4.检漏时机：新安装、修补或堵漏后的高效过滤器；使用中的高效过滤器，每 1 年检漏一次；对洁净区洁净度日常监测发现异常，应及时对可疑的高效过滤器检漏。5.检漏仪器：尘埃粒子计数器。6.检漏程序：6.1 开启待测洁净区的空调净化系统，至少运行 30 分钟。6.2 按说明书将尘埃粒子计数器预热，设置 2.83l/min
2、 的采样量，准备对0.5m 的粒子数进行检测。6.3 将尘埃粒子计数器的采样头靠近高效过滤器送风面 13 厘米处（注意不要碰到高效过滤器、层流罩或天花板上） ，以 35 厘米/ 秒的速度，沿着边框和送风面移动扫描。6.4 观察仪器显示0.5m 的粒子数变化情况。当扫描到某点，发现0.5m 的粒子数急剧增加时，应对该点重点检测。测试时间不低于 1 分钟。6.5 每个高效过滤器的检漏扫描应进行至少 2 次。7.结果判定与处理：7.1 合格标准：各点扫描测得的0.5m 的粒子数应不超过 10 个/2.83L。7.2 对确定存在泄漏的高效过滤器，应通知使用部门停用。由工程人员组织修补或更换。修补或更换后的高效过滤器需重新扫描检漏，合格后方可投入使用。8.及时填写高效过滤器检漏记录及相关记录。
