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对PECVD 所镀的SIN 膜进行研究.pdf

1、 2013 年三月刊 SOLARZOOM 光伏杂志答疑解惑/ Q & A SOLARZOOM 光伏杂志03/201329 SOLARZOOM 光伏杂志03/201328关于RIE制绒提问:1)有谁知道RIE设备价格大概多少?2)RIE产量如何,多少硅片每小时? 网友解答:100pcs/tray(156*156) 单 个 主 体 腔 室 装置,有废弃处理装置,无自动装片与卸片装置150sec/tray,2400 片 / 小时,70mw/ 每年设备约265万美金成本估计0.008美元/w。EVA交联度问题提问:请教各位,在空气中放了大半年的EVA肯定是不能用了,会对它的交联度有影响吗?大概是多少啊

2、?网友解答:EVA发生交联需要一定的温度和时间,常温下长时间放在空中会发生部分交联,但是程度应该不大,主要就是会吸收一点水分,影响粘接力和层压后容易有气泡。下一代高效多晶技术提问:现在国内有多个第一代高效多晶铸锭技术如:A+和M2等规模应用。这两种方式都主要是是应用新的形核技术实现,在其它方面也略有改进。而下一代高效多晶铸锭技术也是很多公司所关注:第二代高效多晶再次是从形核出发?还是从长晶方式(热场控制)的改进?还是从其他方面?现在较多的多晶铸锭企业谨慎的投入研发第二代技术。有想法的坛友们可以谈谈看法。网友解答:如果第一代高效多晶是通过改变晶核达到提高效率的目的,那么准单晶可以终结。第二代高效

3、多晶应该是通过电池线工艺调整提高效率。有没有对PECVD所镀的SIN膜进行研究的?提问:我现在正在做这一块,但不知道都应该测些什么参数,哪个高手指点一下?网友解答:研究SiNx薄膜要从三方面入手:首先,要对膜的光学性质进行研究。地面太阳光谱能量的峰值在波长500nm,而硅太阳电池的相对响应峰值在波长800900nm,故要求减反射膜对500900nm的光有最佳减反射效果。对于82nm厚、折射率为2.113的电池片,用肉眼观察呈深蓝色,当=632.18nm时,其光学厚度为 nd=822.113=174.166nm, 由此可知吸收最强烈的光波长应为174.1664=698.164nm。其次,要对氮化

4、硅薄膜的形貌与成分进行分析。形貌一般用AFM或者SEM观察;成分分析用FTIR最后,还要对SiN薄膜的热稳定性与钝化效果进行分析。至于膜的粘附力等等不是很重要。 为什么EVA越厚越容易引起串间距位移呢? 提问:有关文献介绍:层压时随着EVA层数的增加,串间距收缩现象也越严重,其中的原理是否可以介绍一下?网友解答:简单的说,就是EVA层数越多,TPT面到玻璃面的间距越大,压合时,EVA融化后TPT和玻璃之间的电池片越容易移动,电池片已经串焊一起,整串电池片移动几率越大,所以,出现了电池片串距越容易发生变化。仅供参考!请问试用schimd刻蚀设备的同行 提问:请问试用schimd刻蚀设备PE后也会有小白点和白班之类的外观异常吗网友解答:常见的小白点是植绒机器漏水滴,经过扩散之后形成白点。如果正面的有很多小白点就不知道了。编者按 本贴根据 Solarzoom 论坛帖子整理,不代表Solarzoom的观点。

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