1、Comment Ray1: 頁: 1Acura台 鑫 國 際 股 份 有 限 公 司Acura Materials Corp.文件名稱 無塵室管理作業規範文件編號版次 00頁次核准： 審核： 製表： 正本保存單位：文件管制中心1.目的:建立無塵室管理規則有效管理無塵室之運轉 並對生產設備工具物料人員進出潔淨衣等管制以確保無塵室之高潔淨度需求與正常運作2.適用範圍:適用於台鑫國際股份有限公司無塵室 Class Particle(0.5u) 環境規格1000 1000 232C45510000 10000 232C555100000 100000 232C55203.權責:3.1無塵室管制:生產作
2、業區主管或當班負責人員3.2稽核單位:生產作業區領班以上或執行 IPQC稽核人員3.3新進人員(無塵室)作業說明:人事或製造單位3.4無塵服管理:行政單位4.作業內容:4.1人員進出要求4.1.1資格:a.甄選無塵室工作人員時,應避免任用對化學溶劑過敏,有煙癮者,手容易出汗或因氣喘經常性咳嗽或打噴嚏者b.凡進入無塵室人員皆需經教育訓練,方可單獨進出無塵室若未經合格而需進入者, 得須由合格人員陪同帶領下,方可進入c.外賓進入無塵室,務必由各單位主管或指定人員陪同,陪同人員將外賓資料於廠 商/來賓進入無塵室豋記表後方可進入 .4.1.2無塵服要求:各區域無塵服穿著如下所示一樓 二樓區域 Class
3、 無塵服要求訪客 區域 Class無塵服要求 訪客切割區 100000 洗淨區 1000蝕刻區 10000 量測區 1000拋光區 10000大衣+四孔鞋大衣+鞋套包裝區 1000全罩連身衣+長筒鞋+手套全罩連身衣+鞋套+手套4.1.3進入注意事項：a.作業人員進入 Class 1000無塵室不可化妝，包含口紅、粉、眼影，香水等。b.無塵室(含更衣室) 嚴禁攜帶或使用香煙、打火機、食品、口香糖及化妝品等。c.臨時攜入之文件允許使用一般紙張。d.抽煙後,15 分鐘內禁止進入無塵室(Class 1000)e.禁止攜入木質用具或易產生粉塵材質之用具，例如鉛筆，橡皮擦、立可白等。f.凡是攜入一般用具、
4、 物品皆需於更衣室中用 IPA擦拭，以確保所入物品不會造成微塵污染。g.非經事先核准，無塵室內嚴禁攝影，錄影.等，若經核准，務必由各單位主管Acura台 鑫 國 際 股 份 有 限 公 司Acura Materials Corp.文件名稱 無塵室管理作業規範文件編號版次 00頁次核准： 審核： 製表： 正本保存單位：文件管制中心陪同。g.外套,私人物品放置於個人鐵櫃。h.人員及攜入之物品，需在經過空氣洗塵室以空氣洗塵。4.1.4 進入程序：人員進入無塵室之程序如下。a.脫鞋置於換鞋櫃中，進入更衣室。b.檢查，擦拭所攜帶之物品。c.更衣程序：連身全罩式 半套式1.穿戴髮。2.至自己所屬之衣架處(
5、依部門別/序號別)取無塵衣。3.以雙手抓住無塵衣之下跨開口處，由頭頂套入，再將雙手及雙腳套入袖口，拉好下跨拉鈾鍊。4.確實將髮帽入頭套內。5.至自己所屬之鞋櫃處取無塵鞋或鞋套(無塵衣褲管需紮入無塵鞋中)。6.穿戴口罩，鋼絲線朝向上方，綠色外沿朝外，以手指壓口罩鋼絲部份，以便口罩和鼻樑密合。7.戴 PVC 手套：穿戴前先前配帶電環(見 4.1.5 動作)，再將PVC手套上自己雙手，手套需確實紮入無塵衣之袖口中，不可邊走邊穿戴手套。8.檢視儀容，特別注意頭髮有無外露，口罩是否緊貼鼻樑。1.同左 1.2.同左 2.3.穿上大衣式無塵衣d.經洗塵室洗塵後方可進入無塵室，洗塵時間為 20 秒以上，每次最
6、多以兩人為限。e.洗塵室：站立於空氣洗塵室內，雙手擺動，旋轉身體至空氣洗塵結後，始可開門離開洗塵室。f.著無塵服時不可離開無塵室區域(含更衣)以外。4.1.5 離開無塵室：a.經由洗塵室離開無塵室，禁止人員從旁安全門出入。b.將無塵衣置於自己的衣架上(衣架懸掛方式：將衣架子兩邊夾至雙肩，掛上衣架)，無塵鞋置於鞋櫃中。c.乳膠手套、口罩、髮帽、鞋套等視使用情況可重覆使用(針對經常性進出人員)，並將其無塵服一同擺放整齊，原則上每雙乳膠手套使用 8 小時，口罩為 8 小時，髮帽與鞋套為一週後丟棄、更新之。d.不用之乳膠手套、口罩、髮帽、鞋套等一律丟入垃圾桶內，不可到處擺放。4.1.6 潔淨事項a.無
7、塵室每日例行清潔 (5S)與垃圾處理工作，原則上由生產製造單位執行之b.無塵室每週地板清掃(吸塵器)工作，原則上由行政部委外執行之。c.無塵衣、鞋汰舊換新：(1)無塵衣使用大於三年時，必需予以丟棄。Acura台 鑫 國 際 股 份 有 限 公 司Acura Materials Corp.文件名稱 無塵室管理作業規範文件編號版次 00頁次核准： 審核： 製表： 正本保存單位：文件管制中心(2)無塵衣破損修補超過三次時，必需予以丟棄(3)因工程施工，而嚴重污染時，予以丟棄。4.1.7 無塵衣、鞋送洗分派：a.頻率：原則上每週統一送洗一次(各單位可視個人使用狀況調整延長 )，行政單位提供整理箱(依部
8、門別) 由使用者自行提出清洗需求，若遇有緊急逃生緊急施工等狀況時，得視需要加強清洗頻率。b.無塵衣、鞋送洗送洗作業：無塵衣、鞋依編號管理之,送洗時使用者自行投入整理箱，並登記於無塵服送洗作業登錄表中行政單位人員依據登錄之 .記錄清點量；清洗回廠時仍需包裝在同一整理箱或塑膠袋中，無塵衣名牌需朝外，字體清晰可見，由行政單位人員清點確認。4.2 無塵室管理注意事項:4.2.1 秩序要求事項：a.任何門戶應需隨時保持關閉b.非因工作上需要，不得坐於地板之上。c.嚴禁以身體依靠機台、牆壁、工作桌，Cassette，推車站立。d.面對工作桌及 Cassette 時盡量少講話，面向機台時請注意肢體動作。e.
9、嚴禁快速走動或追逐(緊急警報響除外)f.遵守無塵衣之穿著規定。g.於工作區內盡少通私人電話，公事電話亦以簡短為宜。h.無塵室用之貨架，推車，垃圾桶等應放置於固定位置。i.生產流程單書寫應於工作台上，禁止於 Cassette 上蓋板之直接撰寫。j.無塵室內可允許之人員數目超過規定數目時 (生產作業區主管判定之)，將暫不允許人員再進入無塵室。k.非經許可，請勿擅自使用化學藥劑。l. 非經許可，請勿擅自攜出機台操作手冊。4.2.2 安全衛生注意事項：a.無塵室內發現異狀 (不明之聲音、煙蒂，溶液及味道)應迅速反應至值班之主管。b.火警報響時，應迅速呼叫同伴從安全門撤退，並立刻設法與廠務部及消防單位聯
10、絡。c.身體不適時應立刻通知主管。d.同一區域不能單獨一人作業，設備維修必需至少兩人(含)以上以維護個人安全。4.2.3 運轉設備：a.設備應選發塵量少，表面不易積塵之設備。b.真空幫浦(Pump)，馬達皮帶等容易產生污染物質之設備應儘量裝於無塵室外，但若需裝設在無塵室內時，應有適當的覆蓋或局部的排氣。c.設備安裝位置及連接管路，應考慮容易清掃為原則。d.磨耗之機件，皮帶等，容易產生塵粒，故要定期更換。e.無塵室內使用之工具，原則上要作為無塵室專用，除特別理由不得攜出無塵室。4.2.4 維修或施工注意事項：a.嚴禁切削工程，如有必要，需先作防護措放(以真空吸塵器，塑膠布鋪於地板上 )方可進行。
11、Acura台 鑫 國 際 股 份 有 限 公 司Acura Materials Corp.文件名稱 無塵室管理作業規範文件編號版次 00頁次核准： 審核： 製表： 正本保存單位：文件管制中心b.工程施工後，需清潔施工處週遭環境，使用過之工具，垃圾不任意丟棄。c.禁止使用砂紙、木材、鉛筆和橡皮擦等易造成污染之工具。d.大範圍施工或破壞性施工時，應以隔板隔離施工區，並明確標示施工中字樣之告示牌。4.2.5 生產機台週遭：a.為防止產生影響製程之氣流擾亂，不可在機台作業區氣流之上放置物品或其它作業。b.避免不必要之動作，以防止亂流及微塵污染。c.掉落地上之物品若為消耗品則禁止使用，如需繼續使用則需先
12、經酒精或 IPA 清潔乾淨方可使用，機台每日操作前應有清潔之動作。4.2.6 設備、機台、用具和原料進入：a.大型機台或用具由可拆封板或安全門進入外，其餘一般用品和人員由更衣室進入。b.由可拆封板或安全門進入之大型機台或用具，需在走道上將包裝部份拆除並以酒精或IPA 擦拭乾淨再行搬入。c.經由更衣室進入之物品，需在經無塵布沾酒精或 IPA 擦拭後才可進入空氣洗塵室。4.2.7 化學藥品a.化學藥品置放於固定地點，使用後應立即加蓋，避免外洩，發生危險或影響工作。b.化學藥品容器，應有明確之中/英標示,標示不可擅自塗改 ,更不可私自更換容器包裝,以免誤用.c.化學藥品不可擺放在機台上,貨架上.d.
13、不清楚的化學藥品不可自作主張,擅自處理,以免發生危險.e.有機化學藥品與酸性化學藥品不可混合以免危險.f.有關化學藥品的處理問題,請依工業安全衛生規定辦理.4.3 無塵室 5S 管理作業4.3.1 無塵室中未經主管指定(認可)之位置,不可任意於機台,工作桌/ 椅,等任何一處張貼字條,告示,標語,若同意張貼時應注意工整美觀.4.3.2 推車:a.推車輪軸損壞應立即停用並送修.b.無塵室外推車要進入無塵室前必須以 IPA 擦拭油污及污染物。c.推車非貨架，不可長時間堆放玻璃或其物品而未處理。4.3.3 氮氣櫃及置物櫃a.設置位置應避開狹窄通道陳設應整齊、清潔，且注意是否在門的開關迴旋範圍內。b.不
14、可堆疊二層以上，亦嚴禁突出於邊緣之外。c.損壞之氮氣櫃及置物櫃應立即停止使用並送修，以防止意外發生。4.3.4 工作機台、桌、椅、梯：a.工作桌應放置於定位，不可隨意挪移。b.損壞之桌、椅，應立即停用並送修，以防止意外發生。c.非工作上必要不得坐在工作桌上，或站在工作椅上。d.工作椅不用時應緊靠工作桌或置於旁邊角落，盡量不阻礙通道。e.紙張、無塵布不可堆置於工作桌或機台上。f.廢棄之紙張，無塵布一律丟棄於垃圾筒內。4.3.5 垃圾桶Acura台 鑫 國 際 股 份 有 限 公 司Acura Materials Corp.文件名稱 無塵室管理作業規範文件編號版次 00頁次核准： 審核： 製表：
15、正本保存單位：文件管制中心a.垃圾不可在無垃圾桶的位置堆放，否則應申購放置垃圾桶，設置垃圾桶後不可任意移動或挪作它用，若有損壞應立即停用並送修，垃圾桶外觀應保持簡潔外觀。b.流體物質不可傾倒於垃圾桶內。c.垃圾桶設置位置，應於人員進出方便，且垃圾產生量較多的區域，並以邊緣、角落為宜。4.3.6 門：a.無塵室所使用的門除進出之外，應維持關閉狀態，外觀髒污時應立即派員擦拭乾淨。b.禁止用接觸地面的工具，腳，接觸，踩或踢門，若有損壞時應即刻通知主管處理。4.3.7 電線，插座，蛇管：a.機台之管線應用束線帶束緊，固定於牆角或不防礙通行之角落。b 施工時有電線的部份，應不使之散落或交錯放至道上。c.
16、使用插座時應確定所使用工具之電壓與插座電壓是否相同。d.注意電線部份不可用腳踩踏。4.3.8 文件資料：a.需置於指定位置，不可任意放置，使用後需立歸回原位。b.內容不可逕自書寫，塗改或作它記號。c.需注意管制文件隨時保持最新版本。d.過期之舊版本需即時取出，轉交回文件管制中心集中處理。e.工作記錄表填寫應確實，清晰，不可潦草或不易辨認。f.工作記錄表更改，應將錯誤資料上方以一單棋線劃去，更新資料填記於旁邊並加註日期，並由當事人簽名以示負責。g.破損之檔案夾應即報廢更新。h.所有文件資料，檔案夾均不可置於機台上，需統一置於指定位置。4.3.9 文具用品：a.工作桌面上、下及地皮應保持整潔，文具用品盡量以不散亂為原則，隨時將文具用品歸位(如筆、空白表格、便條紙等)b.迴紋針、釘書針.等細小物品不可放在機台上。c.生產流程單不可隨意拿出無塵室。d.滅火器：設置週圍不可堆放物品、附近走道應保持暢通，並有清楚之標示牌。
