1、静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 1一、目的：1.1、减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率。1.2、通过建立有效的高质量的管理稽核程序，来保证各项防静电措施的有效执行。二、范围：2.1、适用于涉及静电敏感器件、组件或产品的生产、加工、测试、内部周转、包装、存储各环节。2.2、适用于公司及其厂商的生产制造体系的静电防护工程的设计、使用、维护、检查、管理工作。三、特殊定义本文件所用到的静电方面的术语和定义参照ESD ADV1.0-1994 四、职责4.1、生产现场防静电设计及验收：由工艺部门负责生产现场的防静电设计，由供应链管理部组织相关人员验收；4.2、防静
2、电工具、用品及测试仪器：工艺部门负责防静电工具、用品及测试仪器的认证、实施、维护并完成 ESD 仪器作业指导书的编写；4.3、防静电周转工具：由工艺部门负责认证、维护；4.4、防静电测试：由工艺部门组织定期的 ESD 稽核测试（台垫测试、地板测试、周转箱测试、包材测试等） ；4.5、防静电包材质量控制：原材料来料包材的防静电规格及生产用防静电包装材料的防静电性能指标由事业部提出；新型防静电包装材料的使用必须经过工艺部门的认证。 五、规范内容5.1、ESD 敏感分类5.1.1、静电敏感等级的划分技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括
3、：ESD电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻等的过电流引起。电压敏感器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM）,其中常见的模型为人体模型(HBM)。5.1.2、静电敏感电压的分类静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式进行分类，一般来说，器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必要的联系。静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 2没有特殊
4、说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。静电敏感组件的等级按照其上所装的最敏感器件的敏感等级来确定。最初器件的ESD损伤主要采用了HBM进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，MM和CDM类型的静电放电对器件的危害也越来越普遍，因此采用MM、CDM模式进行分析的方法也逐渐发展起来。5.1.2.1、HBM模式的静电敏感等级分类静电敏感器件等级普遍采用人体模式（人体带电与器件接触）进行划分，所有的静电敏感器件、组件按照人体模式静电放电损伤的阈值被划分为以下等级： 等级 电压范围0 级 250V1A 级 250V500V(不含 500V)1B 级 500V1000V(不含
5、1000V)1C 级 1000V2000V(不含 2000V)2 级 2000V4000V(不含 4000V)3A 级 4000V8000V(不含 8000V)3B 级 8000V16000V(不含 16000V)非静电敏感器件 16000V5.1.2.2、MM模式静电敏感等级的划分器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器件接触放电） ，静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为下列等级：等级 电压范围M1 级 100VM2 级 100V200V(不含 200V)M3 级 200V400V(不含 400V)M4 级 400V5.1.2.3、C
6、DM 模式静电敏感等级的划分静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 3静电敏感器件等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为下列等级：5.2、静电防护区（EPA）的设施要求在通常的电子设备生产、组装和维护现场，各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象，这些静电产生材料和由其所产生的电场都有可能导致静电敏感器件的损伤。因此，在静电敏感器件的整个使用过程中都要对其进行防护。在静电敏感器件的存储和转运过程中，具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护，但是，对于静电敏感器件也还存在着一个屏蔽容器外的操作，在这
7、种情况下，静电敏感器件非常容易受到损伤，因此必须提供一个安全的工作区域。防静电工作区（EPA）正是为此设计的。为了确保防静电工作区的防静电安全，它必须满足下列要求: 防静电区域内的所有电子元器件都被视为静电敏感器件对待； 对于任何在保护状态之外（处于法拉第笼之外）的静电敏感器件的操作，都必须在防静电工作区内进行； 在防静电工作区之间的非防静电区域内传递的静电敏感器件必须处于安全的保护状态； 防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触仪器、设备的金属外壳； 防静电工作区内禁止放置个人工作不必须的静电产生材料，如未作防静电处理的塑料袋、盒子、泡沫、笔记本、纸片、个人用品等物品，这些物品必须距离
8、敏感器件30厘米以上； 所有在工作台上使用的清洁剂，溶剂，涂覆材料、气雾剂等辅助材料的使用都必须通过静电控制负责人的批准；5.2.1 EPA区域的划分防静电区域的划分应以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要有可能出现静电敏感物品就应定义为防静电区，否则定义为非防静电区。目前我司的防静电区定义为生产车间、IQC、电子材料仓库、HP83000。等级 电压范围C1 125VC2 125V250V(不含 250V)C3 250V500V(不含 500V)C4 500V1000V(不含 1000V)C5 1000V1500V(不含 1500V)C6 1500V2000V(不含 2000V)C7
9、2000V静电控制管理总规范 A1 版 Page of 19 45.2.2、EPA(静电防护区)的基本环境要求在进行EPA环境设计时，为达到静电防护的基本要求应遵循以下原则： 抑制静电荷的积累和静电压的产生； 安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷； 确定静电防护应达到的程度，一般要求EPA内静电压的绝对值应小于100V。因此EPA必须具有如下的基本环境要求： 明确的区域界线和防静电警示标志 防静电接地系统 防静电工作台 防静电的设备、工具和包装转运材料，在EPA内禁止使用易产生静电荷的材料同时，需要考虑如下周边环境的防静电性能：墙壁面料使用抗静电型的墙纸，一般情况下允许使用石膏板制品，禁止使用
10、普通塑料制品。工作区使用的门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成，表面电阻小于1*10 11,禁止使用普通材料和化纤材料。5.2.3、EPA（静电防护区）温湿度控制防静电工作区必须进行温湿度控制，湿度控制是静电防护的一项关键措施。我司EPA的温湿度要求：EPA区域的温湿度控制要求：温度：1828，湿度：3070产品、物料对环境有特殊要求时，应根据物料的特殊需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施；EPA区内应配置温湿度计，并在每班次上班前做一次记录。当相对湿度超出规定范围时，必须通知工艺人员协调动力维护，并采取相应的增湿或抽湿措施。5.2.4、防静电标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工
11、具、仪器设备的接地等都应具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作，警示任何接触静电敏感器件的操作人员，对该器件的操作必须进行静电防护。 可接受的防静电警示标识为黄底黑字的说明并注有符合标准EOS/ESD S8.1-1993或EIA471所要求的防静电符号； 警示标识所在位置及其大小应保证至少在距工作区1米时能够清晰可见； 防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系统应有明显的接地标识说明。静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 55.2.5、防静电地板EPA区的地板必须采用静电耗散型材料制成，具有减少摩
12、擦起电和利于静电电荷泄放的性能。EPA内的地板是人体静电释放的主要通道。禁止在防静电区域内直接使用易于产生静电的材料，如木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯、塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂地板等。允许使用经过特殊处理的水磨石地面和混凝土地面，如事先铺设地网、渗碳或掺杂其它导电杂质等。已有的普通地板如果采用地面抛光防静电地板蜡，该地板只具有减少摩擦起电的性能，不具有防静电的接地释放功能，因此该种方法只能是一种临时措施，当环境发生变更，有必要重新设计成防静电地板。当采用地下布线时，可铺设防静电活动地板。在有些特别的情况下，也可以铺设防静电地板垫。在普通地板上铺设防静电活动地板或防静电地垫
13、后，都必须保证每块之间实现电连接，且使地板、台垫有效接地（软接地，串接1M电阻）防静电地板两点间的电阻为110 5110 9，任何一点与地之间的系统电阻为1105110 9。防静电地板的使用与管理应按下列方式进行： 防静电地板的表面电阻和接地电阻每半年至少要测量一次，并记录、保存测量结果； 在工作地面上使用防静电地垫时，每半年至少要检查1次地垫的接地状况，并测试表面电阻和接地电阻，记录、保存测试结果； 采用抛光防静电地板蜡的地面，至少3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录、保存测试结果； 当地板和地垫上附有绝缘性的油膜、树脂和橡胶时，应及时清除。地垫清洗时必须使用中性洗涤剂和防静电剂； 禁止
14、在防静电地板上使用绝缘性的地板蜡。5.2.6、防静电工作台防静电工作台表面应有静电耗散型材料制成。防静电表面应耐磨、耐化学腐蚀、耐热并可靠接地（软接地，串接1M电阻）。如果因为某些原因（如耐化学腐蚀）而必须使用导体表面（如钢板、不锈钢等），那么导体桌面必须直接连到防静电接地点，而不能串接电阻，这主要是为了防止导体表面上带有对人体有危害的电压。我司的防静电工作台主要采用在工作台上铺设防静电台垫，防静电台垫必须满足下列要求： 防静电台垫的尺寸应不小于工作台的尺寸； 防静电台垫必须防静电面朝上（绿色、或灰色），导电面朝下（黑色）； 防静电工作台垫必须串联一个1M电阻的电阻后接到防静电接地线上；静电控
15、制管理总规范 A 版 Page of 19 6 每个工作台只需接一条防静电地线，各个工作台的连接线不能串接，应以并联方式与接地母线连接； 压接防静电台垫的静电接地线连接端子时，应从台垫的正面压下，使其贯穿台垫并压紧，以保证接触良好； 防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为110 6110 9，防静电台垫任一点到防静电接地线的系统电阻为0.7510 6110 9； 当防静电台垫上有绝缘性油膜、树脂和其它污物时，应及时使用中性清洗剂或防静电剂进行清洁。5.2.7、工作椅EPA内的操作者所坐的工作椅应由防静电材料制成，具有防静电功能。防静电工作椅上任一点和人体接触的地方（椅垫、靠背、扶手）到工作椅任一
16、个接地脚（脚轮）的电阻应该满足110 5110 9（不依赖于湿度），工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泄放到100V以下的时间小于2秒钟。采取拖链方式对工作椅接地的方法在接地电阻上效果非常差，除非工作椅在移动过程中，否则接地效果不好。在清洁的导体地板上，效果会好一些。但是在通常的制造区域，接地链、橡胶导电脚轮上由于灰尘的原因容易失效。因此，导电脚轮需要定期清洁。在评估选择工作椅时，需要考虑工作椅对人体的安全性能，还需要从人体功效学角度考虑舒适性。5.2.8、设备、仪器、工装、工具防静电工作区内的各种设备、仪器、工装、工具都应采取静电防护措施，例如接触或靠近静电敏感器件的部分应尽可
17、能的使用防静电材料（耗散型材料），对于在特殊情况下不得不采用绝缘材料时，应采用静电中和（加离子风机）或定期涂抹抗静电剂等其它措施，有效的消除、抑制或泄放静电。为保证放静电效果、消除对人体及敏感器件的危害，应采取下列措施使用高压电源具有金属外壳的的设备、仪器、工装、工具，必须选用三芯电源插座，并确保其已可靠连接到电源地线上。插头插入插座时，其接地端要首先接地；插头拔出插座时，其接地端要最后断开。防静电工作区的各种仪器、设备、工具、工装的防静电接地，由设备工程师定期检测、维护，每班开工前，由员工目检接地的可靠性。工装、设备上接触敏感器件和靠近敏感器件的运动摩擦部件必须采用防静电材料或导体材料（导体
18、材料需钝化处理）制成，并保证这些部件具有可靠的接地通路，这些部件禁止使用非 防静电材料，设备上的导体部件必须采取硬接地。工具、辅材的应用注意事项： EPA区域内使用的工具都应具有防静电功能；静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 7 防静电烙铁头必须有硬接地通路，烙铁头的硬接地电阻要求小于1，由于烙铁头长期使用会氧化，日常检查测试时的电阻小于20可接受； 防静电烙铁、吸锡枪等电动、气动手工工具在使用前必须首先接地； 清洁单板的毛刷必须为防静电毛刷，禁止使用普通塑料毛刷（如牙刷）； 工具上接触静电敏感器件的部分应避免使用导体或绝缘材料，应为静电耗散材料。5.2.9、人员人体的运动和操作
19、过程是产生静电的主要根源，任何进入防静电区域（我司为黄线区域）或直接接触ESD敏感器件的人员，必须严格遵守防静电规范，贯彻执行静电防护措施。人员的防静电要求：接受防静电知识培训和教育是对每个员工的基本要求，是减少静电危害的根本方法和途径之一。EPA区内的员工必须经过ESD培训并考核合格后方可上岗。任何人进入EPA区需穿戴防静电工衣、工鞋、工帽并通过人体综合电阻测试。工作服外严禁佩戴除工卡和笔之外的金属器件和塑胶制品，员工不得把个人物品如衣物、食品、香烟、各类塑料和纸类制品带入EPA区。更换工作服应在指定地点进行，不允许在生产现场穿、脱工作服。防静电工作服、鞋应勤洗、勤换，建议至少每两周换洗一次
20、，工衣、工帽、工鞋不应有破损、污秽现象。进入防静电区域的所有作业人员、接触产品的其它人员。每天上班前应使用腕带监控仪对所配发的防静电腕带进行测试，并做好测试记录；每天上班前应使用人体综合电阻测试仪对工鞋进行测试，并做好记录。腕带测试、人体综合电阻测试不通过者不得进入防静电工作区，不得接触ESD敏感器件及组件。腕带不通过者可通过更换腕带重新测试，人体综合电阻测试不通过者首先要确保工鞋没有垫鞋垫，然后更换静电鞋重测。若再测仍通不过，找ESD主管部门解决。外来参观人员原则上只沿通道走，不得接触产品，若进入EPA区必须经过人体综合电阻测试，若接触产品还要通过腕带测试。员工每日上班时必须根据员工每日自检
21、项目进行自检（参照5.6.1）。 防静电工衣、工鞋、腕带等着装的检测指标参照防静电检测管理规范。5.2.10、接地接地是静电释放的关键措施，EPA区必须有可靠的防静电接地系统，以保证工作中产生的电荷安全有效的释放，避免静电积累。防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线（防静电地线），所有人体、设备、工作台、台垫、工具等以并联方式接入防静电母线。5.2.10.1、防静电地线的设置防静电地线专供防静电工程器具和人体释放静电荷使用，它不得连接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。防静电地线有两种铺设方法：静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 8方法一：从专门埋设的地线接地体引出的接地线
22、，单独铺设到生产线的防静电作业岗位，单独铺设的接地导线通常使用3MM厚、约25MM宽的紫铜皮或用截面大约为46mm 2的铜芯软线单独引入。方法二：采用三相五线制供电系统中的电气保护地作为防静电地线，引入电源零线的同时，单独引出大地地线作为防静电地线，工程上称为“一点引出电阻隔离”，电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩与大地连接，电气保护线到大地的保护接地电阻应小于4。我司根据ESD S6.1采用方法二，即电气保护地作为防静电地线。埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数越小越好，接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。埋设地线时需注意：接地线与接地体接头要焊接牢固，要有足够的机
23、械强度，引线不要过长；要采用耐腐蚀的接地体金属。电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检验维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求室内电气保护地线到大地的接地电阻小于4。5.2.10.2、EPA内接地方法EPA区域内的所有设备、仪器、AC工具必须可靠接地；人体腕带、防静电台垫、防静电地垫需要串接1M电阻后连接到地线配置系统上。防静电设施的接地，需要使用横截面面积不小于2mm 2的多股铜芯软线或电缆作为接地线，要求接地线采用黄绿色线，接地点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式， 保证连结点连接可靠、接触电阻小。5.3、防静电包装材料静电敏感器件、组件、成品在生产制造、存放
24、和运输中所使用的包装材料必须是防静电的，其防静电性能指标应满足：表面电阻：110 4R S 11011体电阻： 110 4R V 11011摩擦电压：V f100V,或在2秒内下降到100V以下屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于100V防静电包材必须符合以下一般要求： 用于ESD防护的包装袋、包装盒、隔板应在明显的位置标有厂商名称、生产日期和ESD防护标识，防静电海绵、气珠袋类可无此标识； 防静电塑料袋、泡沫、海绵、气珠袋等的材料颜色应采用防静电通用的警示颜色,即粉红色； 用于包装ESD敏感器件、单板、产品的防静电包材在温度为255、湿度为155的环境下，应满足防静电性能指标要求，并且该材料进入公司后
25、，防静电性能指标要至少保持1年；静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 9 用于ESD防护的包材不能靠表面喷涂、浸泡防静电液来实现防静电功能，而要通过材料本身具有的物理特性或塑料材料通过掺杂导电材料的制作方式来实现该功能； 防静电包材的防静电性能指标要均匀； 用于ESD防护的包材不能有异味，不能对器件有腐蚀作用。防静电包装材料的防静电性能必须经过检测合格后才能投入使用，新式包装材料必须经过设计、工艺部门的评审，经过防静电的性能认证测试合格后，才能采购。采购来料须经公司IQC的接收测试合格才能接收；进入公司的ESD包装材料应进行不定期的稽核抽测，以保证其防静电性能的可靠。5.4、周转工
26、具用于EPA内、EPA间的防静电周转工具其性能指标必须满足：表面电阻：110 3R S 1109体电阻：110 3R V 1109摩擦电压：V f100V,或在2秒内下降到100V以下常用的周转工具有：防静电周转车、防静电周转盒、防静电成型泡沫盒。防静电周转盒一般为黑色或深色，成型泡沫盒一般为粉红色。防静电周转工具要贴有醒目的防静电标识。作业人员对生产使用的防静电容器、防静电周转箱应定期清洁，保持容器和周转箱的清洁和整齐，表面不得有灰尘或其它明显可见的脏物。组长每月组织对防静电桌垫、工具和容器等用酒精进行清洗，保持物件的清洁和整齐。5.5、存储5.5.1、存储环境防静电敏感器件的一般存储条件为
27、温度：1828湿度：3070当存储区域的温湿度不能满足要求时，可通过使用空调、增湿机、抽湿机来调节，直至满足要求为止。对环境有特殊要求的器件或物品（如潮湿敏感器件），请参照相应的作业指导书来设定环境温湿度。静电敏感器件存储区域不得有强电场、强磁场、强辐射场存在。5.5.2、存储器具存储静电敏感器件及组件必须采用防静电的包装材料或器具，并保证存储的封闭性。可用于直接存储静电敏感器件及组件的器具有：防静电屏蔽袋、IC管、防静电托盘、卷盘卷带、吸塑盒、防静电周转箱、单板周转车等。5.5.3、存储操作要求静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 10静电敏感器件及其组件不得直接放于货架或不具有
28、防静电功能的周转箱内或周转车上，应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等存放。静电敏感的单板及组件主要采用屏蔽袋、吸塑盒、防静电周转箱、单板周转车等存放，当采用防静电周转箱（盒）、单板周转车较长时间存放单板时，应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住箱口，以保证其防静电效果并除尘。静电敏感器件尽量保持原包装状态，严禁随意拆封。用于静电敏感器件的散装清点、分料、发料的工作台必须铺设防静电台垫、并可靠接地，人员操作时必须带手套、指套或防静电腕带。5.6、日常检查和测试要求主管和区域ESD接口人是ESD日常检查的责任主体，区域ESD接口人应每周至少检查一次员工ESD要求执行状况及防静电设施
29、的有效性。5.6.1、员工每日自检项目 穿戴上您工作中必须的着装（防静电工衣、工鞋、腕带、指套、手套） ，使用防静电责任人指定的检验方法测试您的腕带、工鞋； 观察您工作区的接地线（腕带、桌垫、设备）是否连接好、是否有串接现象或有破坏的地方，如果设备、桌子被挪动过，必须引起警觉； 检查您的工作场地，确保没有产生静电的绝缘体（如塑料、地毯）或产生静电的工具（如牙刷） ； 从您的工作区内清除静电产生源，使这些物品离工作区至少 0.5 米； 如果您使用一台离子风机，打开机器，并使它对准需要消除静电的区域； 确保产生静电的物品与静电敏感元件不同时处于同一防静电容器内； 确保 ESD 敏感的元件、组件、成
30、品安全地放于防静电容器内； 确保所有防静电容器表面都正确地贴有防静电标签； 在您的工作区内所使用的所有清洁剂、溶剂、涂剂、喷雾剂都必须经过区域 ESD 责任人的批准； 不要让那些没有采取防静电措施的人员离您的 ESD 敏感区域小于 1 米的距离，并告知他们在接触任何物品时必须遵守接地和着装要求。5.6.2、ESD稽核为保证ESD控制体系能够有效的贯彻执行，公司的ESD主管部门每月都应组织一次ESD稽核，每年对公司ESD体系做系统检查。稽核项目参照ESD月度稽核CHECK LIST、ESD年度稽核CHECK LIST。为形成闭环管理，稽核结束后，ESD问题的责任人要对稽核发现的问题给出解决对策，
31、并明确对策完成日期。在下次稽核时要对上次发现的问题进行复查。5.7、培训、考核未经ESD培训的人员不知道静电产生的机理及控制措施，也不知道敏感器件的正确操作方法。因此有必要对接触ESD敏感器件的人员进行培训。新工具、新材料的采用都需对员工进行培训，使其掌握正确的操作方法，防止器件、人员伤害事故的发生。静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 11为确认ESD培训的效果，参与ESD培训的员工需要进行静电知识的考核。为了促进员工ESD知识的不断提高，需不断对员工进行培训、考核，再培训、再考核。只有经过ESD培训并经考核通过的人员才能上岗。六、相关文件防静电检验管理规范七、质量记录7.1、温
32、湿度记录 7.2、ESD月度稽核CHECK LIST 7.3、ESD年度稽核CHECK LIST 八、附件8.1、温湿度记录 8.2、ESD月度稽核CHECK LIST 8.3、ESD年度稽核CHECK LIST 静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 12地点质量记录工作环境温度、湿度检查记录表 页码温度 湿度 判定 责任人 检测日 期 检测时 间 温度 湿度 判定 责任 人 检测日 期 检测时 间备注：1、每班指派专人于上班 15 分钟后检查登记，地点包括生产车间、来料仓、成品仓。2、环境温度控制在 1828，湿度控制在 30%70%。3、判定合格时用“”表示，不合格时用“”表示
33、。4、如温度/湿度超出控制范围，则按照生产质量问题处理流程进行处理。静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 13地点质量记录 ESD 月度稽核 CHECK LIST日期检查内容 检查结果类别检查要点 是 否 未 涉及问题现象描述1.1 防静电区域有明显定义和明显的符合规范的防静电警示标识（地标定置并贴挂警示标识） 。1.2 防静电区域配备有温湿度计。并在每个工作日都对温湿度做了记录1.3 温湿度异常时采取了应急处理措施并记录，同时上报部门主管和公司 ESD 负责人1.4 ESD 保护区内配备有腕带测试仪和人体综合电阻测试仪，仪器处于正常状态1.环境1.5 防静电工作台、人体腕带可靠接
34、地（公共接地点、在线监控仪）2.1 ESSD 及组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（工装、夹具、线体、SMT 设备、电烙铁等）都进行了可靠接地。硬接地电阻小于 1，软接地电阻7.5*10 51*10 92.2 接地端口都做了明显的符合规范的接地标识2.3 装备和工装上接触 ESSD 的部分和靠近ESSD 的运动部件是由防静电材料制成并保证可靠接地。非防静电部分采用了防静电处理措施，如加离子风机、涂防静电液2.4 生产设备上的关键部件如传动带、传送链、导轮、等是否由防静电材料制成并有有效的接地通路2.5 所用单相电源为三芯线、三芯插头2.6 测试系统、设备、工作台没有防静电串接现象2.设备、仪
35、器、工具、工装2.73.1 防静电区域的工作人员都通过了 ESD 知识培训与考核3.2 防静电区域的工作人员都正确佩戴防静电工作服、鞋帽3.3 防静电工作区的临时工作人员穿戴了防静电工作服、鞋帽3.人员3.4 工作服外没有携带除工卡以外的金属物件、塑胶物件静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 143.5 在作业场所没有穿、脱工作服和工鞋的现象3.6 员工没有把个人物品如个人衣物、食品、香烟、各种塑料和纸类制品带入静电保护区3.7 作业员每天都按要求进行了防静电腕带测试和人体综合电阻测试，并做了真实记录。测试不合格的有纠正措施记录3.8 接触静电敏感元器件及组件时采用了正确的静电防护
36、措施，如戴防静电腕带、防静电手套或指套。腕带可靠接地3.9 是否每月不定期对现场检查并抽测工作员工的腕带佩戴正确，无腕带松动现象，并可靠接地3.10 防静电个人用品如工衣、工鞋、腕带、手套等的领用、报废等详细的管理记录4.1 静电保护区内的地板、工作台、工作椅、周转车、周转箱、器件容器和包装材料都是防静电的4.2 工作台的接地系统可靠接地并有明显的接地标识。接地电阻为7.5*10 51*10 94.3 防静电设施、器材、周转工具都有清晰易见的防静电标识4.4 周转车底部金属架焊有接地链并能自然下垂，并定期清洗保证可靠接地4防静电设施、器材4.5 离子风机是否正确使用（离子风机作业对象距风机正前
37、方 30cm100cm）5.1 非防静电材料（如普通塑料袋、普通泡沫类材料、白色气泡袋、普通塑料制品等）都从防静电区域清除或指定位置管理5.2 ESD 保护区中不可清除的静电产生品（如装配中应用的易产生静电的塑胶件、器件、显示器等） ，必须采取防静电措施，如此用防静电液、离子风机、保证 ESD 敏感器件距离静电源 30cm 以上5.3 静电敏感器件与非静电敏感器件进行了隔离放置5.4 放置在 ESD 保护区工作台以外的静电敏感器件采取了防静电保护措施（用防静电容器和包装材料包装）5.5 静电敏感器件的包装都有明显的 ESD 标识5.物料5.6 静电敏感器件及组件的配料、发料、周转、存储都存放在
38、 ESD 容器（包装）中静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 155.7 在操作中没有 IC 散乱地堆放在工作台面上操作的现象6.1 有正式的作业指导书（腕带和人体综合电阻测试仪、离子风机的使用指导书）指导员工如何正确的操作6.2 员工清楚每日上班自查内容6.3 员工清楚知道有关 ESD 防护的个人用品（如腕带、手套、工衣、工鞋等）和防静电工具材料的领用管理制度6体系文档、制度6.4 ESD 记录数据（人体电阻、腕带、温湿度、培训考核等）完整，保存良好7.防静电用品测试根据防静电检测方法对防静电用品（周转用品、包材、防静电工具等） 、接地系统进行抽测（主要测试参数：表面电阻、体电阻
39、、摩擦电压、接地电阻，并把测试情况计入防静电设施功能参数检测记录表。稽核情况总结签名：地点质量记录 ESD 年度稽核 CHECK LIST日期检查内容 检查结果类别检查要点 是 否 未 涉及问题现象描述1.1 防静电区域有明显定义和明显的符合规范的防静电警示标识（地标定置并贴挂警示标识） 。静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 161.2 防静电区域配备有温湿度计1.3 每日都做温湿度记录1.3 记录显示温湿度是否正常1.环境1.4 温湿度异常是否采取了相应措施2.1 ESSD 及组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（工装、夹具、线体、SMT 设备、电烙铁等）都进行了可靠接地。硬接
40、地电阻小于1，软接地电阻7.5*10 51*10 92.2 接地端口都做了明显的符合规范的接地标识2.3 装备和工装上接触 ESSD 的部分和靠近 ESSD 的运动部件是由防静电材料制成并保证可靠接地。非防静电部分采用了防静电处理措施，如加离子风机、涂防静电液2.4 生产设备上的关键部件如传动带、传送链、导轮、等是否由防静电材料制成并有有效的接地通路2.5 所用单相电源为三芯线、三芯插头2.6 测试系统、设备、工作台没有防静电串接现象2.设备、仪器、工具、工装2.7 周转工具是否干净3.1 防静电区域的工作人员都通过了ESD 知识培训与考核3.2 防静电管理骨干人员是否接受ESD 系统培训并通
41、过考核3.3 进入防静电区域的工作人员都正确佩戴防静电工作服、鞋帽3.4 作业人员是否都按要求进行防静电腕带、人体综合电阻测试并做了真实记录3.5 现场抽测作业员工的腕带、人体综合电阻是否合格3.6 工作服外没有携带除工卡以外的金属物件、塑胶物件3.7 在作业场所没有穿、脱工作服和工鞋的现象3.8 员工没有把个人物品如个人衣物、食品、香烟、各种塑料和纸类制品带入静电保护区3.人员静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 173.9 接触静电敏感元器件及组件时采用了正确的静电防护措施，如戴防静电腕带、防静电手套或指套。腕带可靠接地3.10 防静电个人用品如工衣、工鞋、腕带、手套等的领用、
42、报废等详细的管理记录4.1 静电保护区内的地板、工作台、工作椅、周转车、周转箱、器件容器和包装材料都是防静电的4.2 防静电系统是否有效，是否有日常测试记录4.3 防静电设施、器材、周转工具是否有清晰可见的 ESD 标识4.4 周转车底部金属架焊有接地链并能自然下垂，并定期清洗保证可靠接地4.5 防静电测试仪器是否遵循校验及维护程序，并处于有效期内4防静电设施、器材4.6 防静电设施器材是否足够，不够时是否有应急措施5.1 防静电区域的非防静电材料（包含过期失效的防静电材料）是否及时、正确的处理5.2 有时效性的防静电材料是否标明有效期5.3 静电敏感器件与非静电敏感器件进行了隔离放置5.4
43、放置在 ESD 保护区工作台以外的静电敏感器件采取了防静电保护措施（用防静电容器和包装材料包装）5.5 静电敏感器件的包装都有明显的ESD 标识5.6 静电敏感器件及组件的配料、发料、周转、存储都存放在 ESD 容器（包装）中5.7 在操作中没有 IC 散乱地堆放在工作台面上操作的现象5.物料5.8 防静电材料的验证、检验是否有专职的部门及人员、检验仪器合适吗?静电控制管理总规范 A 版 Page of 19 186.1 有正式的作业指导书（腕带和人体综合电阻测试仪、离子风机的使用指导书）指导员工如何正确的操作6.2 防静电作业指导书内容是否准确、一致、可操作？6.3 防静电体系文档、制度是否充分？（培训、核查、检验、生产操作等）6体系文档、制度6.4 是否有规范的 ESD 上岗培训、再培训与测评制度7.防静电用品测试根据防静电检测方法对防静电用品（周转用品、包材、防静电工具等） 、接地系统进行抽测（主要测试参数：表面电阻、体电阻、摩擦电压、接地电阻，并把测试情况计入防静电设施功能参数检测记录表。稽核情况总结签名：
