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1、ADP/ADS 系列 2 干泵使用说明书 阿尔卡特高真空技术有限公司作为阿尔卡特集团的一部分， 多年来一直为全球客户提供真空 泵，检漏仪，真空计以及微加工系统等。 由于产品非常齐全，阿尔卡特高真空技术有限公司在各个行业都成为了非常重要的供应商， 这些行业包括：仪器仪表，研发，一般工业和半导体等。 阿尔卡特高真空技术使用 Adixen 这个新品牌作为公司形象，在真空行业中占据其国际性重 要地位。我们法国公司分别通过了 ISO 9001 和 ISO 14001 认证，提供专业的服务和支持， 同时 Adixen 产品具备最高的质量并符合环境标准。 阿尔卡特高真空技术有限公司拥有超过 40 年的经验，

2、如今已成为一家全球性公司，在全球 都拥有他的网络，包括在各地都有非常有经验的全职子公司，经销商以及代理等。 阿尔卡特高真空技术有限公司首先是在 30年前在美国的 Hingham-MA也建立了阿尔卡特产 品中心，如今已经在美国的 Fremont (CA)和 Tempe (AZ)更增加了 2个子公司。 在欧洲，阿尔卡特（法国）总部以及 3个子公司，阿尔卡特（德国） ，阿尔卡特技术（英国） （位于苏格兰）再加上阿尔卡特系统（意大利）共同构成了整个欧洲网络。 在亚洲，我们在 1993 年成立了阿尔卡特真空技术（日本）并在 1995 年设立了阿尔卡特真 空技术（韩国） 。随后，在 2001 年成立了阿尔

3、卡特真空技术（台湾） ，阿尔卡特真空技术（新 加坡） ，并于 2004 年成立了阿尔卡特高真空技术（上海）- 中国公司。 如今，阿尔卡特在全球各个地区共有超过 40 个代表处。 因此，无论发生什么情况，阿尔卡特的用户总是能够得到我们的真空技术专家提供的最快捷 的支持！ 尊敬的客户： 非常感谢您购买了阿尔卡特的干泵，我们非常荣幸您能够成为我们众多客户中的一员。 该产品得益于阿尔卡特多年以来在“半导体”工艺以及在干泵上的经验。 为了能够确保您使用的干泵拥有最优的性能并使您满意，我们建议您能够在使用该泵之前 详细阅读该使用说明书，尤其是关于安装和开机的章节。 应用： H 型 ：针对非常苛刻的工艺 P

4、 型 ：针对中等工艺 LM 型 ：针对干净的工艺 优点： 体积小，占地面积小 使用成本低 非常高的性能（抽速以及极限压力） 在苛刻环境下出色的运行效果 易于一体化 先进的监控功能 （待机状态可减少 N2 的消耗量，断电保护） SEMI S2-93标准的兼容性（可选） 特性： 多级罗茨技术 水冷电机（高压/低压） 排气口以及与各种接口位置可选在泵的上方或泵的背部 阿尔卡特网络兼容性 目录 简介 干泵的工作原理 A 10 ADP/ADS 系列 2 干泵的范围 A 20 M4 监控系统 A 30 可选配置 A 40 技术参数 A 50 附件 A 60 CE 认证 A 70 开机 安全指导 B 00

5、开箱/储藏 B 10 真空泵的安装定位 B 20 真空泵的加油 B 40 冷却水路的连接 B 50 不活泼气体吹扫的连接（N2 接口） B 60 电气连接 B 70 确认真空泵的转向 B 80 真空管路的连接 B 90 J14远程控制接口的连接 B 100 紧停接口的连接 B 1 10 RS232 或 RS485 接口的连接 B 120 排气口加热带 （附件） 的安装 B 130 运行 运行模式 C 10 进气口截止阀（附件）的使用 C 12 M4 监控系统的启动 C 20 真空泵运行时 M4 监控系统的使用 C 30 可选配置“断电保护”的使用 C 32 M4 监控系统的参数 C 40 M4

6、 监控系统的功能表 C 50 ADS 602 P 和 H型的水流量 C 60 储存和读取真空泵的设置（M4 监控系统） C 70 运输的 M4 监控系统设置 C 80 串口连接的使用（M4 监控系统） C 90 维护保养 维护保养的安全指导 D 00 基本的维护保养 D 10 故障排除和诊断 D 31 D 140 维护保养的操作 真空泵的放油 E 10 ADP/ADS 标准大修前的操作 E 510 E 560 附录 ADP/ADS 的电路图 （P/LM/H型） G 10 预示有潜在的危险，如果不避免的话，可能会造成轻度或中等的伤害。该标志也用来警告不 安全的状况。 预示有潜在的危险，如果不避免

7、的话，可能会造成死亡或严重伤害。 A 10 干泵的工作原理 使潜在沉积物最小化的设计 阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物最小化： 通过减小气体经过的中间腔的容积 通过在泵的每一级进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体（P 和 H型） 通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P 和 H型） 多级罗茨的工作原理 ADP 真空泵由 5级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。 压力较低的三级罗茨称为“低压级” ，而压力较高的两级称为“高压级” 。 真空泵的密封性（与周围环境之间） 低压端的密封性 真空泵低压端安装了用氟化脂润滑的球轴承。 而在轴承的周围通过用中性气体的吹扫从而形 成一个正压

8、区。高压区和密封共同防止真空泵所抽气体向轴承端移动。 对于带腐蚀性的工艺，轴承端的中性气体吹扫是必须的！ 高压端的密封性 高压端轴承是用油润滑的。整个齿轮箱和高压级 5之间是通过捕集阱和挡板共同密封的。 电机端的密封性（轴遂） 电机端的密封是通过电机设计的内置护套（完全密封）完成的。 该系统可以确保泵关于泄漏的安全性，并且不需要任何维护保养。 1. 高压级 5 2. 冷却板（捕集阱） 3. 冷却水 4. 高压级 5 的气体吹扫 5. 动态密封 6. 甩油盘 7. 齿轮箱 8. 挡板 1. 内置护套 2. 电机的定子 3. 电机的转子 停机时的密封性 真空泵在排气管内配置了止回阀，可以防止排气口

9、外的气体向泵内的返流。 真空泵在整个泵组中的安装 A 20 ADP/ADS系列 2 干泵的范围 型号描述 阿尔卡特的干泵适用于半导体行业的各个不同的工艺。 干泵的范围包括： ADP 122，共有 2个型号 ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化，包含：泵，监控系统，手动遥控器，水电气设施接 口，流量计面板，OEM接口和串口连接等。 ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号， 用于干净的工艺 （load-lock和 transfer chamber pumping） 。 五个由 ADP 122 和罗茨泵共同组成的一体化的真空机组： - ADS 602 H, ADS 602 P, A

10、DS 1202 H 和 ADS 1202 P，用于半导体的工艺。H型特别 用于非常苛刻的工艺（防腐蚀的材料，可增大的气体吹扫流量） 。除此以外，该型号还 配置了排气口的加热带，可减少易冷凝气体的凝结。 - ADS 602 LM，用于 load-locks 和干净的应用。该型号包含监控系统，可承受非常频繁 的从大气压抽到真空的周期性运行。 ADP 122 监控系统 气体吹扫 温度控制 应用 ADP 122 LM ADS 602 LM M4 无 无 干净的工艺 ADP 122 P ADS 602 P ADS 1202 P M4 有 有 中等的工艺 ADS 602 H ADS 1202 H M4 有

11、 有 苛刻的工艺 接口（例如：ADP 122 P） ADS 602 ADS 1202 真空泵的内部设备 阿尔卡特干泵包含内部冷却水路和气体吹扫管路（P 和 H型号） 。 接口在泵的上方 接口在泵的尾部 冷却水路（原理图） N2吹扫管路（P 和 H型） A 30 M4 监控系统 原理 每一台系列 2干泵都包含一个智能的监控系统。 描述 电器箱 安装在真空泵的尾部。该电器箱连接主电源，ADP/罗茨泵的电机和电控柜。 手动遥控器 该遥控器确保了人-机界面。该遥控器既可以连接到泵的前端，也可以连接到尾部，并且包 含所有的运行参数。 电控箱 电控箱确保了真空泵的自动运行，并控制所有的传感器和阀门。 电控

12、箱连接显示面板和紧停按钮。 它可以完成和手动遥控器之间的数据交换并确保通过接口 受网络监控。M4监控系统可以和主生产设备通过接口连接。 M4监控系统的特性 微处理器控制 手动遥控器上有参数和信息显示 记忆最近 10 次警报和停机的信息 RS232 RS485 网络连接 主要功能 电机保护 N2 吹扫监控 真空泵温度的监控 真空泵的温度控制（温度和冷却水流量） （P 和 H型） 排气压力的监控 保养时间的监控 A 40 可选配置 为了使真空泵可以适合安装时的一些特殊条件，阿尔卡特提供了一系列可选配置，这些配置 在真空泵的订购时由工厂设定。 重要注释：根据不同的国家，某些可选配置可能会标准化。相关

13、信息请咨询阿尔卡特高真空 技术（上海）有限公司。 水电气连接（P 和 LM型，不包括 ADS 1202P） 各种设施连接（水，N2，主电源）和排气口连接可以根据需要设置在泵的上方或尾部。 主电源的连接可以通过： - 直接将线连接到电器箱的终端（SEMI S2 93 兼容） ， - 用一个插头 排气口可以安装加热带（附件） （参阅 A60） 断电保护 该可选配置可以在断电时延时 1秒或 1秒不到，从而保护 M4监控系统。 排气口围栏（与 SEMI的需要兼容） （P 和 H型） 与 SEMI S2 93 标准兼容。 在这种情况下，主电源电线必须直接连接到电器箱的终端（参阅 B80） 。 50mm

14、排气口连接（可选） 。 设备的最小体积流量： - ADP 122: 36 m3/h (21 CFM), - ADS 602/1202: 82 m3/h (43 CFM) SEMI S2 93兼容性 ADP/ADS 系列 2仅在带以下配置时符合 SEMI S2 93： - 主电源电线直接连接到电器箱（硬线连接） ， - 排气口围栏 （以下为相关认证） A 50 技术参数 参数 单位 ADP 122 P ADP 122 LM ADS 602 H ADS 602 P ADS 602 LM ADS 1202 H ADS 1202 P 最大抽速 （50/60 Hz） m3/h CFM l/mn 95/1

15、12 55.8/65.8 1583/1867 480/560 282/329 8000/9333 1050/1150 617/676 17500/19167 典型的极限压力 （无 N2 吹扫） （50/60 Hz） mbar mtorr Pa 1.10 -2 /6.10 -37.5/4.5 1/0.6 8.10 -4 /5.10 -40.6/0.375 0.08/0.05 8.10 -4 /5.10 -40.6/0.375 0.08/0.05 最佳极限压力 （无 N2 吹扫） （50/60 Hz） mbar mtorr Pa 3.10 -2 /1.5x10 -2 22.5/11.25 3/1.

16、5 2.10 -3 /9.10 -41.5/0.675 0.2/0.09 2.10 -3 /9.10 -41.5/0.675 0.2/0.09 电机功率 kW 1.5 3 5.2 电源电压 V 200 V / 460 V 三相 50/60 Hz (1) 极限压力下的功率 消耗 （50/60 Hz） kW 1.3/1.5 1.8/2.0 3.0/3.2 连续运行时最大进 气口压力 mbar torr 50 37 10 7.5 5 3.7 最大排气口压力 mbar torr 1200 900 N2 流量范围 slm 0 60 （P型） ；0 120 （H型） 冷却水流量 l/h = 60 = 60

17、 = 80 真空泵转速 rpm 3000/3600 环境温度 5 40 齿轮箱油量 ADP 罗茨 l l 0.35 - 0.35 0.7 0.35 1.90 进气口法兰 DN 50 ISO-KF DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K 排气口法兰 ISO-KF DN 40 DN 40 DN 40 尺寸 （长 x宽 x高） mm Inches 830x390x580 32.7x15.4x22.8 830x390x875 32.7x15.4x34.4 995x390x985 39.2x15.4x38.8 重量 kg (lbs) 243 (540) 378 (840) 522 (1160

18、) 最大噪音* dB(A) 65 68 69 （1） 根据 CE 标准，ADP 系列 2可以承受最大电压差异+- 10%； （2） 仅适用于 P和 H型； * 根据 ISO 96 14-2 标准在距离 1米长，1.6米高的情况下测量 尺寸（水电气接口在泵的尾部） 尺寸（水电气接口在泵的上方） 防震保护装置的位置图 A 60 附件 真空泵进气口截止阀 该阀门在真空泵停机时防止气体的返流并提高系统的密封性。 它同时可以将运行的真空泵和工艺隔离。 手动阀 零件号 材质 铝： DN 50 ISO-KF 30384M 材质 不锈钢： DN 50 ISO-KF DN 63 ISO-F DN 100 ISO

19、-F 30501M 30502M 30503M 自动阀 24V AC 零件号 气动阀的电线（3.5m）零件号 材质 铝： DN 50 ISO-KF 30384E 108119 材质 不锈钢： DN 63 ISO-F DN 100 ISO-F 30502E 30503E 106532 106532 手动遥控器 在真空泵上可以连接第二个手动遥控器，手动遥控器也可以使用更长的线。 零件号 遥控器（单独） 110942 遥控器 + 1.5m 线 111395 15m 线 107079 排气口加热带（P 型） 排气口加热带安装在排气管道上，在抽易冷凝的气体时可以减少凝结物。 关于该附件的安装，请参阅 B

20、 130。 安装在新的排气管道上的加热带 真空泵 电源 水电气连接在上方 水电气连接在尾部 ADP 122 P 200/240 V 380/460 V A459806 A459807 A459802 A459803 ADS 602 P 200/240 V 380/460 V A459808 A459809 A459802 A459803 ADS 1202 P 200/240 V 380/460 V - - A459804 A459805 OEM/远程控制接口 该装置确保主生产设备和 M4监控系统之间的直接界面。 （请联系阿尔卡特） 连接用附件 在阿尔卡特样本中可以找到各种连接用的附件（接头，阀

21、门，波纹管） 。 防震脚 该附件可以安装在泵上，主要用在地震区域。 零件号 一组（2套）防震脚 A 328947 DN 40防腐蚀 O型圈（带 PTFE保护） 该附件可以抵抗带腐蚀性和活泼的气体（氯气和氟气） 。一道 PTFE 屏障和内部的中心环一 同保护氟橡胶 O 型圈。 零件号 DN 40防腐蚀 O型圈 108785 消音装置（LM 型） 该附件可以在从大气压开始抽气的周期运行时降低真空泵带给排气管道的振动。 零件号 消音装置 108785 Lonworks和 DeviceNet 接口 系列 2 泵提供非常多沟通方式（RS232，RS485，干触点，手动遥控器） 。我们还增加了 2 种新的

22、界面方式。 在半导体行业最常用的 2种总线为 Lonworks 和 DeviceNet。系列 2泵（除了 ADP 122 L） 可以使用这些接口。 Lonworks （零件号 110900） Lonworks界面用于连接干泵和每一台 Lam 2300机台。 这也意味着每一台安装在 Lam 2300 机台上的干泵都应该订购该接口。它完全取代了以前和我们的干泵连接的电路接口方式。 DeviceNet （零件号 108809） DeviceNet 用于 Applied Materials 或 Matrix机台。 如果需要， 该接口可以提供给相应 OEM。 RS232 （零件号 109434） RS2

23、32 接口用于增加一个 RS232 串口连接，用于 RS232 协议需要。 A 70 CE 认证 B 00 安全指导 我们的产品设计符合当前的 EEC标准，任何客户对产品的修改将可能造成与标准的不 符，或甚至影响电磁兼容性能以及影响产品的安全。Alcatel 将对此不承担任何责任。 产品的 EMC性能是建立在符合 EMC的安装条件的基础上的。尤其，在受干扰的环境， 必须： - 在串口连接时采用带屏蔽的电线和接头 - 在电源和设备之间采用稳压装置（至少离设备 3米以上） 当真空泵上方的主开关设置为“0”时，电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的 话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断

24、开。 高压危险。电压或电流可能造成触电。在服务前将总电源断开。任何操作需要由经过培训的 人员进行。 为了确保安全安装真空泵以及对真空泵进行维修服务等，必须按照 OSHA 要求 29 CFR. 1910.147.将真空泵隔离。 仅针对 P 和 H型泵。 如果没有氮气流量将会造成严重危害，因此氮气流量需要由工艺设备进行监控，没有氮气流 量时需要有信号提供给工艺设备，如必要还需要互锁。 如果高于 LEL（爆炸极限低点）含量的易燃物质进入真空泵，那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至 LEL 以下，同时工艺设备需要在真空泵氮气流量太低 或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。 如果没有冷

25、却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害， 因此冷却水流量需要由工艺 设备进行监控。 如果工艺中有任何腐蚀性的，易反应的，易燃的或氧化性强的介质进入真空泵，则需要在排 气口安装监控装置，确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外，也需要当氮气 流量不够时停止工艺气体进入真空泵。 如果有易燃物质进入真空泵， 用户需要在排气口提供可以检测 LEL 的装置 （能够检测到 25% 的 LEL 的仪表） ，当检测到易燃气体含量达到 25%的 LEL 值时停止进入真空泵的气体。 当真空泵停机时，内部元件（监控系统，变频器）包含充电大于 60 VDC 的电容，依然带电。 接触有可能造成严重的伤害。

26、在停泵后，等待 1分钟再打开真空泵。 其他有危险的能源。 氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力： - 对于氮气吹扫，断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀； - 对于冷却水管路，断开进水接头并保持出水管路连接。等待 1分钟后，断开出水接头。 冷却水和氮气供应的隔离。最终用户需要提供冷却水以及氮气，且管路上应配置离工艺设备 3米之内的手动阀，便于隔离。 在运行状况下，真空泵的表面可能会产生用户需要警惕的高温（排气口连接的外表面可能 70 摄氏度） 。接触可能会导致烫伤，请在服务时始终佩戴手套。 Alcatel 并不能控制进入真空泵的气体种类。通常，工艺气体是有毒的，易燃

27、的，有腐 蚀性的，易爆的或易发生反应的。由于这些气体可能会造成受伤甚至与死亡，因此将排 气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的， 以保证最终的排放 气体符合空气标准。 请确认真空泵正确地安装到工艺设备上。 安全互锁。 泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护 - RT1 开关（ADP 泵）和 RT2 开关（罗茨 泵） ，请参考 G10 的电路图。 该互锁必须在安装，使用和维护时保证运行。 一旦过载保护激活，则电源会切断，真空泵处于安全状态。当真空泵出错时，必须先将错误 纠正然后再清除错误。要清除错误，需要将主开关关闭，打开电气箱并将相关保护开关重置 为“1” 。 真空泵配

28、置了紧停（EMO）回路。当紧停激活时，真空泵进入安全停机状态。若要外 部使用，真空泵 J1 接口上的两个干接点针脚 1 和 4 可以提供使用。真空泵的 EMO 也 可以通过 J1接口上的针脚 2和 3进行外部监控。 EMO回路由机电元件构成。对其复位将不会激活真空泵。 真空泵的标签 位于真空泵的尾部，该标签警告客户如果用手接触热表面可能会造成烫伤。同时，也要求客 户在对真空泵采取任何动作之前要戴好手套。 位于真空泵的顶盖上。该标签告诉用户由于真空泵很重，不能通过人工直接搬运，应始终使 用合适的搬运装置。 位于真空泵的顶盖上。该标签警告用户部分内部元件带电，如果接触将可能导致触电。同时 建议客户

29、在对真空泵采取任何动作之前先将真空泵的电源切断或将工艺设备的总电源切断。 位于真空泵的顶盖。该标签警告客户真空泵所抽的工艺气体可能危险且有毒，会造成伤害甚 至于死亡。因此，任何预防性维护保养需要由培训过的专人进行。 紧急状况时联系 Alcatel 如果发生紧急状况或设备故障，请联系阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司的服务部门。 B 10 开箱/储藏 搬运 警告 倾斜度的危险：虽然该设备符合 EEC安全标准（标准范围在+- 10度） ，建议用户在搬 运，安装和使用时还是需要预防倾斜造成的危险。请参考 A50的设备重心位置。 如果设备收到时已损坏， 必要时请联系货运公司并通知 Alcatel。 在

30、任何情况下， Alcatel 建议客户保留包装，如果今后要搬运或储藏时可以使用。 包装的尺寸和重量 开箱 打开木箱的顶部。 去除周围的紧固螺钉，并移开木箱。 去除其他的包装物并放于一旁。 这些包装物包括以下部分： 真空泵 配置 ADP 122 1 份使用说明书 2 份用于包装的干燥剂 1 瓶 0.4升的真空泵油 3 个吊环 1 个漏斗 1 个 EMO 接头 1 个远程控制接头 ADS 602 1 份使用说明书 2 份用于包装的干燥剂 3 瓶 0.4升的真空泵油 3 个吊环 1 个漏斗 1 个 EMO 接头 1 个远程控制接头 ADS 1202 1 份使用说明书 2 份用于包装的干燥剂 5 瓶

31、0.4升的真空泵油 3 个吊环 1 个漏斗 1 个 EMO 接头 1 个远程控制接头 ADS 1802 1 份使用说明书 2 份用于包装的干燥剂 4 瓶 0.4升的真空泵油 3 个吊环 1 个漏斗 1 个 EMO 接头 1 个远程控制接头 考虑到真空泵的重量，人工搬运很容易造成肌肉损伤或背部伤害。对于所有型号的设备，搬 运时都要采用适合的搬运装置。 将真空泵从木箱中搬出 强烈建议在搬运时使用起重机。 将吊环（分开包装，发货时装于木箱内）安装在真空泵的正确位置上。 用起重机和吊索（分成 3路） ，通过吊环将真空泵吊起。 真空泵型号 重量 kg(lbs) ADP 122 ADS 602 ADS 1

32、202 243(540) 378(840) 522(1160) 真空泵的安装准备 旋下真空泵的定位衬脚，并将真空泵放落在地上（四个轮子着地） 。 将木箱内的其他包装物取出并放置于一旁。这些包装物包括电线，附件等等。 为了防止真空泵在运输时有湿气进入真空泵，发货前真空泵内部已经用干燥氮气加压。真空 泵的进气口和排气口都通过盲法兰密封，请在真空泵正式安装使用之前不要拆下这些盲法 兰。 设备的储藏 如果真空泵要进行储藏，那么必须再次安装进气口和排气口的密封。我们的设备储藏 （泵内用干燥氮气加压并密封）除了储藏环境温度需要在-25至55之间以外，没有 其他特别的要求。 B 20 真空泵的安装定位 真空

33、泵附件的种类以及泵的机械连接（如泵的接口）的质量将决定真空泵的性能。 由于该真空泵很可能用于腐蚀性的环境，泵的可靠性将取决于正确的安装和维护保养。 当安装真空管路时，我们建议安装保养用的附件，如在进气管路和氮气吹扫管路上安 装开关阀等。 处于安全的需要，请确保进气管路和排气管路上的附件的材料和密封性能与工艺气体 相匹配。 真空泵的定位 确认真空泵的安装位置，如果必要的话，请参考技术参数章节的设备尺寸（参阅 A40） 。采 用搬运装置将真空泵搬运到所需的位置上（参阅 B10） 。 真空泵必须在水平的位置上运行，并确保真空泵的进气口向上。 倾斜度的危险：虽然该设备符合 EEC安全标准（标准范围在+

34、- 10度） ，建议用户在搬 运，安装和使用时还是需要预防倾斜造成的危险。请参考 A50的设备重心位置。 每一台真空泵都配置了 4 个螺旋定位脚，请调节其他的 3 个螺旋定位脚进行定位，并 确保最终 4个定位脚都平稳的落在地面上。 去除法兰口的相关元件（ADS 602） 去除安装在法兰板上的两个螺钉，以及勾头螺钉（使用 17mm 的扳手） 。松开将法兰板安装 在压板上的两个螺钉，去除吊环并拆下压板。重新装上吊环，用于搬运真空泵。 注：如果需要，请保留压板。 去除真空泵的盖板 去除前盖固定螺丝（1）并绕其轴（2）旋转该盖板，将盖板向外（3）抽出。 注：请确保电路没有连接。 将锁孔旋转 1/4 转

35、（4） ，并将侧板向外（5）拉出，然后提起取出侧板。用同样的方法取出 另一侧的侧板。 B 40 真空泵的加油 警告！真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运。同样，建议客户在退回真空泵之前 也将油排放。 对于使用润滑剂的设备，建议客户向厂商索取润滑剂的安全参数表。 该真空泵出厂测试时使用的是 Alcatel 113合成油。 我们建议用户依然使用该润滑油。 矿物油与合成有不能混在一起使用，在您更换油的种类之前请与阿尔卡特高真空技术 （上海）有限公司联系。 根据需要，我们可以提供 Alcatel 113合成油的 MSDS。 真空泵加油量 加油量： 型号 ADP油 箱 罗茨泵油箱 （齿轮箱端） 罗茨泵

36、油箱 （电机端） 总量 0.4升装油瓶 数量 ADP 122 0.35 L - - 0.35 L X 1 ADS 602 0.35 L 0.45 L 0.25 L 1.05 L X 3 ADS 1202 0.35 L 1 L 0.55 L 1.9 L X 5 加油步骤 确认真空泵已经停机，然后打开真空泵的侧盖。使用和泵一起发送的漏斗，并配上软管。 为罗茨泵电机端油箱加油 移开真空泵顶盖上的网格，这样可以很容易接触到加油塞。移开加油塞（1） ，将漏斗放置 在加油口上，根据建议的数量为罗茨泵加油。 不要超过建议的数量。 油位应当在油位视窗（2）的一半。为了确保加油量的准确性，等待几分钟直到有分散到

37、内 部的各个表面。 再将加油塞放回原位。 为罗茨泵齿轮箱端加油 移开加油塞（7） ，将漏斗放置在加油口上，根据建议的数量为罗茨泵加油。 不要超过建议的数量。 油位应当在油位视窗（8）的一半。为了确保加油量的准确性，等待几分钟直到有分散到内 部的各个表面。 再将加油塞放回原位。 为 ADP 干泵加油 移开加油塞（4） ，将漏斗放置在加油口上，根据建议的数量为 ADP 泵加油。 油位应当在油位视窗（5）的一半。 不要超过建议的数量。 再将加油塞放回原位。 B 50 冷却水路的连接 冷却水特性 为了避免腐蚀以及电机冷却水路的堵塞，建议根据以下要求选用冷却水： 事先处理过的软质水或无腐蚀性的工业用水

38、PH值在 7.5和 11 之间 硬度 1500 欧姆.厘米 允许颗粒大小（最大） ：0.03 mm2 固体污染： 100 mg/dm3 温度：10 25 压力范围：绝压 3 7 bar (30 87 psig) 进水口/排水口压差：至少 2 bar (30 psig) 水流量：参阅 A 50 如果冷却水特性中的“允许颗粒大小”和“固体污染”参数不能满足，请在冷却水路上安装 过滤器。 冷却水快速连接 将随泵发送的两个快速接头分别和真空泵冷却水面板上的快速接头连接。 将冷却水管连接到快速接头上： -进水口标着“IN” （1/4 NPT 快速母接头） -出水口标着“OUT” （1/4 NPT 快速公

39、接头） 冷却水流量的调节 移开前端盖。 可以通过调节流量计面板上的针阀将水流量调节到和真空泵的要求（参阅 A50）一致。 B 50 不活泼气体吹扫的连接（N2接口） 氮气的特性（仅 P 和 H型号） 为了确保最好的性能，需要根据以下特性提供过滤后的干燥氮气： 冷凝点 22 粉尘 1 u.m 含油量 0.1 ppm 压力范围：30 87 psig （绝压 3 7 bar） 每台泵的流量（参阅 A 50） N2 突然大量进入氮气管路会造成内部元件的损坏。在为真空泵加氮气之前先逆时针旋转关 闭调压阀。 连接 N2流量调节 可以根据工艺用调压阀调节 N2 的流量（参阅 A 50） 。 在前端面部的后面

40、有一个氮气质量流量计，可以确保流量的读数在手动遥控器上有显示。 B 70 电气连接 在电气连接的过程中确保主开关为关闭状态。 了解基本的预防措施（参阅 B 00） 泵所有的内部电气连接在出厂之前都已经完成。 但是，真空泵和主电源之间的连接要由用户完成。 系列 2真空泵并不包含任何可更换的保险丝。 客户的电气安装保护 真空泵配置了一个 10 000 AIC主断路器。 触电有可能会造成非常严重的伤害。 在对真空泵进行维护之前，始终先断开与主电源的连接。 主断路器设定值（建议值） 200/230 V 50/60 Hz BT 380/460 V 50/60 Hz - HT 耗电量/断路器 设定值 最大

41、耗电量 断路器设定值 最大耗电量 断路器设定值 ADP 122 9 A 15 A 5 A 10 A ADS 602 19 A 25 A 11 A 15 A ADS 1202 25 A 35 A 17 A 25 A 如果要对初使设置的主电源电压进行任何改动，请联系阿尔卡特高真空技术（上海）有限公 司。 用插座进行电气连接 该真空泵在分开的包装内提供了一个母的插座。 将绿色的导线连接到接头的地线位置上。 请根据以下的要求选取电源线连接主电源和电源插座。 - 对于 ADP 122，AWG-12（或 2.5 mm2） - 对于 ADS 602/ADS 1202，AWG-10（或 4 mm2） 确认导线

42、已进行正确保护（针对接地错误） ，同时地线要比 3根电源导线长。 然后，将插座连接到真空泵上并锁紧。 电机的转向取决于主电源的连接。接线不正确可能会造成电机反向旋转，请在第一次开机时 确认电机的转向（参阅 B 80） 。 直接用导线电气连接 打开电气箱，将导线通过穿通口连接到电气箱内。 在电气箱内的地线连接端子旁有一个 IEC 417#5019 标志。 根据以下要求将主电源线连接到 I1开关上： - 对于 ADP 122，AWG-12（或 2.5 mm2） - 对于 ADS 602/ADS 1202，AWG-10（或 4 mm2） （电源线由客户提供） 将地线连接到独立的地线端子上。 确认导线

43、已进行正确保护（针对接地错误） ，同时地线要比 3根电源导线长。 电机的转向取决于主电源的连接。接线不正确可能会造成电机反向旋转，请在第一次开机时 确认电机的转向（参阅 B 80） 。 B 80 确认真空泵的转向 在使用监控系统之前，现确认在 B章节之前介绍的机械连接和电气连接。 在真空泵启动之前，确认 ADP 和罗茨泵的油位在油位视窗的中间：这项确认需要在真 空泵停止时进行。 为了安装前湿气进入到真空泵内，该真空泵内部已经冲入了氮气并用盲法兰密封。 移开进气口和排气口的封盖， 这些元件主要用于在运输或储藏过程中外部颗粒进入真空 泵。在真空泵运行时这些元件如果还留在原位是非常危险的。 连接两个

44、接头 如果采取的是现场模式，真空泵只有在 J1和 J14 接口上连接了接头（随泵一起发送） 时才可以运行。而在远程模式，如果紧停接口并没有远程连接，则必须在 J1接口上连 接接头。 启动真空泵 将主开关设置到位置 1 “主开关开”显示灯亮。 用手动遥控器控制真空泵 手动遥控器可用于控制真空泵并设置参数。 当手动遥控器连接到真空泵上时，监控系统自动识别该真空泵。 按“ENTER”键使系统初使化。 由于是第一次连接，必须按“CONTROL”键获得对于真空泵的控制权：一个星号显示在屏 幕的左上方。 确认真空泵的转向 当开机观测罗茨泵的转向时，需针对进气口内旋转部件肯能造成的压缩提供足够的保 护措施。

45、警告！一个并没有供电的罗茨泵可能因为另一台真空泵的旋转而带动（压缩 的危险） 。 移开进气口和排气口的盲法兰。 在真空泵进气口安装一个真空表。 将主开关打开到位置 1。 按“ROOTS”键，直到显示屏上的 ROOTS 消失。 按“START”键启动真空泵并在数秒后停机： - 如果压力值显示为小于 5.10-1 mbar，则转向是正确的。 - 如果压力上升， 则只需要更换主电源插座中或主开关终端的任意两相即可 （或参阅 B 70， 主电源线的连接） 。 当真空泵顶部的主开关设置为“0”时，主电源和主开关之间依然带电。如果接触会有触电 的危险。在维护之前将主电源线断开。 高压危险。电压和电流足以造成触电。在维护之前将主电源断开。任何对真空泵的动作都需 要由经过培训的专人执行。 当真空泵停机时，包含电容的内部元件（监控系统，变频器）依然带电。触电可能会造成非 常严重的伤害。在停机后，请等待 1分钟再打开真空泵。 注：转向也可以通过在排气口看气体是否被排出真空泵来确认。 为了防止外部的颗粒进入真空泵，在等待安装真空泵时，请将盲法兰重新安装到进气 口和排气口。 当真空泵的安装，启动以及转向确认步骤都完成后（B10 至 B80） ，真空泵就可以使用了 （参阅 B 90） 。 但是，如果真空泵要远程控制的话，则还需要进行相应的接线（B 100） 。