1、光刻胶参数及光刻工艺1、 正 性 光 刻 胶 RZJ-304 规 格RZJ-304： 25mpas， 50mpas（ 粘 稠 度 ） ， 配 用 显 影 液 ： RZX-3038 匀 胶 曲 线 注：粉色为5 0 cp，蓝色为2 5 cp 推 荐 工 艺 条 件 涂 布 ： 23， 旋 转 涂 布 ， 膜 厚 1.0 3.5m 前 烘 ： 热 板 10090sec 曝 光 ： 50 75mj/cm2（ 计 算 方 法 :取 能 量 60mj/cm2取 光 强 400102um/cm2，则 60/40=1.5s） 显 影 ： 23， RZX-3038， 1min， 喷 淋 或 浸 渍 清 洗 ：
2、 去 离 子 水 30sec 后 烘 ： 热 板 120120sec 2、 正 性 光 刻 胶 S1813 规 格S1 8 1 3，配用显影液为ZX-2 3 8 匀 胶 曲 线 推 荐 工 艺 条 件 1（ 以 具 体 工 艺 为 参 考 ） 涂 布 ： 23， 旋 转 涂 布 ， 膜 厚 1.23um（ 1.1 1.9m） 前 烘 ： 热 板 11560sec 曝 光 ： 150mj/cm2 显 影 ： 21， ZX-238， 65sec， 喷 淋 或 浸 渍 清 洗 ： 去 离 子 水 30sec 后 烘 ： 热 板 125120sec 3、 负 性 光 刻 胶 AZ-5214 规 格AZ
3、-5214， 配 用 显 影 液 AZ-300 匀 胶 表 格 （ 单 位 ： 微 米 ） 推 荐 工 艺 条 件 1（ 以 具 体 工 艺 为 参 考 ） 涂 布 ： 23， 旋 转 涂 布 ， 膜 厚 1.47um（ 1.14 1.98m） 前 烘 ： 热 板 10090sec 曝 光 ： 240mj/cm2 后 烘 ： 115120sec 泛 曝 光 ： 200mj/cm2 显 影 ： 21， AZ-300， 60sec， 喷 淋 或 浸 渍 清 洗 ： 去 离 子 水 30sec 坚 膜 ： 热 板 120180sec注意：紧 急 救 护 措 施 （ 对 于 光 刻 胶 ） 吸 入 ： 转 移 至 空 气 新 鲜 处 ， 必 要 时 进 行 人 工 呼 吸 或 就 医 。 皮 肤 接 触 ： 肥 皂 水 清 洗 后 自 来 水 清 洗 。 眼 睛 接 触 ： 流 动 清 水 清 洗 15分 钟 以 上 ， 必 要 时 就 医 。
