1、Ascent DMS双极脉冲电源双极脉冲电源双极脉冲电源双极脉冲电源替替替 替代传统中频交流电源的最佳产品方案 代传统中频交流电源的最佳产品方案代传统中频交流电源的最佳产品方案代传统中频交流电源的最佳产品方案2016.1.12双靶反应溅射应用双靶反应溅射应用双靶反应溅射应用双靶反应溅射应用 (Dual Magnetron Sputtering)Ascent DMS双极脉冲电源的核心性能优势 最快的电弧响应与处理速度（ 1微秒），最低的电弧残余能量（ 0.4微焦耳）；明显提高 AZO等易放电靶材溅射效率。 方波输出，镀膜沉积率相比中频交流电源至少提高 15%以上，节约大量能耗。 输出频率在 0.
2、5-50Khz范围内可调，帮助实现更多的工艺与膜系开发。 功率输出 脉宽 在5-95%范围内可调，前所未有地提供了不同材料掺杂共溅射（ Co-Sputtering）的绝佳条件，帮助实现更多的工艺与膜系开发。 模块化设计，直流电源 + 逆变单元，体积小， 使用灵活，可叠加功率最大至 200千瓦。灵活切换直流与交流两种用途。 专门针对玻璃镀膜使用环境研制发开，坚固耐用。 Ascent DMS 120千瓦双极脉冲电源自 2015年1季度在北玻镀膜终端客户惠州龙玻镀膜线替代原有中频交流电源连续使用已近 1年，效果非常稳定可靠。中频电源与双极脉冲电源用于中频电源与双极脉冲电源用于中频电源与双极脉冲电源用
3、于中频电源与双极脉冲电源用于 AZO效果对比效果对比效果对比效果对比电压曲线中最大值 620V,最小值 540V，电压差值 80V，电压曲线波动频繁，上下波动密度较大，现场观察靶筒辉光有闪烁现象，且比较频繁。从以上曲线可以看出，双脉冲电源设定30KW点靶后，电压曲线和电流曲线都很平滑，波动较小，查看电源记录的历史数据，电压最大值 574V，电压最小值553V，电压差值 21V，观察现场靶筒辉光无闪烁现象。输出频率会对薄膜特性产生明显影响输出频率会对薄膜特性产生明显影响输出频率会对薄膜特性产生明显影响输出频率会对薄膜特性产生明显影响双极直流脉冲电源实现比传统交流电源更高、与纯直流电源相近的沉积速
4、率同时具有直流脉冲电源清理靶面累计电荷、抑制电弧的优点。双极溅射提高沉积速率双极脉冲电源功率输出波形可调升压可调脉宽可调升压功能对镀膜沉积效率的显著提升可调升压功能对镀膜沉积效率的显著提升可调升压功能对镀膜沉积效率的显著提升可调升压功能对镀膜沉积效率的显著提升 # 9 # 10试验装置上的最大功率和电弧处理结果试验装置上的最大功率和电弧处理结果试验装置上的最大功率和电弧处理结果试验装置上的最大功率和电弧处理结果电弧处理试验结果：60 kW 进入铝靶材20 kHz 60 kW 进入工业DMS 试验箱（氩气和铝靶材）注意与交流电相比，可控的电压爬升使功率的上升更为稳定。在在在在60kW 功率下成功
5、管理电弧功率下成功管理电弧功率下成功管理电弧功率下成功管理电弧电弧快速侦测和熄灭！可调升压可调升压可调升压可调升压工艺优化的机会工艺优化的机会工艺优化的机会工艺优化的机会40 kW、30 kHz、铝靶和氩气可调升压可调占空因子可调占空因子可调占空因子可调占空因子调节功率平衡调节功率平衡调节功率平衡调节功率平衡30 kW、10 kHz、铝靶和氩气可调脉宽40/6050/50交流电电源限制为50/50 的占空比实际生产中双靶材并不以同样的速率溅射靶材溅射速率不一致影响镀膜质量，减少有效镀膜时间，造成靶材浪费解决办法是控制各解决办法是控制各解决办法是控制各解决办法是控制各支靶支靶支靶支靶的沉积速率的
6、沉积速率的沉积速率的沉积速率 Ascent DMS 的占空比可变例如：60/40、10/90 允许每支靶的溅射速率可调40/6050/5050/50自定义的装置，带Ascent DMS 模块架构1.面向30kW 至200kW 的DMS 和SMS 应用的功率 10kW 增量2.装置使用直流电源电缆，成本最低直流电缆每米3 美元，而进口优质中频交流电源电缆每米超过50 美元3.可将交流设备灵活安装到阴极盖上或阴极盖板中，消除了电缆造成的功率损耗和工艺影响从相同工业标准的19” 机架提供直流和交流输出模块化模块化模块化模块化Ascent AMS直流电源Ascent AMS直流电源Ascent DMS
7、逆变装置试验前设备机架配置好功率、控制器和水冷连接双靶溅射系统低电感电缆互联，即Triax、Leoni 等Ascent DMS双极脉冲电源的核心性能优势 最快的电弧响应与处理速度（ 1微秒），最低的电弧残余能量（ 0.4微焦耳）；明显提高 AZO等易放电靶材溅射效率。 方波输出，镀膜沉积率相比中频交流电源至少提高 15%以上，节约大量能耗。 输出频率在 0.5-50Khz范围内可调，帮助实现更多的工艺与膜系开发。 功率输出 脉宽 在5-95%范围内可调，前所未有地提供了不同材料掺杂共溅射（ Co-Sputtering）的绝佳条件，帮助实现更多的工艺与膜系开发。 模块化设计，直流电源 + 逆变单
8、元，体积小， 使用灵活，可叠加功率最大至 200千瓦。灵活切换直流与交流两种用途。 专门针对玻璃镀膜使用环境研制发开，坚固耐用。 Ascent DMS 120千瓦双极脉冲电源自 2015年1季度在北玻镀膜终端客户惠州龙玻镀膜线替代原有中频交流电源连续使用已近 1年，效果非常稳定可靠 。Ascent-Ascent DMS 系统配置ASCENT 直流电Ascent DMS 2 个阴极的试验箱最大为60kASCENT40k or 60kAscent DMS 2 个阴极的试验箱ASCENT40k or 60kASCENTDCASCENT40k or 60kAscent DMS 2 个阴极的试验箱ASC
9、ENT40k or 60kASCENTDCAscent DMSM/SM/SM/SM/S多阴极大功率系统Ascent+QuadASCENT40k or 60kASCENT40k or 60kASCENTDCASCENT40k or 60kASCENT40k or 60kASCENTDC2 个阴极的设置2 个阴极的设置2 个阴极的设置Ascent+QuadAscent+QuadAscent DMS#1#2#nASCENT40k or 60kASCENT40k or 60kASCENTDCM/SM/SM/SCEXCEXAscent DMSAscent DMSM/SM/SM/SNasdaq: AEISwww.advanced-www.advanced-牟星牟星牟星牟星AE中国区销售负责人中国区销售负责人中国区销售负责人中国区销售负责人0755-2672 8016 137 9821 7426 Levy. M
