1、1,無塵室基本架構 講師：潘岳偉 2007/11/29,2,無塵室基本架構,一，何謂無塵室無塵室原名 Clean Room，亦名潔淨室。潔淨室定義為將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境，亦即這個潔淨環境中的微塵粒子相當少。亦即將空氣中的塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分佈之情形及速度控制在一定範圍之空間 二，無塵室基本架構 地板 隔牆 天花板 空調 照明 風淋室 傳遞箱 洩壓風門,3,4,無塵室之組成,5,地板,Epoxy導電地板(1000級以上),6,地板,鋁合金高架地板(1000級以下),7,地板,8,地板參數及標准,9,隔牆(庫板),P U庫板 隔板厚度42m
2、m 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 硬質發泡PU 隔熱性能 0.44kcal/h 隔音性能 25dB,金屬隔熱板(防火一小時) 隔板厚度60mm 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 石膏 隔熱性能 ?kcal/h 隔音性能 25dB,不燃鋁蜂巢板 隔板厚度42mm 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 鋁蜂巢 隔熱性能 2.7kcal/h 隔音性能 ?,不燃紙蜂巢板 隔板厚度42mm 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 紙蜂巢 隔熱性能 1.4kcal/h 隔音性能 20.5dB,10,天花板,模組化天花板 Ceiling Grad模組化 高精密 高強度 替換性高及延伸性可任
3、意變更過濾機佔積率及任意提升潔淨度(class10001),11,空調,外氣空調箱(MAU Make Air Unit )功能：提供無塵室正壓及調節濕度,抽風式外氣空調箱,乾盤管(Dry Coil )功能：調節無塵室溫度(除顯熱)使用13之冰水,風車過濾機組(FFU Fan-Filter Unit )功能：提供平穩低噪音之運轉及良好之氣體流量分配，可提供潔淨空氣之高 要求，使用於極低微粒粉塵粒子於無塵環境中 風量 15-30 m3/min,12,乾盤管系統(Dry Coil),13冰水,IN,OUT,乾盤管功能主要為調節無塵室內之溫度 利用13 以上之冰水流經熱交換器以除去無塵室內之顯熱(不除
4、濕) 需13 以上冰水之原因為防止乾盤管產生冷凝水 由電磁二通閥控制冰水流量以達到所需控制之溫度,13,FFU系統,FFU ：Fan Filter Unit 風機濾網機組 安裝於無塵室天花板上方，其功能為將天花板上方之較低溫空氣吹送至無塵內，於風機組下方並安裝HEPA Filter以過濾微塵粒子,14,15,16,17,照明,無塵室之照度一般要求700Lux以上,淚滴型照明燈具,嵌入式照明燈具,18,風淋室(Air Shower),人員及物料進入無塵室之緩衝通道，設於無塵室入口處，具有以下功能： 人員管制 AIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染 風速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除
5、人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃。,19,傳遞箱(Pass Box),傳遞箱 (PASS BOX) 為置於潔淨室隔間牆上之裝置 功能： 做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓 可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入 進出口具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染,20,洩壓風門,為防止無塵室受到污染外氣的侵入，室內必須保持正壓。但 如果室內正壓太高，會造成門扇不昜關閉之問題，因此必須使用洩壓風門，藉以控制無塵室內保持一定的微正壓。,21,MAU空調箱系統,MAU - Make-up Air Unit 外氣空調箱 用以維持無塵室正壓
6、之調節濕度 OA：外界新鮮空氣 初濾：初級濾網，用於初步過濾particle，一般使用效率30%之過濾網 冷盤管：經由冰水循環作用，達到除濕效果，冰水需低於11 加熱盤管：經由加熱作用以提高進風溫度 風車：經由風車運轉將空氣送入無塵室內 袋濾：袋型濾網，中效過濾，一般使用效率80-85%之過濾網 HEPA：高效率過濾網，用於最終過濾，一般使用效率99.997%-0.3um之過濾網 加濕器：將水加熱成水蒸氣注入空氣中以提高空氣之濕度,22,二次冰水系統,混合站工作原理： 功能：將7 之一次冰水轉換成13 之二次冰水供乾盤管等使用。 原理：由進回水間之二通閥控制所需之二次冰水溫度(13)，若二次冰水溫度低於13 時，二通閥將開啟使較高溫之回水送入進水管內以提高進水溫度，當二次冰水溫度高於13 時，二通閥將關閉以便使較低溫之7 冰水能進入而使溫度下降。電磁二通閥靠比例式控制可有效將冰水控制於所需之溫度值，混合好之二次冰水再靠水泵送至乾盤管使用。 水泵最好採變頻方式控制，可有效控制出水水壓，防止出水壓過高，並有節約之功效,
