1、空气洁净度等级表空气洁净度 (N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(个/立方米)0.1um 0.2um 0.3um 0.4um 1um 5um1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4 10000 2370 1020 352 83 5 10000 23700 10200 3520 832 296 100000 237000 102000 35200 8320 2937 352000 83200 29308 3520000 832000 293009 35200000 8320000 293000备注:国际通用说法为 19级,但通俗说法常以 0.1UM
2、悬浮粒子数为标准而称为十级,百级等.洁净厂房的布置应符合下列要求:1 洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置;2 洁净厂房的平面和空间设计,应满足生产工艺各空气洁净度的要求,洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房要分区布置.同时应考虑生产操作、工艺设备安装与维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调.3 人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、存外衣、更洁净工作服等房间.外衣与洁净服分别存放,外衣存放衣柜按人数每人一位,洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净衣柜内.上图为人员净化程序程,洁净室面积按 24平方/人设计,洁净
3、工作服的空气洁净度等级宜按低于相邻洁净区空气洁净等级度的 12级设置.(洁净工作服)洗涤室的空气洁净度等级不宜低于 8级.4 洁净室内噪声级(静态),非单向流洁净室不应大于 60DB,单向流、混合流洁净室不应大于 65DB.5 洁净空调系统,根据室内容许噪声级要求,风管内风速宜按下列规定应用.总风管为 610M/S,无送、回风口的支风管风速为 4-6M/S,有送、回风口的支风管为 25M/S.6 洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启,并加闭门器.7 洁净厂房外墙门宽度不小于 750MM、高度不小于 1800MM.8 洁净室踢脚不应突出墙面.9 洁净室地面应平整,耐磨、
4、易清洁、不易聚积静电,避免眩光、便于除尘,并应减少凹凸面.10 当洁净区(室)和人员净化用室设置外窗时,需采用双层玻璃固定窗,并有良好的气密性.靠洁净室室内一侧窗不宜设窗台,洁净室窗宜与内墙面齐平.11 洁净室内的紧闭门应朝洁净度较高的房间开启,并加闭门器,无窗洁净室的密闭门要设观察窗.12 洁净室的温、湿度要求如下:房间性质 温度(摄氏度) 湿度(%)冬季 夏季 冬季 夏季生产工艺有温湿度要求 按生产工艺要求确定生产工艺无温湿度要求的 2022 2426 3050 5070人员净化及生活用室 1620 2630 13 洁净室内洁净新鲜空气量应取下列二项中的最大值:补偿室内排风量和保持室内正压
5、值所需新鲜空气之和.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气不小于 40立方.14 洁净室与周围的空间必须维持一定的压差.不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差,应不小于 5PA,洁净区与室外的压差应不小于 10PA. 15 送风、回风和排风系统的启闭应联锁.正压洁净室联锁程序为先启动送风机,再启回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反.16 洁净室送风量,应取下列三项中的最大值:为保证空气洁净度等级的送风量,根据热、湿负荷计算确定的送风量,向洁净室风供给的新鲜空气量.空气洁净度等级 气流流型 平均风速(M/S) 换气次数(次/小时)14 单向流 0.30.5 5 单向流 0.20.5 6 非
6、单向流 50607 非单向流 152589 非单向流 1015室内人员少、热源少时,宜采用下限值,换气次数适用于层高小于 4.0米的洁净室.17 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台.18 需排风的工艺设备宜布置在洁净室的下风侧.19 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备,尖设局部排风装置.20 空气洁净度高于 6级的洁净室内不应设地漏.21 洁净厂房应设备用照明,无采光窗洁净工作面的照度值,不低于下表规定的数值:识别对象的最小尺寸 d(mm)及场所 视觉工作分类 亮度对比 照度(LX)等级 混合照明 一般照明d0.15 甲乙 大小 25001500 5003000.15d0.3 甲乙 大小 1000750 3002000.3d0.6 甲乙 大小 750750 200200d0.6 750 200通道、休息室 100暗房工作室 30一般照明最低照度值是指距墙面 1M,距地面为 0.75M假定工作面上最低照度.22 洁净厂房应设置空调系统等的自动控制系统.净化空调系统电加热器,应设置无风、超温断电保护.若采用电加湿器时应设置无水保护.洁净室的空调净化系统要采取防静电接地措施.
