1、Image J 软件测量微弧氧化膜层表面孔隙率、孔径及其厚度的步骤先根据需要测定的照片设定标尺(见附录) ,后将去除标尺的清晰 SEM 照片打开,具体步骤:File Open 打开一、测量表面孔隙率的步骤:1. Analyze Set Measurements Area, Area Fraction, Limit to Threshold OK 2. Image Adjust Threshold Apply OK3. Analyze Measure Results4. Results File Save As 保存二、测量表面孔径的步骤:1. Analyze Set Measurements
2、Area, Circularity, Ferets Diameter, Limit to Threshold OK 2. Image Adjust Threshold Apply OK Results(在设定灰度值的同时可以改变填充时的颜色)3. Analyze Analyze Particles Show :Ellipses OK Results(检验填充是否合理)4. Results File Save As 保存5. Results Distribution Parameter Feret OK Feret Distribution(对孔径分布给出具体分析)6. Analyze Anal
3、yze Particles Show :Ellipses Size(m 2): 0-Infinity OK Results (孔径测量中下限值的设定)三、测量膜层厚度的步骤:1. 将图片改为 RGB Color 格式 Image Type RGB Color2. 用 Pencil Tool 在需要测量的膜层厚度处画出直线,直线的宽度可在 Pencil Tool 工具栏中的 Pencil Width 中调整,直线的颜色可在 Color picker 工具栏中选择。当直线画的不准确时,可单击鼠标右键,Undo 即可重新画线(仅限于上次操作) 。 3. 用 Straight line selecti
4、on 工具在照片中量膜层的厚度 按键盘的 M 键 Results(注:直线是否平直,可以看 Results 对话框中的 Angle 是否为 0 或者-90, 为 0 或者-90 则说明测量为直线距离,所得数据准确可靠)4. 可将 Results 的结果用 Text tool 工具标在直线上,字体大小可在 Fonts 工具栏中调整,字体的颜色在 Color picker 工具栏中选择。然后单击右键选择 Fill 即可保存,当文本框出现错误时,单击右键 Undo 即可(仅限于上次操作) 。5. 同步骤 1-4 重复测量,结果均按次序保存在 Results 中 6. 保存数据Results File
5、 Save As 保存7. 保存带直线及结果标记的照片File Save As Jpeg 保存附录:Image J 软件标尺设定及其验证1. 标尺设定的步骤用 Image J 软件将带标尺的 SEM 照片打开,用 Straight line selection 工具在照片上画一根与照片标尺完全相同的直线,打开Analyze 中 Set Scale 对话框就会出现如图 1 所示的信息,210 为软件测量值,Known Distance 中输入标尺显示值 10,在 Unit of Length中输入 m 即可定标,在 Global 前的方框中打钩即可固定标尺。图 1 SEM 照片标尺设定2. 标尺
6、设定的验证在设定了不同放大倍数照片的标尺之后,发现只要在 Analyze中的 Set Scale 对话框(图 2)中只需要输入 Distance in Pixels 中的数据,与放大倍数相对应的数据如表 1 所示,并在 Unit of Length 中输入 m,其他不变。 表 1 不同放大倍数的标尺放大倍数(X) 输入值200 2.1500 5.2800 8.21000 10.41500 15.82000 21由于 SEM 本身并不带标尺,是根据 SEM 标样进行定期校验的,所以其放大倍数和计算的标尺并不一致,本标尺标准是按现有的SEM 不同放大倍数照片所带标尺标定的。所以在此仅供对比参考,以自己实际测量为准。将不同照片根据标尺算出其面积,将其孔数换算为 1cm2 内的孔数,则符合 GBT-17720-99 中提到的孔隙率的计算方法。注:放大倍数越大,1 m 内像素越高,测出来结果越接近真实值,请按自己所需选择合适的放大倍数进行测量。图 2 不同倍数标尺设定