1、0A1 9 8 5 M L i !9?e ( j S L i)1) 3 L i !98? I n 5|n 。0A B、NL、1 pHq1 v N,1 * ! L i ?rm。 - z Li !9? d1。 Ll 3 L i4BtIin, ) h 。B、 L i !91 pb0A L i() / 1 p:(B)H8BHi M,4。 Hl2B3x 。H1n :1. i 、v !、vM # ,E %LL, P LM L,LV/ YV。3 . | 7n 。 “ -tM M T L i 7 。 ,H+A、 :HlH q H S 7rT z,yp M % “M S i = C 7 1 aR。 , 7 X,
2、 T HV ,5 A1 7。(=)“ -S | z F ! 。sO 54,1 pgF。0Ac, “ , PmZ_? 3M, P 4, 7sO 5。 : 1954 MB25 4 L i !9?5 9 (1 ) :llB3 m ( ql5)。1n :1 . iA M ,、v 5、 5、 ;。2 . !9 )。 dB b ! H,Kz 6y,8,i I nhhn 。3 .9 ! $(V) 。 VG| L=1S a v v r L$。 ( ml )4 . , 、 , VF 5h E。( )r ? sO 5bv ? =YsOqKv7 4 “1y “ 。 1Hq T。U JKK 。 V ?CJib 。3
3、. 1 p -4/, i = V ,h Y , 8g,B2 . 5B3 . 。 R。h , i =V # q1 E j #。2 : SlL。 3/e, b, z, E 7 M_,i ! 。 L i、 AM#T/,Ml ?zy 。E , V .。3 .Hq V = ! Y#v (! ) ,Hq V! m。4 . !9Y5 g H,Y (s g, V H、620A1985 M3. 2。 M i M g8。 g B 。 i i gE;。 b, l YV :C d _ i。 5 . ui 。=、 L i8?B L i :(B)( L i) Ts, P G 、q、 i =! 。30 m 、3 . 0B3
4、 . 5mR。 Q (y 3 H、. 2 67h,Rb =,Kz z 6BlW =,b 。1 pTHq, =3z。 V i = 1B2V C, ( 43) 。 V ! ;, !_ Hv 。(=)“ i“ i T 3 L, P 35 =P、3 . 0 R。 i = !B v L ,i ! C、 P。A ! J, :! d (A1 H VF b “) , !bQ、2Q、0 J、 2o b!、T。“ i3 CRv,L1 ;, ! ;,LWT。( ) i4B 3“ ,T!、 B 。 i = ! L 、bQ、 C 。 P 20 2P,2 . 5 R, 1 p 、T%。 l v H, ! 5Y i,O ,
5、! “d。( ) M iM / ,HqtMY M ?。YB T,Rl7X,12 2P、V2 . 5 R。 i =B Vb T M , 6B V C b。() i b 0w N TA V 。 P 15 2 、2 . 5 R。i = !B L ,i !lB2) g C # P, 、 K YN 、 。k ( ,Kz ?1 ! T1 。( B) i i F PR,;1 ! ,Yi d,;。 i = ! a TTB k , B ! 2B3, !、 s、BV。 g V ! UBV, Vbv ;、 V 。 H,H , 。 Cp s ; 。9, + 3TA! L i, V !。N, 1 V ?,4 L i !
6、9?63 V !“ 2 i, L i, ) ! i,;A i、 i、 i、W、 3W。m3 i m, I。d 3 L i, V L=19 。m3 i m( I)K , 8, dS。 I, M VBB Hq7 PT。 L i1 p f /, y?rm。5 nv。- .65 3、 3 = n,+i。 ID 1 A D2 ( 1) , 39 (B980)2 Z,: “ !I” 3D0A 558B561 S(1980)3 f W ,: d I, #p 1B3 , 8, 8 Sv N 5 i( 1983)640A1985 MD E SIG N A N D P L AN O F E L E C T RO
7、NMIC RO SCO P E L ABO R ATO RYChe n g Bingqu a n(Cen tra l La b . of X in ja n g Aca demy o fAg rie ultu ra l S c ie n c e s )A bs tr a e tT his Pa p e r de a ls w ith so me P ro bleNwhie h mu s t be e o n sid e er d a n d ese n tia l m ea s u er swhie h sho uld be a do Pte d o n the de sin e a nd the Pla n in bu ilding the e le e tro n m ie ro sc o Pic la b
