1、微电子化学品 微电子化学品级别划分目前已了解的有以下几种划分：1、UP-S级、UP级、EL级；2、SL级、UL级、VL级、EL级；3、EG-1级、CMOS级。(美国采用的是SEMI级别）1、UP-S级、UP级、EL级；UP-S级：单项金属离子含量小于1PPb,适合于 0.2-0.8um集成电路加工工艺。经0.05um孔径过滤器过滤，控制0.2um的粒子。在100级净化环境灌装，达到SEMIc8标准。UP级：单项金属离子含量小于10PPb,适 合于 0.8um集成电路加工工艺。EL级：单项金属离子含量小于100PPb,适合于 中小规模集成电路及电子元器件加工工艺。2、SL级、UL级、VL级、EL
2、级； SL级：单项金属离子含量小于1PPb, 控制0.3um的颗粒，控制三十多种金属元素。 等同于美国SEMIc8标准。UL级：单项金属离子含量小于10PPb, 控制0.5、0.3um的颗粒，控制三十多种金属元素。 等同于美国SEMIc7标准。VL级：单项金属离子含量小于10-100PPb, 控制0.5um的颗粒，控制三十多种金属元素。 介于EL与UL之间标准。EL级：单项金属离子控制在100PPb, 控制1um的颗粒，控制三十多种金属元素。 优于美国SEMIc1SEMIc2标准。3、EG-1级、CMOS级。EG1级：单项金属离子含量小于1PPb, 优于美国SEMIc3标准。CMOS级：单项金属离子含量小于10-100PPb, 控制三十多个金属元素。 我国电子工业部电子级水质标准（18.2兆欧-厘米、15兆欧-厘米、10兆欧-厘米、2兆欧-厘米、0.5兆欧-厘米的五级标准）。
