1、 涉谷电子枪电源使用接线参考 一、镀膜机 19 英寸电控柜需要预留安装“电子枪控制器”的位置(单枪 1 个 2U单元空间，双 枪2个2U 单元空间) ；枪控制器尺寸如下： 二、镀膜机电控柜需要设置电子枪系统用端子如下： （线号您自定义） 序号 线号 名称 功能 #1 R 电子枪高压电源（三相 380VAC，最好过 D 型断路器）#2 S 电子枪高压电源（三相 380VAC，最好过 D 型断路器）#3 T 电子枪高压电源（三相 380VAC，最好过 D 型断路器）#4 N 电子枪高压电源零线 #5 枪 1 水 WATER 互锁保护信号， 要求无源。 接枪 1 涉谷提供 INTERLOCK连接线的
2、红色线 #6 枪 2 水 WATER 互锁保护信号， 要求无源。 接枪 2 涉谷提供 INTERLOCK连接线的红色线 #7 真空 VAC 互锁保护信号，要求无源。接枪 1 和枪 2 涉谷提供INTERLOCK 连接线的黑色线 #8 室门辅助 AUX 互锁保护信号，要求无源。要求无源。接枪 1 和枪 2涉谷提供 INTERLOCK 连接线的绿色线 #9 公共 INKCOM 互锁保护信号公共端，要求无源。要求无源。接枪 1和枪 2 涉谷提供 INTERLOCK 连接线的白色线 #10 枪 1 晶控输入 晶控：MAX 10VDC。要求无源。接枪 1 涉谷提供 EXT EMN CONT 连接线的红色
3、线 南京涉谷电子束技术有限公司 2#11 枪 1 晶控输入地 晶控：0V。接枪 1 涉谷提供 EXT EMN CONT 连接线的绿色线 #12 枪 2 晶控输入 晶控：MAX 10VDC。接枪 2 涉谷提供 EXT EMN CONT连接线的红色线 #13 枪 2 晶控输入地 晶控：0V。接枪 2 涉谷提供 EXT EMN CONT 连接线的绿色线 #14 枪 1 挡板手动开关 正常开路,开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 1 涉谷提供 BAFFLE 连接线的红色线 #15 枪 1 挡板手动开关 正常开路（带锁开关）开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 1 涉谷提供 BAFFLE 连接
4、线的黑色线#16 枪 1 挡板动作指示灯 BAFFLE 指示灯 0v，开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 1 涉谷提供 BAFFLE 连接线的绿色线 #17 枪 1 挡板动作指示灯 BAFFLE 指示灯+24 v，开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 1 涉谷提供 BAFFLE 连接线的白色线#18 枪 2 挡板手动开关 正常开路，开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 2 涉谷提供 BAFFLE 连接线的红色线 #19 枪 2 挡板手动开关 正常开路（带锁开关） ，开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 2 涉谷提供 BAFFLE 连接线的黑色线 #20 枪 2 挡板动作指示灯
5、 BAFFLE 指示灯 0v，开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好接枪 2 涉谷提供 BAFFLE 连接线的绿色线。 #21 枪 2 挡板动作指示灯 BAFFLE 指示灯+24 v，开关及指示灯在涉谷枪遥控盒上已装好。接枪 2 涉谷提供 BAFFLE 连接线的白色线#22 ONPW 远程开电源（无源脉冲信号） 。接枪1或枪2涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“2”脚 #23 OFFPW 远程关电源（无源脉冲信号） 。接枪1或枪2涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“3”脚 #24 PW-COMMON 远程开关电源公共端（无源脉冲信号） 。接枪1或枪2 涉谷提供“EXT SI
6、G.1” 36 芯插头的“4”脚 #25 枪 1-ONACC 远程开高压（无源脉冲信号） 。接枪 1 涉谷提供“EXT 南京涉谷电子束技术有限公司 3SIG.1” 36 芯插头的“19”脚 #26 枪 1-ONFIL 远程开灯丝（无源脉冲信号） 。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“20”脚 #27 枪 1-OFFACCFIL 远程关高压灯丝（无源断开下降沿脉冲信号） 。接枪1 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“21”脚 #28 枪 2-ONACC 远程开高压（无源脉冲信号） 。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“19”脚 #29 枪
7、2-ONFIL 远程开灯丝（无源脉冲信号） 。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“20”脚 #30 枪 2-OFFACCFIL 远程关高压灯丝（无源断开下降沿脉冲信号） 。接枪1 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“21”脚 #31 HV-COMMON 远程高压灯丝公共端（无源脉冲信号） 。接枪1和枪2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“1”脚 #32 BREAKER 当枪柜断路器合上时短接 （判断断路器工作状态用） 。接枪 1 或枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“13”脚 #33 PWON 电源开信号（判断电源工作状态用）
8、 。接枪 1 或枪 2涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“14”脚 #34 枪 1-ACCON 高压开信号（判断枪 1 高压工作状态用） 。接枪1涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“11”脚 #35 枪 1-FILON 灯丝开信号（判断枪 1 灯丝工作状态用） 。接枪1涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“12”脚 #36 枪 2-ACCON 高压开信号（判断枪 2 高压工作状态用） 。接枪2涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“11”脚 #37 枪 2-FILON 灯丝开信号（判断枪 2 灯丝工作状态用） 。接枪2涉谷提供“EXT SIG.1” 3
9、6 芯插头的“12”脚 #38 枪 1READY 枪 1 准备信号。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.1” 36芯插头的“8”脚 #39 枪 2READY 枪 2 准备信号。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36芯插头的“8”脚 南京涉谷电子束技术有限公司 4#40 枪 1EXT SW ON 当 EXT 开关合上时短接 （判断枪 1 外控开关工作状态用） 。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“9”脚 #41 枪 1EXT EMN ON 当 EXT EMN 开关合上时短接（判断枪 1 束流外控工作状态用） ， 为简化建议不用 #42 枪 1INT/EXT ACC
10、ON 当 ACC 电路作用时短接 （判断枪 1 高压工作状态用） ，为简化建议不用 #43 枪 1INT/EXT FIL ON 当 FIL 电路作用时短接 （判断枪 2 灯丝工作状态用） ，为简化建议不用 #44 枪 2EXT SW ON 当 EXT 开关合上时短接 （判断枪 2 外控开关工作状态用） 。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“9”脚 #45 枪 2EXT EMN ON 当 EXT EMN 开关合上时短接（判断枪 2 束流工作状态用） 为简化建议不用 #46 枪 2INT/EXT ACC ON 当 ACC 电路作用时短接（判断枪 2 高压工作状态用）为简化建议
11、不用 #47 枪 2INT/EXT FIL ON 当 FIL 电路作用时短接（判断枪 2 灯丝工作状态用）为简化建议不用 #48 枪 1EXT SCAN 当 EXTSCAN 开关合上时短接 （判断枪 1 扫描幅度外控状态用） 为简化建议不用 #49 枪 1EXT POS 当 EXT POS 开关合上时短接（判断枪 1 扫描位置外控工作状态用） 为简化建议不用 #50 枪 2EXT SCAN 当 EXTSCAN 开关合上时短接 （判断枪 2 扫描幅度外控工作状态用） 为简化建议不用 #51 枪 2EXT POS 当 EXT POS 开关合上时短接（判断枪 2 扫描位置外控工作状态用） 为简化建议
12、不用 #52 SIG-COMMON 和 EXT SIG 相关联的信号输出公共端。接枪 1 和枪 2涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“7”脚 #53 ACC MON 用来监测高压，当-10KV 高压时，输出为-10V。接枪1 或枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“33”南京涉谷电子束技术有限公司 5脚 #54 枪 1EMN MON 用来监测枪 1 束流，束流为 1A 时，输出为 10V。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“17”脚 #55 枪 2EMN MON 用来监测枪 2 束流，束流为 1A 时，输出为 10V。接枪 2 涉谷提供“EX
13、T SIG.1” 36 芯插头的“17”脚 #56 FB-COMMON 高压和束流反馈显示外送模拟量的公共端。 接枪1和枪 2 涉谷提供“EXT SIG.1” 36 芯插头的“15”脚 #57 枪 1X 外控位置模拟量 当远程控制枪 1X 位置时使用（X-P） ，-10V-+10V。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“17”脚 #58 枪 1X 外控幅度模拟量 当远程控制枪 1X 幅度时使用（X-S） ，0V-+10V。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“43”脚 #59 枪 1Y 外控位置模拟量 当远程控制枪 1Y 位置时使用（Y-P） ，-10V
14、-+10V。接枪 1 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“14”脚 #60 枪 1Y 外控幅度模拟量 当远程控制枪 1Y 位置时使用（Y-S） ，0V-+10V 接枪1 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“47”脚 #61 枪 2X 外控位置模拟量 当远程控制枪 2X 位置时使用（X-P） ，-10V-+10V。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“17”脚 #62 枪 2X 外控幅度模拟量 当远程控制枪 2X 幅度时使用（X-S） ，0V-+10V。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“43”脚 #63 枪 2Y 外控位置模拟量
15、 当远程控制枪 2Y 位置时使用（Y-P） ，-10V-+10V。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“14”脚 #64 枪 2Y 外控幅度模拟量 当远程控制枪 2Y 位置时使用（Y-S） ，0V-+10V。接枪 2 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“47”脚 #65 SCAM-COMMON 远程扫描公共端地。接枪 1 和枪 2 涉谷提供“EXT SIG.2” 50 芯插头的“50”脚 南京涉谷电子束技术有限公司 6三、涉谷高压柜主电源端子如下： 1、主电源端子 端子号 功能 #1 R 相 #2 S 相 #3 T 相 #4 0VAC(零线) 四、涉谷枪控制器
16、I/O 端子如下： 1、INTERLOCK 连接线涉谷提供（线长 1.5m） ，已做好，一端接到控制箱背后的“INTER LOCK”4 芯小航插座，另一端接 镀膜机电控柜为电子枪系统设置的对应端子上。 表 3-4 INTERLOCK 连接线 引脚号 名称 颜色 功能 #1 水 WATER 红 正常开路 #2 真空 VAC 黑 正常开路 #3 辅助 AUX 绿 正常开路 #4 公共 COM 白 公共端 2、当束流受远程控制时，远程控制信号（晶控仪输出）涉谷提供（线长 1.5m） ，已做好，应连到控制箱背后的“EXT EMN CONT” 2 芯小航插座，另一端接镀膜机电控柜为电子枪系统设置的对应端
17、子上。 表 3-5 EXT EMN CONT 连接器 引脚号 名称 颜色 功能 #1 输入 红 MAX 10VDC #2 地 绿 0V 3、挡板手动控制连接线 BAFFLE 涉谷提供（线长 1.5m） ，已做好，应连到控制箱背后的“BAFFLE” 5 芯小航插座，另一 端接镀膜机电控柜为电子枪系统设置的对应端子上。 南京涉谷电子束技术有限公司 7表 3-6 BAFFLE （挡板）连接器 引脚号 名称 颜色 功能 #1 BAFFLE 红 正常开路 #2 BAFFLE COM 黑 与#1 脚成带锁开关 #3 LED COM 绿 BAFFLE 指示灯 0v #4 LED 白 BAFFLE 指示灯+2
18、4v #5 空 4、EXT SIG.1 枪外控接口 1 接头涉谷提供，外控线客户自己做好，一头连接连到控制箱背后的“EXT SIG.1” 36 芯插座 ，另一端接镀膜机电控柜为电子枪系统设置的对应端子上。 表 3-7 EXT SIG-1 连接器 引脚号 线号 名称 功能 #1 HV-COMMON 计算机控制灯丝，高压的公共端 #2 远控开 Power 远控开电源时用，开启时#2，#4 接通，动作时间不小于 0.5s #3 远控关 Power 远控关电源时用，关机时#3，#4 接通，动作时间不小于 0.5s #4 PW-COMMON 供电端，有 24VDC 电源 #5 空 #6 RANGE1 当
19、用其它电源代替本电源时用 #7 SIG-COMMON 和 EXT SIG 相关联的信号输出公共端 #8 READY 当 READY 点亮时短接（判断电源工作状态用） #9 EXT SW ON 当 EXT 开关合上时短接（判断电源工作状态用） #10 EXT EMN ON 当 EXT EMN 开关合上时短接（判断电源工作状态用） #11 INT/EXT ACC ON 当 ACC 电路作用时短接（判断电源工作状态用） #12 INT/EXT FIL ON 当 FIL 电路作用时短接（判断电源工作状态用） #13 BREAKER 当总开关合上时短接（判断电源工作状态用） #14 DC POWER O
20、N 当内部供电电路合上时短接（判断电源工作状态用） #15 FB-COMMON 高压和束流的公共端 #16 空 南京涉谷电子束技术有限公司 8#17 EMN MON 用来监测束流，束流为 1A 时，输出为 10V #18 空 #19 ACC ON 高压瞬时开关 #20 FIL ON 灯丝瞬时开关 #21 ACC/FIL OFF 高压和灯丝瞬时断开开关 #22 EMN/FINE ON 合上时最大束流为 250mA #23 空 #24 RANGE2 当用其它电源代替本电源时用 #25 空 #26 EXT ACC ON 当 EXT ACC 合上时短接（判断电源工作状态用） #27 RANGE1 当
21、RANGE1 合上时短接（判断电源工作状态用） #28 RANGE2 当 RANGE2 合上时短接（判断电源工作状态用） #29 RANGE3 当 RANGE3 合上时短接（判断电源工作状态用） #30 EXT EB ON 当 EXT EB-ON 开关合上时短接（判断电源工作状态用）#31 EXT FIL ON 当 EXT FIL 开关合上时短接（判断电源工作状态用） #32 EMN FINE ON 当 EMN FINE 合上时短接（判断电源工作状态用） #33 ACC MON 用来监测高压，当-10KV 高压时，输出为-10V #34 空 #35 RESET 当远程控制的 RESET 报警时
22、，和 COMMON 短接一次 #36 R-COMMON 用在远程控制盒的 RESET 上 南京涉谷电子束技术有限公司 9EXT SIG.1 定义 234输入远程开电源远程关电源24VAC 50/60HzPW-COMMON192021221RYRY输入RYRYRYRY+24 V高压瞬时开关灯丝瞬时开关ACC/FIL OFFEMN/FINE ON8910111213147输出READYEXT SW ON EXT EMN ONINT/EXT ACC ONINT/EXT FIL ONBREAKERDC POWER ON263132EXT ACC ON EXT FIL ONEMN FINE ON3317
23、15ACC MONEMN MONFB-COMMONAMPAMP涉谷用户HV-COMMONSIG-COMMON南京涉谷电子束技术有限公司 105、EXT SIG.2 枪外控接口 2 接头涉谷提供，外控线客户自己做好，一头连接连到控制箱背后的“EXT SIG.2” 50 芯插座 ，另一端接镀膜机电控柜为电子枪系统设置的对应端子上。 表 3-8 EXT SIG-2 连接器 引脚号 线号 名称 功能 #1 WATER OK 当 WATER 灯点亮时短接（判断镀膜机工作状态用） #2 VAC OK 当 VAC 灯点亮时短接（判断镀膜机工作状态用） #3 AUX OK 当 AUX 灯点亮时短接（判断镀膜机
24、工作状态用） #4 RESET ON 当 RESET 开关按下时短接（判断电源工作状态用） #5 ALARM OL 当 OVER LOAD 电路作用时短接（判断电源工作状态用） #6 ALARM ACC 当 ACC ALARM 电路作用时短接（判断电源工作状态用） #7 FUSE OK 当 FUSE 灯点亮时短接（判断电源工作状态用） #8 DOOR OK 当 DOOR 灯点亮时短接（判断电源工作状态用） #9 SIG-COMMON 和 EXT SIG 相关联的信号输出公共端 #10-#13 #14 YP INPUT 当远程控制 Y 位置时使用（Y-P） ，-10V-+10V #15 空 #1
25、6 XP GND 地 #17 XP INPUT 当远程控制 X 位置时使用（X-P） ，-10V-+10V #18 空 #19 YP GND 地 #20 #21 X SCAN MON X 扫描监测电压输出， #22 Y SCAN MON Y 扫描监测电压输出， #23 X POS MON X 位置监测电压输出， #24 Y POS MON Y 位置监测电压输出， #25 MON GND 地 #26 DC 24V 内部供电端，有+24VDC 电源 #27 #28 DC 0V 内部供电端，与 26 脚合用。 南京涉谷电子束技术有限公司 11#29-#31 空 #32 EMN FINE ON EMN
26、 FINE 断开时短接（判断电源工作状态用） #33 #34 EXT SCAN ON 当 EXT SCAN 开关合上时短接（判断电源工作状态用） #35 RESET 远程控制的 RESET 复位，和 COMMON 短接一次 #36 R-COMMON 用在远程控制盒的 RESET 上 #37-#39 空 #40 EXT POS 当 EXT POS 开关合上时短接（判断电源工作状态用） #41-#42 空 #43 XS INPUT 当远程控制 X 扫描时使用（X-S） 010V #44 空 #45 空 #46 XS GND 地 #47 YS INPUT 当远程控制 Y 扫描时使用（Y-S）010V
27、 #48 空 #49 空 #50 YS GND 地 南京涉谷电子束技术有限公司 12EXT SIG.2 定义 涉谷用户1 23 4 5 6 79输出WATEROKVACOKAUXOKRESET ONALARMOLALARMACCFUSEOK8 32 34DOOROKEMN FINE ONEXTSCANON40EXTPOSAMP25142122X SCANMONY SCANMONAMP AMP2324X POSMONYPOS MONAMP AMPMONGND用户19164650AMP17AMP43AMP47YPINPUTXPINPUTXSINPUTYSINPUTYPGNDXPGNDXSGNDYS
28、GND输入-10V+10V输入-10V+10V输入010V输入010V输入SIG-COMMON南京涉谷电子束技术有限公司 13涉谷电子枪电源远程自动控制外部接线说明 需要连接的远程控制有： 1、 远程开、关电源。 要求是无源触点，接通约 1 秒钟后要断开。远程开电源时，把 EXTSIG-1 的36 针插件的 2 脚和 4 脚接通 1 秒钟后断开即可； 远程关电源时， 把 EXTSIG-1的 3 脚和 4 脚接通 1 秒钟后断开即可； 当电源开启后有一个长开触点会闭合，经 EXTSIG-1 的 14 脚和 7 脚送出，可判断电源的状态。 2、 远程开高压、开灯丝、关高压灯丝。 要求是无源触点，镀
29、膜时要先开高压、后 开灯丝；注意如果先打开灯丝，高压是打不开的，意味着灯丝预热。远程开高压时，把 EXTSIG-1 的 19 脚和 1脚接通 1 秒钟后断开即可；远程开灯丝时，把 EXTSIG-1 的 20 脚和 1 脚接通1 秒钟后断开即可；远程关高压、灯丝时，把 EXTSIG-1 的 21 脚和 1 脚 断开1 秒钟后再接通即可；当高压开启 后有一个长开触点会闭合，经 EXTSIG-1的 11 脚和 7 脚送出，可判断高压的状态；当灯丝开启后有一个长开触点会闭合，经 EXTSIG-1 的 12 脚和 7 脚送出，可判断高压的状态。 3、 自动控制时 PLC 的控制顺序： 当蒸镀的条件达到后
30、， PLC 可以发开电源指令，电 源开后会回馈一个电源开的信号给 PLC，紧接着 READY 信号也会回馈给 PLC，这时 PLC 要判断SW-EXT、的状态，如果不在外控状态，要报警并在屏上提示，要把对应开关打在外控位置 （也可不判断） ， PLC 可以发开高压指令，高压开后会回馈一个高压开的信号给 PLC， PLC 接到高压已开信号后， PLC 可以发开灯丝指令，灯丝开后会回馈一个灯丝开的信号给 PLC，这时 PLC 可以发启动晶控的信号，晶控控制坩埚、充氧、束流等工艺， PLC 接到工艺结束信号后，可以发关高压、灯丝指令，高压灯丝关后 PLC 可以判断高压、灯丝是否关掉，若关掉， PLC 可以发关电源指令 （也可以不关电源） 。 当电源开启后 READY 有一个长开触点会闭合，经 EXTSIG-1 的 8 脚和 7 脚送出，可判断电源的状态；当 SW-EXT 处在外控位置时有一个长开触点会闭合，经 EXTSIG-1 的 9 脚和 7 脚送出，可判断 SW-EXT 的状态； 4、涉谷电子枪支持外部扫描信号，可以实现自动预熔、记忆光斑大小等。
