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PVD涂层-介绍(中文).ppt

1、,PVD COATING PROCESS,东庵(天津)屬有限公司,Arc PVD Coating 概要,利用PLASMA在TARGET表面使用ARC,E-Beam,Direct heating 等蒸发金属物质后增加加速Bias电压在产品表面蒸着的真空法。,Titanium(Ti) is vaporized, ionized and accelerated in one step by the arc, e-beam, direct heat.,Reactive gas is added to the metal ions and ionized. All ions are accelerate

2、d towards the workpiece by the BIAS voltage,Vaporization, ionization,Solid Target( Ti ),Ti+,Ti+,Ti+,Ti+,0 ,Arc E-beam Direct heat,Heated ion cloud = Plasma,PVD Coating 特征, 高硬度 (High Hardness) 高密度的组织 (Dense Structure) 平滑表面 (Smooth Surface) 低磨擦率 (Low Friction Coefficient) 化学 稳定性及无反应性 低热传导 (Low thermal

3、 comductivity) 密着特性 (Excellent adhesion),Coating 膜 种类及特性比较,电子配件制陶术粉末,类,PVD 涂层应用事例-TiN,材质 : 膜厚度: 3 涂层膜种类 : TiN备 注 : 未涂层时划痕涂层后提高倍以上的寿命效果。,材质 : 膜厚度: 3 4涂层膜种类 : TiN备 注 : 涂层后提高寿命效果。,普通钢板弯曲用Die(1.3t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN备 注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层,普通钢板弯曲用Die(1.3t),材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:Cr

4、N备 注:未涂层时100个左右,涂层时可以加工数万个,CROSS MBR STEELS (LH, 1.4t),CROSS MBR STEELS (RH, 1.4t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系数低),材 质 : HK700 (SKD11 类似钢种 铸钢)膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层,FR SIDE MBR STEELS,FR SID

5、E MBR STEELS,PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系数低),FR SIDE MBR STEELS,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层,BUMPER STEELS(

6、1.6t),FUEL TANK STEELS(0.8t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用03.11.30现在量产操作中,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用03.08.05,RR X MBR UPPER STEELS(2.0t),MBR STEELS (2.0t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层)

7、 备 注:应用03.10.10,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用03.09.15现在量产处理中,RR FLR /SIDE STEELS(1.4t),燃料槽支架STEELS(0.8t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用02.09.30,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用02.09.30 03.12现在量产操作中,H

8、INGE DIES STEELS(4.8t),FR SIDE MBR STEELS (1.6t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用03.10,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating , ION氮化+涂层) 备 注:应用03.10,CROSS MBR STEELS (LH, 2.3t),SIZING DIE,PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理

9、时因变形问题应用CrN涂层,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层,汽车 STEELS (2.0t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因焊接及变形问题应用CrN涂层,汽车 STEELS (2.0t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因焊接及变形问题应用CrN涂层,汽车 STEELS (1.8t),P

10、VD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因焊接及变形问题应用CrN涂层,汽车 STEELS (1.6t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因焊接及变形问题应用CrN涂层,汽车 STEELS (1.6t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因焊接及变形问题应用CrN涂层,汽车 STEELS (3.0t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : S45C膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:形成AI板材应用CrN涂层,STEELS (1.6t),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : HK600铸钢 膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating)备 注:应用T.D处理时因焊接及变形问题应用CrN涂层,DIE STEEL (1.6t ),PVD 涂层应用事例-CrN,材 质 : SKD11 膜厚度:5涂层膜种类:CrN(Duplex Coating),

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