1、1作成 审核 批准 编号 DB-WI-H/PD-064版次 A1 页 1/3作业指导书 扈炎荣生效日 2009219名称 电镀铜工序药液管理作业指导书一、目的为电镀铜工序的药液管理作业提供文件依据。二、范围本规范适合 COF 电镀铜工序，在操作此线时须遵守此规范。三、安全3.1 开机时,必须确认各槽体液位正常，各阀门正确，防止药液外溢或外喷。3.2 出现紧急情况需要紧急停车时使用急停设施， 3.3 对药水操作时，必须佩戴相关防护用具，包括胶手套、口罩、目镜、面罩、防护服等。3.4 当一般药水溅到身体时，要及时清洗掉；当硫酸溅到身体时，要尽快先用抹布擦除后，用大量水冲洗；当药水溅入眼睛时，要尽快
2、用喷流 DI 水冲洗并及时就医。所有药水不得饮食。四、工艺流程介绍4.1 电镀铜工序工艺流程4.2 药水操作参数表：槽位 槽名 温度 药水名称 分析频率 标准值 标准范围 槽体规格2 除油 405 WT-330 2 次/周 13% 1015% 470L9 活化 室温 H2SO4 2 次/周 8% 610% 470LCuSO4-5H2O 75g/l 6090g/LH2SO4 100ml/l 80120ml/L1015镀铜 233Cl-2 次/周70ppm 5080ppm1300L放料水箱 室温 柠檬酸 每天更新 6% 310% / 版 次 作成时间 修 改 原 因 修 改 内 容 摘 要A0 2
3、0083242008.3.21新规作成 -A1 2009219 参数修改 除油温度更改 405（原为 505）A1 2009219 明确更换除油缸 原只有铜含量指标修修改履历上料 三溢流水洗 活化 三溢流水洗 下料镀铜（6 位）水洗烘干脱脂2编号 DB-WI-H/PD-064版次 A1 页 2/3作业指导书生效日 2009219名称 电镀铜工序作业指导书五、开线建浴5.1 过滤机不装过滤芯，盖好，对角拧紧螺丝；5.2 用 35% NaOH 洗槽 2 小时以上，要开打气循环搅拌；5.3 用 35% H2SO4 洗槽 2 小时以上，要开打气循环搅拌；5.4 用 DI 水冲洗槽 2 次，每次要排净水
4、，保证冲洗后槽内无固体杂质。5.5 开始建浴：对建浴槽放入约 1/2 液位的 DI 水，加入对应量的药水，然后补充到标准液位，充分搅拌后分析药水成分含量再做补充调整即可槽位 槽名 规格 药水名称 标准含量 标准范围 加药量2 除油 470L WT-330 13% 1015% 60L9 活化 470L H2SO4 8% 610% 38LCuSO4-5H2O 75g/l 6090g/L 100kgH2SO4 100ml/l 80120ml/L 140L1015镀铜 1300LCl- 70ppm 5080ppm 按分析添加放料水箱 5L 柠檬酸 6% 310% 300g六、药水分析补充6.1 分析频
5、率：2 次/周；6.2 分析项目：除油、活化、镀铜槽内所有在用药水；6.3 补充办法：分析出结果后，并做相关表单记录；6.4 对于含量突变的成分，必须做再分析确认，查找突变原因并在电镀铜药水分析记录表上做记录。七、药水保养7.1 满负荷生产时，每月保养一次；经常间断性生产时由工程师判定保养时间7.1.1 铜槽药水保养方法：将保养槽冲洗排放干净后，抽出铜槽药水到保养槽，清洗铜槽并排放后，抽回药水；7.1.2 阳极保养方法：将阳极铜球倒出，用 5%H2SO4+5%H2O2浸泡出红铜色后取出用 DI 水冲洗3 遍以上，阳极篮和阳极袋同法处理；7.1.3 脱脂、活化药水，每次更新时做保养。7.2 浸泡用柠檬酸：每日更新，以 5L 容量计，加入柠檬酸 300g 配制即可范围 150500g34编 号 DB-WI-H/PD-064版 次 A1 页 3/3作业指导书生效日 2009219名称 电镀铜工序作业指导书八、药水更新8.1 WT-330 除油剂：铜离子达到 2000 PPM 后换新缸或生产 1500 平方或开槽三个月更换。8.2 活化槽：1 次/月8.3 镀铜：电镀效果无法改善，需要工程部门判定后，更新。
