1、2018/6/21,1,部 門內层課DES線報告人盧 岩報告日期: 09/01/05,PCEBG-CBD(營口)事業處,結業報告,2018/6/21,2,一.目的二.方法三.工作參數四.主要原物料五.日常保養六.參考資料,報告大綱,2018/6/21,3,一目的,將感光膜上的線路影像,轉移成實際內层的銅面線路.,2018/6/21,4,二方法,1.DES線流程圖,2.設備名稱及設備示意圖,3.各設備或槽次工作目的及原理,2018/6/21,5,2.1 DES線流程,顯影Develep,蝕刻Etching,剝膜Strping,(1)顯影(Develop)：利用未經過紫外線光照射的油墨溶於弱堿的
2、原理,經碳酸鈉溶液去除掉露出的銅層.(2) 蝕刻(Etching):利用蝕刻藥液與銅的化學反應將顯影后所露的 銅面蝕刻掉。(3) 剝膜（Strping）:利用氫氧化鈉溶液將蝕刻后剩餘的油墨去除 掉。,2018/6/21,6,顯影段流程圖,顯影1-1,顯影1-2,顯影1擺动,顯影2加熱,顯影2,顯影2擺動,顯影1加熱,顯影新液洗,顯影新液洗加熱,液切風車,中壓循環水洗2,中壓循環水洗1,中壓循環水洗3,複合水洗1,複合水洗2,複合水洗3,顯影傳送,2018/6/21,7,蝕刻流程,蚀刻循环,蝕刻3摆动,蝕刻3加热,蝕刻1-1,蚀刻1摆动,蝕刻1-2,蝕刻1加热,蚀刻2-1,蝕刻2摆动,蝕刻2-2
3、,蝕刻2加热,蝕刻3-1,蝕刻3-2,蚀刻补偿,中壓復合水洗1-1,循环水洗2,蝕刻輸送,中壓復合水洗1-2,中壓復合水洗1-3,中壓復合水洗1-4,循环水洗1,2018/6/21,8,剥膜段流程,剝膜1-1,剝膜1过滤,剝膜1加热,剝膜1-2,剝膜2-2,剝膜1风车,剝膜2-1,剝膜2過濾,剝膜2风车,剝膜2加热,中壓復合水洗2-3,中壓復合水洗2-1,中壓復合水洗2-2,中壓復合水洗2-4,酸洗处理,中压复合水洗3-1,中压复合水洗3-2,中压复合水洗3-3,中压复合水洗3-4,剝膜輸送,冷風吹1,冷風吹2,冷風吹3,烘乾加熱,熱風車,2018/6/21,9,2.3 各設備或槽次工作目的及
4、原理,水帘的作用 1.清潔板面 2.防止氣體漫出 在蝕刻的反應中會有少許的氯氣產生在蝕刻前加水帘一方面氯氣微溶于水生成的鹽酸可再參加反應另一方面由于水帘的作用和板的傳動帶動氣體形成回流氣體從而防止氣體溢出。為了防止板面將水帶入蝕刻槽固須在水帘后加阻水滾輪。,2018/6/21,10,噴嘴,噴嘴的分類錐型噴嘴扇型噴嘴,錐型噴嘴,扇型噴嘴,扇形噴嘴的橫斷面是狹長的扇形其形成面積小壓力大蝕刻段均采用此種噴嘴,2018/6/21,11,噴嘴清洗與安裝 (1) 清洗: 從噴管上卸下噴嘴,用清水沖洗其表面臟物,噴口處的殘膠則需用牙 籤挑出,用牙籤而不用細鐵絲的目的是防止堅硬而不光滑的細鐵絲划傷 噴口,導致
5、噴淋均勻性降低. (2) 安裝: 將清洗乾淨的噴嘴裝于噴管上,噴嘴與噴管垂直安裝,扇形噴嘴的噴 口與噴管呈20o角,其目的是防止相鄰兩噴嘴在板子表面形成噴淋盲區(如下圖):,2018/6/21,12,系統搖擺,分類 斜管式搖擺水平搖擺,水平搖擺,備注:兩種噴淋方式之 噴洒面積相重疊 之面積是不同的 a b,優缺點: 水平搖擺系統噴洒出來的藥水均勻性較好,有利于生產較細的線寬/線距.,優缺點: 斜管式搖擺系統洒出來的藥水均勻性較差,且其主軸易損壞.,2018/6/21,13,傳送系統,馬達及傳動軸的作用 利用馬達提供傳動的動力經傳動軸帶動滾輪輸送板子,傳動馬達,傳動系統分為 (1)雙邊傳動:(薄
6、板) 傳動滾輪比較細,且滾輪分布密集時,若單邊馬達帶動時需要很大的力量且對傳動滾輪所產生扭矩比較大,在作業過程中易造成基板傾斜卡板等不良. (2)單邊傳動: (厚板) 傳動滾輪比較粗,且滾輪分布間距大,單邊馬達帶動時不需很大的力量且對傳動滾輪所產生之扭矩比較小,在作業過程中,不會造成不良影響,採用雙邊傳動只會增加成本.,傳動軸,2018/6/21,14,傳送齒輪,傳動齒輪目的 將馬達之產生的動力利用齒輪進行轉接到傳動滾輪上。,材質有金屬、PVDF等齒型有柱齒、傘齒、螺旋齒沾有藥液結晶,硬質顆粒時應用清水或藥液沖洗,傘齒輪,正齒輪,傘齒輪,2018/6/21,15,傳送滾輪,滾輪的作用 利用滾輪
7、與PC板面之磨擦力帶動PC板傳動,弧形滾輪片 用於一般水洗段或輸送段,EPDM 用於特殊藥液段或烘乾段,2018/6/21,16,材質有不銹鋼、 HCPP 、 EPDM等功能:傳動板件、阻水、擋水功能,傳送滾輪（實心滾輪）,擋水滾輪,作用 阻塞PC板帶上大量藥水或水流至下一槽.,2018/6/21,17,軸心,材質 不鏽鋼碳鉛鈦（99.5%）,選用鈦軸心的原因 鈦金屬的一個顯著的特性就是性能穩定耐腐蝕性強由于它對氧的親和力特別大能在其表面上生成一層氧化膜可保護鈦不受介質腐蝕因此鈦在酸性鹼性溶液中和氧化性介質中具有很好的穩定性。比不鏽鋼等金屬的耐腐蝕性好。而碳鉛則硬度低易磨損。,2018/6/2
8、1,18,材質PP, 網目為60um,濾網,濾網作用 初步過濾藥液和水中雜質防止阻塞噴嘴,減少濾心耗量.,2018/6/21,19,過濾桶,過濾桶的作用 經泵莆將藥液和水注入過濾桶中過濾桶內之濾芯將藥液和水過濾後傳給噴嘴防止噴嘴阻塞。,藥液過濾桶,2018/6/21,20,規格20um長度: 蝕刻段20“;水洗10”,過濾桶使用濾芯（濾網）,濾心規格選則原則: 濾網規格為20um是指過濾網之網孔大小長寬最大為20um在過濾過程中異物直徑小于20um以下均可透過濾網;內層一般生產之線路最小為5/5mil, 則預估通過之異物最大為18um以內,約0.8mil.相應的規格為10um的濾網可過濾之異物
9、的直徑小于10um,約0.4mil;依IPC-600F之標准在缺口小于線寬20%均可允收;而10um之濾芯價格比20um貴15%左右;故使用20um之規格濾網.,2018/6/21,21,加熱器,加熱器的作用 提供熱量給藥液使藥液保持生產所需之溫度。材質不鏽剛石英鈦金屬等,2018/6/21,22,AQUA藥水檢測系統圖解,釣魚線,比重感應器,浮球,溫度感應器,銅電極,流量閥,氯酸鈉感應器,HCL感應器,2018/6/21,23,採用環型積體電路及快速晶體 合成之電路板控制。 利用電生磁、磁生電原理，以 非接觸的方式量測溶液之導電 率而計算溶液的濃度。(溶液的 濃度越大，則導電離子越多， 相對
10、的導電率則越高)。當測定值低于設定值時定量 泵浦動作供給鹽酸,鹽酸感應器,2018/6/21,24,利用標準浮球之浮力效應，轉換 成位移，並使用精密光學之發射 及接收器(非接觸光學)，增加比 重之再現性，以達到精確測量液 體比重。 測定值比設定值高時電磁閥和 泵浦動作,比重感應器,2018/6/21,25,採用積體電路及快速晶體合成之 電路板控制。 利用感應器湞測到 碳棒及銅電極之間的電位差并 將電位差轉換成數值傳送至控制 器測定值比設定值高時電磁閥和 泵浦動作,氯酸納 感應器,銅電極,2018/6/21,26,三工作參數,2018/6/21,27,2018/6/21,28,四主要原物料,顯影
11、:碳酸納 40kg/包，工業級99%蝕刻:氯酸钠盐酸 剝膜:氫氧化納.,2018/6/21,29,五日常保養,5.1 日保養項目,5.1.1 氯化銅試驗.5.1.2 清洗各水槽過濾網.5.1.3 清洗各入料段,連接段滾輪及擋水滾輪.5.1.4 清洗吸水海綿.5.1.5 清洗各槽過濾網.5.1.6 更換顯影槽藥水剝膜槽藥水.,2018/6/21,30,5.2 周保養 5.2.1 檢查軟管接頭 5.2.2 清潔風刀 5.2.3 更換各段濾芯 5.2.4 顯影去膜蝕刻點測試,五日常保養,2018/6/21,31,1.2 更換濾芯 10* 20m 濾芯更換: 內層DES線共40個.,(1) 更換時機:
12、 壓力表指針不在管控範圍內(小於範圍 最小值),調節球閥仍上不去時;,2018/6/21,32,(3)注意事項 a. 更換濾芯時候確定在機器不生產的時候進行更換,若是在生產時候更換的話,沒有經過過濾的水進入槽體後,水中的雜質將粘貼在板子表面,造成殘銅現象; b.換濾芯的同時需要換水,槽體中的水已經有雜質(濾網表面漂浮的膜渣等),若只換濾芯而不換水，濾芯的使用壽命將會減短.,2018/6/21,33,顯影點測試,1 開機前準備涂完油墨未曝光之板作為測試板与合格的顯影液(濃度:1.16%).2 依開機程序作業 在人機界面依次開啟顯影傳輸,顯影噴淋,顯影搖擺,顯影子槽加熱,水洗噴淋,風刀.3 將顯影
13、溫度,速度,噴壓調至標準範圍 顯影液溫度:29.3.顯影上噴壓:1.4Kg/cm2, 顯影下噴壓:1.5Kg/cm2 顯影速度:3.3m/min 水洗壓力:1.0Kg/cm2,2018/6/21,34,4 顯影點測試 A 把測試板連續放入顯影機內（板間無間隙）， 板子要求能布滿顯影槽,當第一片板子的前端 到達顯影槽體的最末端時，關閉顯影噴壓,2018/6/21,35,C 讓PC板經過水洗段,从顯影段中檢段取出板子, 把板子按放入的先後順序排在一起，對照槽 長，觀察顯影點位置 D 觀察顯影點位置,無油墨區和有油墨區,兩個區 域相接的地方就是顯影點.,2018/6/21,36,1 若板子在70%槽
14、長時板面還有大量油墨或在50%槽長板面上便無油墨時,要將速度依次增大或降低0.2m/min.在調整完畢後,要重複動作.當速度已經超出了管控範圍(3.50.5m/min),可將壓力增大或減小,調整完畢後,仍要重複動作,直至結果OK為止.,2018/6/21,37,蝕刻點測試,1 開機前準備 裁切剩餘邊料. 2 依開機程序作業 在人機界面依次開啟蝕刻傳輸,蝕刻噴淋,蝕刻搖擺,蝕刻槽加熱,水洗噴淋.,2018/6/21,38,3 將蝕刻溫度,速度,噴壓調至標準範圍 點檢機台: 蝕刻液溫度:49.4. 蝕刻上噴壓力:2.2Kg/cm2 蝕刻下噴壓力:1.4Kg/cm2 蝕刻速度:3.4m/min 水洗
15、壓力:1.8Kg/cm2,2018/6/21,39,A 將銅基板，連續放入機器內蝕刻，B 當板子的尾端到達槽長的50%70%時,要將蝕刻機的噴壓關閉。C 讓PC板經過水洗段,从蝕刻段中檢段取出板子, 之後按板子放出的順序排列在一起.,觀察板面所形成的圖形在板子上會形成有銅和無銅的兩個區域。,4 測試,2018/6/21,40,5 若板子所形成的圖形未達成標准圖形,可將壓力增大 或減小,調整完畢後,直至結果OK為止.,2018/6/21,41,五 月保養,三 顯影槽保養方法 3.1 在人機界面將自動改為手動操作. 3.2 準備好需要更換的濾芯,液鹼(45%),硫酸(98%), 蛇皮軟管, 膠皮手
16、套,毛刷等. 3.3 排藥液將過濾桶及藥液槽中的藥液排入鹼性高濃度廢液管道中. 水洗1hour酸洗4hour水洗1hour水洗1hour鹼洗4hour水洗1hour 水洗1hour （酸洗濃度：4.12%，鹼洗濃度：4.23%） 排廢液,加入配好的碳酸鈉(工業級99%,40kg/包)藥液(濃度1.07%).,2018/6/21,42,配比碳酸鈉藥液,碳酸鈉藥液的濃度為0.9%1.3%.中心值為1.1%,可根據溶劑(水的多少)和濃度中心值來計算添加溶質(碳酸鈉)的多少. (1)關閉添加球閥,自動填加球閥.防止配製藥水時,水流入顯影槽內降低藥液濃度,造成PC板顯影不潔. (2)加水到高液位1500
17、L,因為配比藥液時是下極限液位300L,所以共加水1200L. (3)顯影液的濃度管控範圍為:1.10%0.2%.通過計算濃度=溶質/溶液. X/X+1200(溶液)=1.1%.X (溶質)等於13.97kg.所以添加碳酸鈉13.97kg. (4)在人機界面:控制面板-添加槽中開啟顯影液建浴攪拌加熱,顯影液建浴攪拌.對藥液進行加溫(302) (5)添加完畢,打開自動填加球閥.在人機界面添加藥液中設定每6片添加一次，每次添加30秒。,2018/6/21,43,1,2,3,6,7,5,4,過濾桶,(1)自動添加藥液(2)加水(3)排藥液(4)排廢水(5)溢流口(6)手動添加藥液(7)排藥液,顯影段子槽管道分佈示意圖,溢流口,2018/6/21,44,蚀刻子槽示意图,圖中: 1-進水管; 2-自動添加藥液管; 3-排水管; 4-排廢藥液管; 5-藥液溢流管; 6-AQUA系统连接管； 7-手動添加藥液管; 8-排藥管.,2018/6/21,45,六參考資料,6.1 PCB製作流程 6.2 PCB推廣教材 6.3 內層蝕刻線流程 6.4 DES線操作手冊,
