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准分子激光气体应用.docx

1、准分子激光气体应用准分子激光气体(Excimer Laser Gas Mixtures)包括 AF(193nm),KrF(248nm),XeCl( 308nm)预混气体,主要应用于眼科医疗、光纤、半导体、材料科学、电子、平板等领域。技术指标(Technical indicators)使用机型 波长 钢瓶规格 阀门规格 工作气体鹰视(COHERENT )193nm 20L DIN8 F2,9.9%博士伦(B&L ) 193nm 20L,50L DIN8 Ar, 99.9999%蔡司(ZEISS) 193nm 10L,20L DIN8 He, 99.9999%威视(VISX ) 193nm 16L

2、 CGA 679 Ne,99.9999%尼德克(NIDEX) 193nm 16L CGA 679 雷赛(LASERSIGHT)193nm 10L CGA 679爱尔康(Alcon) 193nm 16L CGA 679康奥(SCHWIND)193nm 20L DIN8, DIN14视可佳(六六视觉)193nm 16L CGA 679森美(SUMMIT ) 193nm 16L CGA 679科医人(COHERENT )308nm 8L CGA330 Xe, Hcl,电子级美国(Photomedex)308nm 8L CGA330 Xe, Hcl,电子级作为当今最有效,最可靠的脉冲紫外激光技术的代表,准分子激光器有效的推进了诸如半导体,AMOLED 平板显示,薄膜,硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石达标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术更新。

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