1、Page 1 of 1,WIT,测量面的表面粗糙度，要求Ra0.05u，与0.05的粗糙度样块进行比较,Micrometer Calibration Working Instruction,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,Micrometer Calibration Working Instruction,测量面的平面度： 测量时把平晶放在被测表面上且与被测表面形成一个很小的楔角 以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面且平晶与
2、被测表面间的间隙很小则由平晶测量面P 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直相互平行且分布均匀则表示被测表面的平面度很好如干涉条纹弯曲则表示平面度不好。其误差值为 式中 为两干涉条纹间距离 为干涉条纹的弯曲值 为光波波长白光波长一般以0.6微米计算。,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,Micrometer Calibration Working Instruction,测量面的平行度： 平晶是利用光
3、波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。为光波波长，白光的平均波长为0.58m,为干涉带弯曲量，为干涉带间距。用4块规格分别是15.87、15.75、15.
4、62 、15.50的平行平晶一次进行比较。,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,将千分尺先归零，第一个受检点是5.12mm,公差是0.02,Micrometer Calibration Working Instruction,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,第二个受检点是10.24mm,公差是0.02,Micrometer Calibration Working I
5、nstruction,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,第三个受检点是15.36mm,公差是0.02,Micrometer Calibration Working Instruction,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,第四个受检点是21.50mm,公差是0.02,Micrometer Calibration Working Instruction,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,第五个受检点是25.00mm,公差是0.02,Micrometer Calibration Working Instruction,文件标号(Document No.): SHCH1105 文件版本(Document Rev): 00 日期(Date): Aug-12- 2011,
