1、湖南华磊光电有限责任公司文件编号 版本 页次 3文件名称 FQC 外观检验标准 生效日期核准: 审核: 制表:一、适用范围:本标准适用于所有华磊 chip 外观检验。二、设备与资材:低高倍显微镜三、检验标准:1.不良项目a.保护层脱落(不超过面积的 1/5) ) b.残金(不超过 PAD 面积 1/5)c. 掉电极 d.表面划伤e.ICP 异常 f.表面污染 1湖南华磊光电有限责任公司文件编号 版本 页次 3文件名称 FQC 外观检验标准 生效日期核准: 审核: 制表:g. 电极污染 (不得有任何污染) h.表面异物(非 PAD 区域粘有异物面积不得超过电极 1/5)i. 光刻胶残留 j.IT
2、O 蚀刻过头k. ITO 未蚀刻干净 l.外延缺陷 1l.外延缺陷 2 m.针痕不良(针痕不得超过面积的 1/5)湖南华磊光电有限责任公司文件编号 版本 页次 3文件名称 FQC 外观检验标准 生效日期核准: 审核: 制表:n.切割不良(四周毛边处最宽 o.排列不良(旋转角度不超过 15)不超过电极直径的 1/3) p.切割不良(不可以切到电极) q.排列不良(上下偏移不得超过电极的 1/2,左右偏移不得超过标准间隔的 1/3)r. .MESA 破损(不得连接 N-PAD 区域) s.其他(PAD 划伤不得与 MESA 连接)2.不良类别a.一般不良保护层脱落、表面划伤、ICP 异常、表面污染
3、、电极污染、表面异物、光刻胶残留、ITO 蚀刻过头、ITO 未蚀刻干净、外延缺陷、针痕不良大于电极面积 1/5、排列不良、MESA 破损、空洞率超过 10 颗。b.严重不良残金、掉电极、切割不良、PAD 划伤与 MESA 连接.3.判定标准a. 方片标准(5000ea/张) (代工或生产片)湖南华磊光电有限责任公司文件编号 版本 页次 3文件名称 FQC 外观检验标准 生效日期核准: 审核: 制表:严重不良超过 2 颗(0.5)但小于 100 颗(2%) ,退至生产部处理;并填写品质异常报告单 。一般不良超过 10 颗(2)但小于 100 颗(2%) ,退至生产部处理,并填写品质异常报告单 。
4、一般不良或严重不良超过 100 颗的即降级为次级品,并贴上相应标贴以作标识。b.大圆片标准A 级品不良超过 0.1%,但小于 5%,则退至生产部处理,并填写 品质异常报告单 ,如不良超过 5%,则降级为 B 级品,并贴上相应标贴以作标识。B 级品不良超过 0.5%,但小于 10%,则退至生产部处理,并填写品质异常报告单 ,如不良超过 10%,则降级为特品处理;各 具体 尺寸 不良 颗数 如下:3.抽测比例代工片十抽一、生产片五抽一,如果有外观不良则需以代工片十抽一、生产片五抽一加抽,如果仍有不良,则整批退至生产部处理, 并开出品质异常报告单 。三 、相关表单FQC 日报表 、 品质异常报告单 、 退生产表格附:红色标贴代表:电极颜色蓝色标贴代表:电极刮伤黄色标贴代表:芯粒污染尺寸 A 级品不良数 ea (0.1%-5%) B 级品不良数ea(0.5%-10%)7x9mil 50ea-2000ea 250-50008x10mil 30ea-1500ea 150-30009x11mil 20ea-1000ea 150-300012x13mil(大圆片) 15ea-700ea 100-1500湖南华磊光电有限责任公司文件编号 版本 页次 3文件名称 FQC 外观检验标准 生效日期核准: 审核: 制表:绿色标贴代表:切割不良