1、垂直連續鍍銅,JETCHEMJETCHEM (WUXI) CHEMICAL TECHNOLOGIES CO., LTD.,超特(無錫)化學科技有限公司,酸性鍍銅,概述:,直流電鍍脈衝電鍍,酸性鍍銅 概述,直流電鍍:,- 水平電鍍制程 - 垂直電鍍制程 - 槽體設計-分體壓縮式 - TP值 - 酸性銅添加劑 - 延展性,酸性鍍銅 水平電鍍制程,制程,酸性鍍銅 垂直電鍍制程,工藝流程,酸性鍍銅 基本原理,反應機理:陽極 Cuo - Cu+2 + 2e-陰極 Cu+2 + 2e- - Cuo,酸性鍍銅 槽體設計,酸性鍍銅 熱應力,高溫,室溫,Stresses imparted to a PTH du
2、e to thermal Z-axis expansion conditions.,A,B,C,D,A: 銅箔斷裂 B: 內層銅斷裂 C: 孔銅斷裂 D: 邊角斷裂,酸性鍍銅 厚度分布,理論情況,情況1,情況3,情況2,酸性鍍銅 陽極袋,陽極梆,酸性鍍銅 陽極與陰極距離,不可接受的,可接受的,酸性鍍銅 TP值,TP 計算公式,酸性鍍銅 High Aspect Ratio Recommended Bath Parameters,Low High,酸性鍍銅 High Aspect Ratio Important parameters - high influence,酸性鍍銅 High Aspec
3、t Ratio Important parameters - medium influence,酸性鍍銅 High Aspect Ratio Recommended Bath Parameters,酸性鍍銅 光澤劑 / 整平劑 分布狀況,酸性鍍銅 整平能力,整平程度a. 平整性變差b.沒有作用僅僅覆蓋上c. 很好整平性,酸性鍍銅 光澤劑 / 整平劑 工作機理模型,酸性鍍銅 光澤劑化學類型,酸性鍍銅 整平劑化學類型,酸性鍍銅 PC-UT鍍銅光澤劑主要成份,酸性鍍銅 延展性,酸性鍍銅 不同壓力拉力銅箔表,1. 有很好延展性。 2.一般狀況，在很大拉力下較易斷裂 。 3.較差狀況,很容易斷裂。,酸性
4、鍍銅 概述:,脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 對溶液流動影響,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 電鍍銅沈積機理,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 電鍍銅沈積機理,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 電鍍銅沈積機理,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍,酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 Copper Replenishment for Insoluble Anode 制程,
