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九州方园新能源股份有限公司单晶一厂简介.doc

1、九州方园新能源股份有限公司单晶一厂简介各位领导,大家上午好!欢迎来到九州方园新能源股份有限公司,这里是我们单晶一厂的车间,大家现在所看到的是生产单晶硅棒的单晶炉,目前装立的是 20 台,生产厂商是宁夏日晶科技有限公司,余下还有 20 台目前没有到厂区,生产厂商是浙江上虞晶盛有限公司,这两家生产厂商在国内属于比较上层的机器制造厂家。我们目前生产的单晶硅棒规格为 8 英寸,直径为 2062MM,所用的原料为原生硅,原生硅是从地壳中提取出来的高纯度原生硅,纯度达到 9 个9,所使用 22 寸的热场(石英坩埚),接下来给大家介绍一下单晶生产工艺的流程,首先是装热场,然后装料,抽空(将炉内真空抽出),进

2、行硅料溶解,也叫熔料,将固态硅料熔化为液态,然后稳定炉内温度,当硅熔液温度稳定之后时进行下一个环节-引晶,引晶达到预定的长度后,缓慢降低拉速,进行放肩,拉速一般为 0.40.5mmmin,将肩放到合适的直径,在此过程中需要进行缓慢降温,以保证结晶的顺利进行,达到目标直径后,进入转肩环节,提高拉速使之纵向生长,转肩完成直径控制稳定后可进入等径状态,直径会在电脑控制下,按照设定直径的尺寸拉晶, (投料量 110KG)当晶棒长度达到 1300mm 左右时进入收尾环节,将单晶直径不断缩小,晶体收尾长度应不少于晶体直径的大小,晶体收尾结束时,冷却停炉,使晶体上升或者下降坩埚,将晶体脱离液面 3-5cm,关闭晶升,晶转,埚转,关闭加热器电源,冷却 7 个小时左右取出晶棒,进行拆炉,清炉,一根整棒从装料到出炉需要72 个小时左右,这就是我们整个拉晶生产工艺流程。

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