1、单晶硅及多晶硅测试仪一、单晶硅及多晶硅电阻率测试必要性为 适 应 大 规 模 集 成 电 路 的 迅 猛 发 展 ， 特 别 是 计 算 机 芯 片 、 内 存的 发 展 ， 越 来 越 多 的 使 用 到 了 大 直 径 、 高 纯 度 、 均 匀 度 更 高 的 单 晶硅 材 料 。 目 前 ， 在 美 国 、 德 国 等 先 进 的 工 业 国 家 ， 均 采 用 了 二 探 针法 ， 使 用 二 探 针 检 测 仪 来 测 量 大 直 径 单 晶 硅 的 电 阻 率 分 布 情 况 。本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶 硅 的 电 阻 率 分 布 情 况 ，以 便 硅 材 料 的
2、切 割 和 加 工 。二、仪 器 的 基 本 特 征符 合 美 国 ASTM “F391-77”关 于 二 探 针 测 量 硅 单 晶 试 验 方法 的 标 准 ， 是 一 种 新 型 的 半 导 体 电 阻 率 测 试 仪 ， 适 合 半 导 体 材料 厂 和 器 件 厂 用 于 二 探 针 法 精 确 测 量 单 晶 硅 和 多 晶 硅 半 导 体 棒 状材 料 的 体 电 阻 率 ， 从 而 进 一 步 判 断 半 导 体 材 料 的 性 能 ， 指 导 和 监视 工 艺 操 作 ， 也 可 以 用 来 测 量 金 属 材 料 的 电 阻 ， 仪 器 具 有 测 量 精度 高 、 稳 定
3、 性 好 、 结 构 紧 凑 、 使 用 方 便 、 造 型 美 观 等 特 点 。 也 可以 配 四 探 针 测 试 头 作 常 规 的 四 探 针 法 测 量 硅 晶 体 材 料 。仪 器 分 为 仪 表 电 气 控 制 箱 、 测 试 台 、 探 头 三 部 分 ， 仪 表 电 气控 制 箱 由 高 灵 敏 度 直 流 数 字 电 压 表 、 高 抗 干 扰 高 隔 离 性 能 的 电 源变 换 装 置 、 高 稳 定 高 精 度 恒 流 源 和 电 气 控 制 部 分 组 成 。 测 量 结 果由 大 型 LED 数 字 显 示 ， 零 位 稳 定 、 输 入 阻 抗 高 ， 并 设
4、有 自 校 功 能 。在 棒 状 材 料 使 用 二 探 针 法 测 试 时 ， 具 有 系 数 修 正 功 能 ， 从 面 板 输入 相 应 的 修 正 系 数 ， 可 以 直 接 读 出 电 阻 率 ， 使 用 方 便 。 测 试 台 结构 新 颖 ， 造 型 美 观 ， 可 以 方 便 地 固 定 好 大 小 任 意 尺 寸 的 样 品 ， 并可 以 作 逐 点 选 择 步 进 测 量 ， 也 可 以 自 由 选 择 固 定 位 置 测 量 ， 电 极活 动 自 如 ， 具 备 锁 定 装 置 ， 方 便 重 复 测 量 。 另 外 还 配 置 了 二 处 记录 板 和 转 椅 ， 测
5、试 探 头 能 自 动 升 降 ， 探 针 为 碳 化 钨 材 料 ， 配 置 宝石 轴 承 ， 具 有 测 量 精 度 高 、 游 移 率 小 、 耐 磨 、 使 用 寿 命 长 特 点 。同 时 探 头 压 力 恒 定 并 且 可 调 整 ， 以 适 合 不 同 的 材 料 。三、 仪 器 主 要 技 术 指 标 ：1.可 测 硅 材 料 尺 寸 ：直 径 25 150mm 满 足 ASTM F-397 的 技 术 要 求 。长 度 ： 1001100mm.2.测 量 方 式 ： 轴 向 测 量 ， 每 隔 10mm 测 量 一 点 。3.测 量 电 阻 率 范 围 ： 10-3103 -
6、cm,可 扩 展 到 105 -cm。4.数 字 电 压 表 ：（ 1） 量 程 ： 0.2mV、 2mV、 20mV、 200mV、 2V（ 2） 测 量 误 差 ： 0.3%读 数 2 字（ 3） 输 入 阻 抗 ： 0.2mV 和 2mV 档 10620mV 档 及 以 上 108（ 4） 显 示 ： 31/2位 LED 数 字 显 示 ， 范 围 01999。5.恒 流 源 ：（ 1） 电 流 输 出 ： 直 流 电 流 0100mA 连 续 可 调 。（ 2） 量 程 ： 10 A、 100 A、 1mA、 10mA、 100mA（ 3） 电 流 误 差 ： 0.3%读 数 2 字6
7、.二 探 针 测 试 装 置 ：（ 1） 探 针 间 距 ： 4.77mm（ 2） 探 针 机 械 游 移 率 ： 0.3%（ 3） 探 针 压 力 ： 02kg 可 调（ 4） 测 试 探 头 自 动 升 降7.二 探 针 测 试 台（ 1） 测 试 硅 单 长 度 ： 100-1100mm（ 2） 测 试 点 间 距 ： 10mm（ 3） 测 试 台 有 慢 、 快 二 种 移 动 速 度 ， 快 速 移 动 速 度 为1000mm/分 （ 均 匀 手 动 ）8.电 源 ： 交 流 220V10%， 50HZ2HZ， 消 耗 功 率 150W四、业绩国内外基本都是该公司的产品，产品出口国外，国内研究所均采购该产品。五、报价该公司专业研究、开发和生产各种高精度宽量程电阻测量仪、电阻率测量仪，特别是超低电阻测量在国内长期处于领先地位。产品已经开发、使用十多年，技术及质量过硬，所以报价比较高，。六、代理商我公司作为代理商，负责该产品的推广及运用，联系人：陈平 电话 13981882499 传真：028-85555085。攀枝花攀西蓝星化学清洗有限公司成都分公司二一二年三月七日
