SEM 和 TEM 的区别1、SEM 样品收集的有二次电子和背散射电子，二次电子用于表面成像，背散射用于不同平均原子量之间的像，就是电子打在样品上，激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成的像. TEM 是透射电镜，它可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。投射电镜的分辨率比扫描电镜要高一些。2、SEM 金相试样即可，TEM 则要求试样必须有很薄的薄区，2040m。 SEM样品普通的金相样品就可以拿去做，而 TEM 样品观察的部分必须减薄到100nm 厚度以下，一般做成直径 3mm 的片，然后去做离子减薄，或双喷。SEM 对样品唯一的要求就是导电，如果不导电就要喷碳或者喷金；TEM 可以直接观察不导电的样品。以上这两种方法，都要求样品无磁性，要是有磁性会对结果产生一定的影响。从原理上说 SEM 是接受二次电子或者是背散射电子TEM 接收的是透射电子SEM 主要观察形貌，图片的立体感强TEM 对于很薄的样品也可以看形貌（景深较小） ，其主要观测的是衍射电子图和晶格像（高分辨）简单的说 SEM 只能观测形貌（当然背 散射像也能大概看出轻重元素分布）TEM 可以测定结构
