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真空镀碳机.doc

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真空镀碳机.doc

1、真空鍍碳機確定 V1、V2、V3、V4 均關，V5 開，所有 switch 均關1. 打開機械房內冰水機2. 打開 “MAIN POWER” 3. V5 全關4. 開 “RP” (至聲音停止，約十秒鐘)5. 開 V2 (抽走 R. P. 及 D. P. 之間的空氣)6. 開 “DP” 及 “VACUUM GAUGE”，加熱 DP 約 20 分鐘 (若此時警鈴聲響表示冰水機有問題，先關掉 DP 待確定沒問題後，再打開)此時可放入樣品7. V4 向順時鐘方向旋轉，使空氣進入，轉動 V4，將玻璃罩移開8. 置入碳棒或金屬9. 將樣品置入樣品台上10. 放好遮板11. 將玻璃罩蓋上，關上 V412.

2、V2 全關，慢慢打開 V3 至全開。13. 待 “MAIN VALVE READY” 燈亮 (H，紅燈亮，數分鐘，此時壓力降至 10-1PA)14. V3 全關，15. V2 全開，V1 開 (此時 RP 及 DP 之間相聯而得到高真空狀態)16. 待 “MAIN VALVE READY” 燈亮 (L，綠燈，至壓力低於 3x10-4Pa)開始蒸鍍17. 開 “HEATER” (鍍金選 1，鍍碳選 2)18. 用遮板蓋住樣品19. 順時鐘方向慢慢轉 ”HEATER CONTROL”，加熱至碳棒尖端紅熱，再增加電流至 30A，碳棒呈白熱，打開遮板，隨即蓋上 (約1 秒鐘) 。20. 轉回 ”HEATER CONTROL” 並關閉 “HEATER”21. 關 V1接著可換樣品或關機換樣品22. 換樣品步驟同 7.至 16.23. 碳膜蒸鍍步驟同 17.至 21.關機24. 關 “DP” 及 “VACUUM GAUGE”，等約 20 分鐘待 DP 冷卻25. V4 開，取出樣品，清理玻璃罩及架子，V4 關26. V2 關27. 開 V3 27. 待“DP”已關閉 20 分鐘後關水29. 關 V330. 關 “RP”31. 開 V532. 關 “MAIN POWER”