1、建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表项 目 名 称：中 芯 国 际 集 成 电 路 制 造 （ 天 津 ） 有 限 公 司 T2/T3 集 成 电 路 生 产 线 项 目 建设单位 （盖章 ） ： 中 芯国际 集成 电路制造 （天津 ） 有限公司 编制日期：2016 年 6 月 国家环境保护总局制中芯国际集成电路制造（天津）有限公司T2/T3 集成电路生产线项目环 境 影 响 报 告 表委 托 单 位 ： 中 芯 国 际 集 成 电 路 制 造 （ 天 津 ） 有 限 公 司评 价 单 位 ： 天 津 市 环 境 影 响 评 价 中 心项 目 负 责 人 ： 周 广 琨 高 级 工 程
2、师报 告 编 制 ： 周 广 琨 高 级 工 程 师技 术 审 核 ： 回蕴珉 高 级 工 程 师审 定 ： 张泽生 高 级 工 程 师项目名称：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 T2/T3集 成 电 路 生 产 线 项 目 市 环 保 局 关 于 公 布 环 保 系 统 环 评 机 构 已 承 接 项 目 清 单 的 公 告 （ 津 环 保 审 2016 80 号） 序 号 ： 114项 目 合 同 编 号 ： 16-环 管 （ 环 评 ） -0061建 设 项 目 基 本 情 况项目名称 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 T2/T3 集成电路生产线项目建设单位 中芯国际集成电路制造
3、（天津）有限公司法人代表 邱慈云 联 系 人 乔琳舒通讯地址 天津市西青经济开发区兴华道 19 号联系电话 23700680 传 真 邮政编码 300385建设地点 天津市西青经济开发区兴华道 19 号立 项 审 批 部 门 批准文号 建设性质 扩建 行业类别 及代码 通信设备、计算机及其它 电子设备制造业占地面积（平方米）215733.6 平米 厂区现有空地，不新增用地 绿化率% 12.47总投资（元） 100 亿其中： 环保投资 13640环保投资占 总投资比例 1.36%评价经费(万 元 ) 预期投产日期 2020 年 10 月工程内容及规模：1.项 目 概 况中 芯 国 际 集 成 电
4、 路 制 造 有 限 公 司 （ Semiconductor Manfacturing International Corp； 以下简称“中芯国际 ”）是一家以集成电路代工为投资服务的国际化公司，其公司总部 位于中国上海，其企业投资主体为海外华人以及美国和日本公司。企业主要经营半导 体（硅片及各类化合物半导体）集成电路芯片制造、针测及测试，与集成电路有关的 开发设计服务、技术服务、光掩膜制造、测试封装，并销售产品。目前中芯国际在上 海、北京、天津和深圳均建立有芯片厂，可测试多种电路芯片，芯片加工技术能力跨 越 0.5 微米到 0.13 微米。中芯国际于 2003 年在天津设立中芯国际集成电路制
5、造 （天津） 有限 公司 （以下简 称“ 中芯国际天津厂 ”） ， 通过资产并购方式受让摩托罗拉 （中国） 电子有限公司位于天 津市西青经济开发区的芯片厂，并通过增加投资达到扩大芯片生产能力、完善和增容 部 分 动 力 、 环 保 安 全 等 设 施 的 目 的 ， 形 成 月 产 30000 片 8 英 寸 硅 片 ， 0.350.13 微米的开放式集成电路芯片加工能力，该项目于 2007 年 1 月通过了项目竣工环境保护验收。中芯国际天津厂于 2008 年拟投资通过增加关键机台设备的方式新增月产 10000 片28 英 寸 芯 片 的 生 产 能 力 ， 已 获 得 环 评 批 复 ， 但
6、 由 于 当 时 产 品 市 场 原 因 ， 该 项 目 一直未能实施。于 2014 年通过投资在现有厂区内建筑附近贴建及新建构筑物，并 增加相关生产设备方式进行中芯国际集成电路（天津）Fab7 扩建项目工程的建 设， 建成后芯片生产能力从月产 30000 片扩大为月产 55000 片， 已获得环评批复， 现今处于建设及调试试运行阶段。2015 年企业为了响应相关环保要求及天津市 地方标准挥发性有机废气排放标准的要求， 为进一步降低 VOCs 的排放量， 投资 实施了 VOCs 有机废气治理项目，采用浓缩转轮+旋转阀蓄热式氧化炉工艺，已 获得环评批复，现今处于试运行阶段。近年随着国际芯片市场需
7、求预期的不断增长， 为满足供应商的需要、 更大程 度上扩大 天津基地的生产能力， 中芯国际天津厂拟投资 100 亿元人民币， 在现有 厂 区 闲 置 空 地 内 新 建 “中 芯 国 际 集 成 电 路 制 造 （ 天 津 ） 有 限 公 司 T2/T3 集成电路 生 产 线 项 目 ”， 新 增 月 产 8 英寸和 12 英 寸 集 成 电 路 芯 片 100000 片。该扩建项目新增建筑占地面积 59130.01 平米， 总建筑面积 235438.53 平米， 主要工程内容包 括生产厂房、 研发厂房、 动力厂房、 变电站、 危化品库、 化学品中转库、 变电站、 硅烷站及废水处理站等建筑构物
8、，该项目计划 2016 年 10 月开工建设，2020 年10 月竣工投产。2.工程内容2.1.主要工程建设内容 本扩建项目位于天津市西青经济开发区中芯国际集成电路制造 （天津） 有限公司 现有厂区东半侧的闲置空地内， 不依托现有建筑构物， 新增建筑构物主要包 括 2 座 生 产 厂 房 、 1 座 研 发 厂 房 ； 配 套 相 应 的 危 化 品 库 、 化 学 品 中 转 库 、 动 力 厂 房、变电站及废水处理站等辅助设施，新增建筑占地面积 59130.01 平米，总建筑面积 235438.53 平米。本扩建项目新增建筑构物情况见下表。3表 1 本扩建项目新增建筑构物情况列表编 号 建
9、 筑 名 称层数（层）占 地 面 积（ m2）建 筑 面 积（ m2） 备注1 化 学 品 中 转 库 1 546 546 乙类2 危 险 化 学 品 中 转 库 1 546 546 甲类3 硅烷站 1 278.85 171.364 动 力 三 厂 房 3 1187.45 3643.355 1#连廊 - 3866 2#管廊 - 143.367 动 力 二 厂 房 -1,5 4974.7 26220.28 地下 856.79m28 3#管廊 - 555.99 4#管廊 - 555.910 主 变 电 站 3 1547.5 5315.65 半 地 下 1500.7 m211 南门卫 1 20.33
10、 20.3312 T2 第 二 生 产 厂 房 3,4 20623.94 65178.6713 5#连廊 - 312.214 6#连廊 - 356.815 7#连廊 - 356.816 8a#连 廊 - 61517 8b#连 廊 - 2351.218 T3 第 三 生 产 厂 房 3,4 20623.94 66178.6719 生 活 污 水 站 1 822.9 50.5420 生 产 研 发 支 持 厂 房 -2,6 7572.4 61548.52 地下 23820.3521 东 北 门 卫 1 54.64 54.6422 东 南 门 卫 1 31.36 31.3623 制 氢 车 间 1
11、300 300 甲类合计 59130.01 235438.532.2.主要生产内容在现有月产 55000 片 8 英寸集成电路芯片生产能力基础上， 新增月产规格为线宽 0.18 微 米 -90 纳 米 8 英寸集成电路芯片 90000 片和 12 英寸集成电路芯片10000 片， 主要产品包括生产物联网( IoT)， 指 纹识别， 电源管理， 数模信号处理， 汽车电子等种类产品， 扩建后中芯国际天津厂集成电路芯片加工生产能力扩大为 月产 155000 片。中芯国际天津厂扩建前后生产规模情况如下。4表 2 中芯国际天津厂生产规模情况列表项目 现 有 工 程 本 扩 建 工 程 扩 建 后 全 厂
12、 备注月 产 量 （ 片 ） 55000 90000 1450008 英寸 集 成 电 路 芯 片 年 产 量 （ 片 ） 660000 1080000 1740000月 产 量 （ 片 ） 0 10000 1000012 英 寸 集 成 电 路 芯 片 年 产 量 （ 片 ） 0 120000 120000新增 8 英 寸 和 12 英 寸 集 成 电 路 芯 片 规 格 为 线 宽 0.18 微 米 -90 纳米3.主要设备本扩建项目产品生产所涉及到的主要设备情况见下表。表 3 本 扩 建 项 目 第 二 生 产 厂 房 （ T2 车间）主要设备列表序 号 设 备 名 称单 位数 量序 号
13、 设 备 名 称单 位数 量1 常 压 垂 直 炉 管 台 27 26 金 属 钨 化 学 机 械 研 磨 台 142 成 分 分 析 仪 台 8 27 金 属 钨 化 学 气 相 沉 积 台 143 单 晶 硅 外 延 炉 台 9 28 晶 片 清 洗 机 台 284 氮 化 物 刻 蚀 机 台 10 29 晶 片 缺 陷 检 测 仪 台 225 低 能 量 离 子 注 入 机 台 6 30 刻蚀机 台 156 低 压 垂 直 炉 管 台 21 31 快 速 热 处 理 器 台 157 电 性 参 数 测 试 仪 台 20 32 粒 子 计 数 仪 台 178 电 子 显 微 镜 台 59
14、33 磷 含 量 检 测 仪 台 59 电 阻 检 测 仪 台 9 34 膜 厚 测 量 仪 台 3910 叠 对 标 记 差 测 量 仪 台 11 35 去胶机 台 3211 多 晶 硅 垂 直 炉 管 台 6 36 缺 陷 检 测 仪 台 712 多 晶 硅 刻 蚀 机 台 12 37 深 紫 外 光 刻 机 台 1613 二 氧 化 硅 平 坦 化 炉 管 台 3 38 深 紫 外 涂 胶 机 台 1614 高 能 量 离 子 注 入 机 台 4 39 湿 蚀 刻 工 作 站 台 1915 高 速 流 离 子 注 入 机 台 11 40 酸 清 洗 机 台 1316 高 温 烘 烤 机
15、台 3 41 外 延 缺 陷 测 量 仪 台 517 高 温 退 火 炉 管 台 3 42 物 理 气 相 沉 积 仪 台 1618 高 温 氧 化 炉 台 26 43 氧 化 层 刻 蚀 机 台 1319 光 掩 膜 版 颗 粒 物 检 测 机 台 8 44 氧 化 硅 化 学 机 械 研 磨 台 1920 物 理 气 相 沉 积 台 4 45 应 力 测 量 仪 台 521 硅 片 深 度 测 量 仪 台 5 46 中 电 流 离 子 注 入 机 台 1022 化 学 气 相 沉 积 仪 台 75 47 紫 外 光 烘 烤 机 台 423 剂 量 测 试 仪 台 5 48 紫 外 光 刻
16、机 台 2324 金 属 铝 刻 蚀 机 台 23 49 紫 外 涂 胶 机 台 2325 金 属 铝 物 理 气 相 沉 积 台 23 50 自 动 晶 片 定 位 机 台 205表 4 本 扩 建 项 目 第 三 生 产 厂 房 （ T3 车间）主要设备列表序 号 设 备 名 称单 位数 量序 号 设 备 名 称单 位数 量1 表 面 电 荷 分 析 仪 台 3 51 刻 蚀 设 备 台 42 X 射 线 光 谱 分 析 设 备 台 1 52 快 速 退 火 设 备 台 33 X 射 线 荧 光 光 谱 仪 台 1 53 粒 子 计 数 器 台 24 暗 区 缺 陷 检 测 仪 台 3 5
17、4 连 接 层 刻 蚀 设 备 台 15 半 自 动 目 测 光 学 台 台 1 55 亮 区 缺 陷 检 测 仪 台 26 包装机 台 1 56 铝 接 点 沉 积 设 备 台 17 保 护 层 刻 蚀 设 备 台 2 57 铝 接 点 刻 蚀 设 备 台 28 表 面 电 荷 分 析 台 1 58 纳 米 探 针 仪 台 19 薄 膜 沉 积 设 备 台 3 59 镍 物 理 气 相 沉 积 设 备 台 110 擦片机 台 5 60 屏 障 和 种 子 沉 积 设 备 台 311 测 试 探 针 台 8 61 浅 沟 槽 化 学 机 械 抛 光 设 备 台 112 测试仪 台 17 62
18、浅 沟 槽 刻 蚀 台 213 沉 积 设 备 台 15 63 浅 沟 槽 氧 化 物 沉 积 设 备 台 114 沉 积 退 火 设 备 台 1 64 清洗机 台 215 打印机 台 1 65 清 洗 设 备 台 916 氮 化 钛 沉 积 设 备 台 2 66 缺 陷 分 析 仪 台 117 氮 化 物 沉 积 设 备 台 4 67 缺 陷 复 查 器 台 418 氮 化 物 化 学 气 相 沉 积 垂 直 炉 管 台 5 68 缺 陷 检 测 仪 台 119 氮 浓 度 测 量 机 台 1 69 深 紫 外 沉 浸 式 涂 胶 曝 光 机 台 420 氮 氧 化 物 沉 积 设 备 台
19、1 70 深 紫 外 涂 胶 曝 光 机 台 321 电 子 束 检 测 机 台 1 71 深 紫 外 涂 胶 显 影 机 台 322 电 阻 测 量 仪 台 1 72 湿 法 氮 化 物 刻 蚀 设 备 台 123 多 晶 硅 沉 积 垂 直 炉 管 台 1 73 钛 及 氮 化 钛 沉 积 设 备 台 124 分析仪 台 1 74 碳 化 物 沉 积 设 备 台 125 覆 盖 度 测 量 机 台 2 75 条 形 码 打 印 机 台 126 高 能 离 子 注 入 设 备 台 1 76 铜 电 镀 设 备 台 327 高 速 流 离 子 注 入 设 备 台 8 77 铜 化 学 机 械
20、抛 光 设 备 台 528 高 温 退 火 垂 直 炉 管 台 3 78 涂布机 台 229 关 键 尺 寸 测 量 扫 描 电 镜 台 5 79 退 火 设 备 台 230 光 刻 胶 去 除 台 8 80 钨 化 学 机 械 抛 光 设 备 台 131 光 学 显 微 镜 台 1 81 钨 化 学 气 相 沉 积 设 备 台 132 光 罩 仓 储 机 台 1 82 掩 膜 版 绑 定 机 台 233 光 罩 缺 陷 检 测 仪 台 1 83 掩 膜 刻 蚀 设 备 台 334 光 罩 扫 描 仪 台 1 84 氧 化 物 沉 积 设 备 台 1235 光 阻 涂 布 机 台 1 85 氧
21、 化 物 沉 积 设 备 台 136 硅 片 平 坦 仪 台 1 86 氧 化 物 化 学 机 械 抛 光 设 备 台 237 含 氟 氧 化 物 沉 积 设 备 台 6 87 氧 化 物 生 长 垂 直 炉 管 台 238 含 碳 氧 化 物 沉 积 设 备 台 3 88 闸 极 刻 蚀 设 备 台 36序 号 设 备 名 称单 位数 量序 号 设 备 名 称单 位数 量39 合 金 垂 直 炉 管 台 1 89 闸 极 清 洗 设 备 台 140 宏 观 检 测 器 台 1 90 闸 极 氧 化 物 沉 积 设 备 台 241 厚 度 检 测 设 备 台 5 91 闸 极 氧 化 物 垂
22、直 炉 管 台 242 化 学 气 相 沉 积 垂 直 炉 管 台 2 92 锗 硅 沉 积 设 备 台 543 剂 量 检 测 机 台 1 93 中 速 流 离 子 注 入 设 备 台 444 检测仪 台 4 94 紫 外 处 理 设 备 台 345 介 电 质 刻 蚀 设 备 台 7 95 紫 外 涂 胶 曝 光 机 台 146 金 属 硅 化 物 选 择 性 去 除 设 备 台 1 96 紫 外 涂 胶 显 影 机 台 147 金 属 化 学 机 械 抛 光 设 备 台 2 97 自 动 宏 观 缺 陷 检 查 机 台 348 晶 背 清 洗 设 备 台 4 98 自 动 目 测 光 学
23、 台 台 349 晶 片 盒 检 测 台 1 99 自 动 目 检 仪 台 150 晶 圆 最 终 测 试 探 针 台 774.主要原辅材料本项目主要原料用量及物化特性见下表。表 5 本项目原辅材料消耗表序 号原辅料 单 位年用量 厂内 存储量储存 方式存储 位置序 号原辅料 单 位年用量 厂内 存储量包装 方式存储 位置1 硅片 片 1491000 248500 盒 厂房 41 八氟环丁烷 kg 3840 960 钢瓶 甲类库2 磷烷氮气混和气 kg 3.46 2.4 钢瓶 甲类库 42 1,2-二氯乙烯 kg 1104 270 钢瓶 甲类库3 砷化氢 kg 67.2 28 钢瓶 甲类库 4
24、3 丙酮 kg 1536 352 瓶 甲类库4 磷化氢 kg 31.25 7.95 钢瓶 甲类库 44 四(二甲胺基) 钛 kg 84 21 钢瓶 甲类库5 三氟化硼 kg 64.91 17.995 钢瓶 甲类库 45 四氧乙基硅 kg 15249.6 3812.4 钢瓶 甲类库6 乙硼烷/氢气混合气 kg 288 36 钢瓶 甲类库 46 硼酸三乙酯 kg 268.8 126 钢瓶 甲类库7 三氟化氯 kg 48 20 钢瓶 甲类库 47 磷酸三乙酯 kg 96 40 钢瓶 甲类库8 氯气 kg 4800 500 钢瓶 甲类库 48 异丙醇 kg 197568 12348 大桶 甲类库9 1
25、0%甲烷/氩气 kg 264 44 钢瓶 甲类库 49 N-甲基-2- 吡咯酮 kg 161280 13440 大桶 甲类库10 一氧化氮 kg 120 15 钢瓶 甲类库 50 乙二醇 kg 5376 512 大桶 甲类库11 硅烷 kg 8352 600 钢瓶 硅烷站 51 OK73 稀释液 kg 714240 72000 大桶 甲类库12 三氯氢硅 kg 5520 590.2 钢瓶 甲类库 52 30%双氧水 kg 3846154 21200 大桶 甲类库13 氢气/氮气混合气 kg 576 320 钢瓶 甲类库 53 光刻胶类 kg 71539.2 13982.4 瓶 甲类库14 氯化
26、氢 kg 19200 1750 钢瓶 甲类库 54 粘附促进剂 kg 9216 1152 瓶 甲类库15 氨气 kg 1920 320 钢瓶 甲类库 55 光刻胶去除剂 kg 570240 47520 大桶 甲类库16 四氟化硅 kg 10801.32 1350.46 钢瓶 甲类库 56 85%磷酸 kg 460800 38400 大桶 乙类库17 六氟化四碳 kg 600 75 钢瓶 甲类库 57 二氧化硅蚀刻液 kg 28800 3200 大桶 乙类库18 二氟甲烷 kg 576 72 钢瓶 甲类库 58 70%硝酸 kg 60000 7000 大桶 乙类库8序 号原辅料单 位年用量厂内
27、存储量储存 方式存储 位置序 号原辅料单 位年用量厂内 存储量包装 方式存储 位置19 一氟甲烷 kg 264 66 钢瓶 甲类库 59 96%硫酸 kg 3724800 29925 大桶 乙类库20 二氯硅烷 kg 6216 592 钢瓶 甲类库 60 36%盐酸 kg 42816 3568 大桶 乙类库21 一氧化碳 kg 12096 756 钢瓶 甲类库 61 铝刻蚀剂 kg 115200 9600 大桶 乙类库22 三氟化氮 kg 120000 4800 钢瓶 甲类库 62 49%氢氟酸 kg 190080 23760 大桶 乙类库23 八氟环戊烷 kg 600 75 钢瓶 甲类库 6
28、3 二氧化硅刻蚀液 kg 19200 1600 大桶 乙类库24 氯化硼 kg 4800 600 钢瓶 甲类库 64 氧化物刻蚀缓冲剂 kg 115200 9600 大桶 乙类库25 氪氟氖混合气体 kg 78.84 19.71 钢瓶 甲类库 65 三氯化铟 kg 7.2 1.8 瓶 乙类库26 六氟化钨 kg 13320 1600 钢瓶 甲类库 66 30%氨水 kg 440832 36736 大桶 乙类库27 溴化氢 kg 6000 1050 钢瓶 甲类库 67 硫酸铜溶液 kg 224760 9365 大桶 乙类库28 氙气 kg 50.4 12.6 钢瓶 甲类库 68 三氧化二锑 kg
29、 12 2 瓶 乙类库29 氦氮混合气体 kg 2592 324 钢瓶 甲类库 69 显影液 kg 520992 43416 大桶 乙类库30 一氧化二氮 kg 309600 6970 钢瓶 甲类库 70 研磨液 kg 2213760 184480 大桶 乙类库31 六氟乙烷 kg 124740 15592.5 钢瓶 甲类库 71 离子交换树脂 kg 7200 1800 包 乙类库32 二氧化碳 kg 26568 3375 钢瓶 甲类库 72 润滑脂 kg 127.68 32 瓶 乙类库33 氧氦混合气 kg 316.8 39.6 钢瓶 甲类库 73 氢氟代醚 kg 1440 360 瓶 乙类
30、库34 三氟甲烷 kg 2880 360 钢瓶 甲类库 74 散热膏 kg 13.632 3.408 支 乙类库35 六氟化硫 kg 6000 750 钢瓶 甲类库 75 冷却液 kg 9724.8 2432 瓶 乙类库36 氮气 kg 8640 1080 钢瓶 甲类库 76 柠檬酸 kg 158400 6600 大桶 乙类库37 30%氧气/氦气混和气 kg 96 24 钢瓶 甲类库 77 金属钛 kg 8640 2160 片 厂房38 氪氖混和气体 kg 672 126 钢瓶 甲类库 78 金属铝 kg 8400 1400 片 厂房39 四氟甲烷 kg 7200 900 钢瓶 甲类库 79
31、 金属铜 kg 19887 3314 片 厂房40 氦气 kg 345.6 43.2 钢瓶 甲类库9表 6 本项目原辅材料中涉及主要化学品物化特性列表原辅料 物 化 特 性 及 用 途熔 点 ( )： -113.5、 沸 点 ( )： -55， 溶 于 水 ， 微 溶 于 乙 醇 、 碱 液 。 无 色 气体 ， 有 大 蒜 臭 味 。 强 还 原 剂 。 与 空 气 混 合 能 形 成 爆 炸 性 混 合 物 。 遇 明 火 、砷化氢高 热 能 引 起 燃 烧 爆 炸 。熔点( ) ： -132.5、沸点( ) ： -87.5， 不溶 于热 水， 微溶于 冷水， 溶于 乙醇 、乙 醚 。 相
32、 对 蒸 气 密 度 :1.2， 带 有 令 人 生 厌 的 大 蒜 味 ， 极 易 燃 ， 具 有 强 还 原 性。 遇热 源和 明火 有燃 烧 爆炸 的 危险 。 暴露 在空 气 中能自 燃 。 与 氧接 触会磷化氢爆 炸 ， 与 卤 素 接 触 激 烈 反 应 。 与 氧 化 剂 能 发 生 强 烈 反 应 。熔 点 ( )： -126.8、 沸 点 ( )： -100、 相 对 蒸 气 密 度 :2.35， 溶 于 冷 水 ， 化 学反应活 性很 高 ， 遇 水发 生 爆炸性 分解 。 与铜 及其 合 金有可 能生 成具 有爆 炸 性的氯 乙炔 。 暴露 在空 气 中遇潮 气时 迅速
33、水解 成氟 硼酸与 硼酸 ， 产生 白色三 氟 化 硼烟 雾 。 腐 蚀 性 很 强 。熔 点 ( )： -165.5、 沸 点 ( )： -92.6、 相 对 密 度 :0.45(-112 )， 极 易 燃 ， 与空气混 合能 形成 爆炸 性混 合物 。 遇 热源 和明 火有 燃 烧爆炸 的危 险 。 在 室温下遇潮 湿空 气能 自燃 。 与 氟、 氯 、 溴 等卤 素会 剧烈 反应并 能与 氟氯 烷灭 火 剂 猛 烈 反 应 。熔点( ) ： -259.2、沸点( ) ： -252.8、相对 密度 :0.07(-252) ， 与 空气 混合能形成 爆炸 性混 合物 ， 遇 热或明 火即 爆
34、炸 。 比空 气 轻， 在室 内使 用和 储存乙 硼 烷 /氢 气 混合气时 ， 漏 气 上 升 滞 留 屋 顶 不 易 排 出 ， 遇 火 星 引 起 爆 炸 。熔 点 ( )： -76.3、 沸 点 ( )： 11.3、 相 对 蒸 气 密 度 :3.14， 强 氧 化 剂 。 能 与多种物 品发 生具 有危 险性 的强烈 反应 。 遇有 机物 ， 立即自 行燃 烧爆 炸 。 与三 氟 化 氯水 猛 烈 反 应 ， 放 出 氟 化 氢 和 氯 气 。熔 点 ( )： -101、 沸 点 ( )： -34.5、 相 对 密 度 :1.47， 可 助 燃 。 易 溶 于 水 、碱液 。 一 般
35、可 燃物 大都 能 在氯气 中燃 烧 ， 一 般易 燃 气体或 蒸气 也都 能与 氯 气形成 爆炸 性混 合物 。 氯气 能与许 多化 学品 猛烈 反应 发生爆 炸或 生成 爆炸氯气性 物 质 。 对 金 属 、 非 金 属 都 有 腐 蚀 行 。熔 点 ( )： -182.5、 沸 点 ( )： -161.5、 相 对 密 度 :0.42(-164 )， 闪 点 ( )：-188、 易 燃 ， 与 空 气 混 合 能 形 成 爆 炸 性 混 合 物 ， 遇 热 源 和 明 火 有 燃 烧 爆 炸10%甲 烷 /氩 气的 危 险 。 与 强 氧 化 剂 接 触 剧 烈 反 应 。熔点( ) ：
36、 -163.6、沸点( ) ： -151、相对 密度 ： 1.27(-151) ， 具有 强氧 化性 。 与 易 燃 物 、 有 机 物 接 触 易 着 火 燃 烧 。 遇 到 氢 气 爆 炸 性 化 合 。 不 活 泼 ，一 氧 化 氮易 被 氧 化 成 二 氧 化 氮 ， 有 强 烈 毒 性 。熔 点 ( )： -185、 沸 点 ( )： -112 相 对 密 度 ： 0.68/-182 、 闪 点 ( )：93.3、 相 对 密 度 ： 1.14、 闪 点 ( )： 93.3， 溶 于 水纯 磷 酸 为 无 色 结 晶 ， 无 臭 ， 具 有 酸 味 。 熔 点 ( )： 42.4(纯
37、 品 )、 沸 点 ( )：260、 相 对 密 度 ： 1.87(纯 品 ) ，与水混溶，可混溶于乙醇。遇金属反应放 出 氢 气 ， 能 与 空 气 形 成 爆 炸 性 混 合 物 。 受 热 分 解 产 生 剧 毒 的 氧 化 磷 烟 气 。85%磷 酸具 有 腐 蚀 性 。13原辅料 物 化 特 性 及 用 途二 氧 化 硅 刻蚀液 主 要 成 分 为 氟 化 铵 和 氟 化 氢 铵 溶 液 ， 具 有 一 定 的 腐 蚀 性 。无 色 液 体 ， 熔 点 ( )： -42、 沸 点 ( )： 83、 闪 点 ( )： 120.5， 强 氧 化 剂 。能与多 种物 质如 金属 粉末 、
38、电石、 硫化 氢、 松 节油 等猛烈 反应 ， 甚至 发生 爆炸。 与还 原剂、 可燃 物 等接触 ， 引 起燃烧 并散 发 出剧毒 的棕 色烟 雾。 具70%硝 酸有 强 腐 蚀 性 。纯硫酸 为无 色油 状液 体， 熔 点( ) ： 10.37、 沸 点 () ： 337、 闪点 () ： 120.5，遇 水 大 量 放 热 ， 可 发 生 沸 溅 。 与 易 燃 物 （ 如 苯 ） 和 可 燃 物 （ 如 糖 、 纤 维 素 等 ） 接 触 会 发 生 剧 烈 反 应 ， 甚 至 引 起 燃 烧 。 遇 电 石 、 高 氯 酸 盐 、 硝 酸 盐 、96%硫 酸金 属 粉 末 等 猛 烈
39、 反 应 ， 发 生 爆 炸 或 燃 烧 。是 氯 化 氢 (HCl)气 体 的 水 溶 液 ， 有 刺 激 性 气 味 ， 为 无 色 透 明 的 一 元 强 酸 。盐 酸 具 有 极 强 的 挥 发 性 ， 熔 点 ( )： -35 沸 点 ( )： 57， 相 对 密 度 1.2， 易36%盐 酸溶 于 水 、 乙 醇 、 乙 醚 和 油 等 。铝 刻 蚀 剂 主 要 成 分 为 硝 酸 、 磷 酸 等无 色 透 明 发 烟 液 体 。 为 氟 化 氢 气 体 的 水 溶 液 。 呈 弱 酸 性 。 有 刺 激 性 气 味 。能 与 水 和 乙 醇 混 溶 。 相 对 密 度 1.298
40、。 剧 毒 ， 有 腐 蚀 性 ， 能 强 烈 地 腐 蚀 金49%氢 氟 酸属 、 玻 璃 和 含 硅 的 物 体 。三 氯 化 铟 白色片 状结 晶或 黄色 结晶 。 密 度 3.46g/cm3。 熔 点 586 。 易 溶于 水， 微溶 于 醇 、 乙 醚 。 易 潮 解 。无 色 透 明 液 体 ， 有 强 烈 的 刺 激 性 臭 味 ， 熔 点 ( )： -58、 沸 点 ( )： 38、 相对 密 度 0.91、 溶 于 水 和 乙 醇 。 易 分 解 放 出 氨 气 ， 温 度 越 高 ， 分 解 越 快 ， 可30%氨 水形 成 爆 炸 性 气 氛三 氧 化 二 锑 白色粉 末
41、 ， 不 溶于 水 ， 溶 于 氢氧化 钠溶 液和 酸 。 粉 体 遇高温 、 明火 能燃 烧。显影液 主 要 成 分 N(CH3)4OH， 无 色 结 晶 ， 极 易 潮 解 ， 有 一 定 的 氨 气 味 ， 具 有 强 碱 性 ， 通 常 制 成 水 溶 液 ， 熔 点 ( )： 69、 沸 点 ( )： 120研磨液 主 要 成 分 为 氧 化 铝本项目的原辅材料对运输条件要求较高， 运输均由专业运输公司承包， 以专 用货车运至厂区内。 化学品及特殊气体， 根据需要送至厂内 ， 并放置于专设的 化 学 品 中 转 库 或 生 产 厂 房 底 层 暂 存 。 在 化 学 品 中 转 库
42、内 存 放 的 物 料 不 进 行 开 封 操 作。化学品使用时通过专用防泄漏车辆转移至生产厂房底层的工艺动力设备区， 由该设备区内的化学品传输系统集中进行供应， 在生产厂房底层暂存的化学品也 通过化学品传输系统集中供应； 特种气体由专人领料并运送到生产厂房底层的工 艺动力设备区的各自气体供应室内， 通过特制的密闭气柜集中供应 。 特种气体在14使用时， 容器钢瓶安放在特制的有持续新风和排风的气柜内， 气柜工艺排气均采 用自带的特殊气体净化装置，采用硅酸盐固体吸附剂等措施减降事故排放浓度； 气柜及供应室排风均通过管道进入废气洗涤塔，由排气筒集中排放。本扩建项目主要物料平衡情况如下。铜元素物料平
43、衡情况见下表。表 7 铜元素物料平衡 单 位 ： kg/a投入 输出序号物 料 名 称 数量 产 品 中 铜 污 泥 及 槽 渣 中 铜 废铜 废 水 中 铜 废 液 中 铜1 金 属 铜 片 中 铜 198872 硫 酸 铜 中 铜 9206 1620 12000 3977 57.6 11438.4合计 29093 29093F 元素平衡本扩建项目使用的 F 元 素位于 49%氢氟酸中， 根据设计资料分析， F 元素平 衡见下图。26.077 26.077废气 酸 性 洗 涤 塔23.469废 气 排 放 2.608折算 HF2.745原料 F 88.4842.202 清 洗 废 水 42.
44、202废 水 处 理 系 统废 水 排 放9.44920.201 废液污泥 56.222图 1 本扩建项目氟元素平衡情况 单位 t/a氯化氢平衡本 扩 建 项 目 使 用 的 氯 化 氢 为 36%氢 氯 酸 和 钢 瓶 氯 化 氢 气 体 ， 根 据 设 计 资 料 分 析 ， 氯 化 氢 物 料 平 衡 见 下 图 。6.463 废气6.463酸 性 洗 涤 塔5.817废 气 排 放0.646原料 HCl 34.6147.352 清 洗 废 水 7.352废 水 处 理 系 统废 水 排 放2.4293.519 废液17.28 产品污泥 10.74图 2 本扩建项目氯化氢物料平衡情况 单
45、位 t/a15氯气平衡 根据设计资料分析，本扩建项目使用的氯气物料平衡见下图。废 气 排 放原料 Cl2 4.80.48 0.48废气 酸 性 洗 涤 塔吸收 0.432废 水 处 理 系 统0.048废 水 排 放0.0624.32 产品污泥 0.370图 3 本扩建项目氯气物料平衡情况 单位 t/a砷化氢平衡 根据设计资料分析，本扩建项目使用砷化氢物料平衡见下图。原料 AsH3 67.26.72 废气 6.72 固 体 吸 附 废 气 排 放 0.0672折 算 成 As0.064660.48产品图 4 本扩建项目砷化氢物料平衡情况 单位 kg/a磷化氢平衡 根据设计资料分析，本扩建项目使
46、用磷化氢物料平衡见下图。原料 PH3 31.253.125 废气 3.125 固 体 吸 附 废 气 排 放0.0312528.125产品图 5 本扩建项目砷化氢物料平衡情况 单位 kg/a硫酸平衡本 扩 建 项 目 使 用 硫 酸 为 96%的 浓 硫 酸 ， 根 据 设 计 资 料 分 析 ， 硫 酸 物 料 平 衡 见下图。16361.23 361.23废气 酸 性 洗 涤 塔 废 气 排 放36.1233575.8 1006.4吸收 325.1071006.4 废 水 排 放原料 H2SO42208.17清 洗 废 水废液废 水 处 理 系 统污泥 1095.825235.682图 6
47、 本扩建项目硫酸物料平衡情况 单位 t/a5.公用工程本扩建项目配套使用的给排水系统、 用电系统， 采暖及生产用气系统、 循环 冷却系统、 压缩空气系统、 天然气供应系统等均为新建的独立系统 ， 不依托中芯 国 际 天 津 厂 现 有 共 用 配 套 设 施 。5.1.给排水（1）给水 本项目供水由西青经济开发区市政供水管网提供生产和生活用水， 由供水管道引入 动力二厂房 （CUB ） 地下一层消防与生产合用水池 （有效容积为 11105m3） 中暂存， 再分别引入动力厂房和生产厂房各用水点供纯水制备和生产、 生活使用。（2）排水 全厂污水、雨水系统实行分流制，分别进入各自独立的排水系统。 雨
48、水排入西青经济开发区园区市政雨水管网， 通过临近雨水泵站进入大沽排污 河 ； 本 项 目 选 址 地 块 新 增 雨 水 收 集 池 ， 负 责 收 集 前 10min 初期雨水。本 扩 建 项 目 生 产 废 水 和 生 活 污 水 分 别 经 厂 内 新 建 的 生 产 废 水 和 生 活 污 水 处 理系统处理达标后，由厂区东南角处汇集后经新设的 2#废水排口排入西青经济 开发区 园区污水管网， 最终排入西青区大寺污水处理厂 。 本项目新增独立的废水 处理系统包括 180m3/h 含氟废水处理系统、 70m3/h 氨 氮 废 水 处 理 系 统 、 960m3/h 酸碱废水处理系统、30
49、m 3/h 含 铜 废 水 处 理 系 统 和 550m3/d 生 活 污 水 处 理 系 统 。中 芯 国 际 天 津 厂 现 状 排 水 量 为 4460m3/d， 本 扩 建 项 目 完 成 后 增 加 废 水 排 放 量 为 7887m3/d ， 由 新 设 的 2# 废 水 排 口 独 立 排 放 ， 2# 废 水 排 口 水 质 执 行 DB12/356-2008污水 综合排放标准 （三级） 相应限值要求。5.2.用电本扩建项目选址地块南侧新建 1 座 110kV/10kV 主变电站（PS ） ，由 市政电17网引入两路供电，电站具体位置见附图，变压器为室内布置，内设 4 台 50MVA 变压器 。 在生产厂房、 动力二厂房及生产研发支持厂房建筑内分别设置二级变电 站及终端变电站，为本扩建项目用电设施提供电源。为 保 证 生 产 工 艺 过 程 中 设 备 所 需 供 电 的 可 靠 性 ， 动 力 三 厂 房 （ DG） 内 有 16 台 2000KVA 应急柴油 发电机 ， 设置 3 个 50m3 柴油储罐， 以备出现 生产区区域停 电的应急情况， 仅供本扩建项目使用。 为保证停电事故下柴油发电机组
