1、TRUMPF - 2010/06/05- confidential -HUETTINGER电源使用注意事项电源使用注意事项电源使用注意事项电源使用注意事项胡 枫德国霍廷格电子有限公司上海代表处2010-06-05TRUMPF - 2010/06/05- confidential -Topicsquare4 运输及拆箱注意运输及拆箱注意运输及拆箱注意运输及拆箱注意square4 电源的安装及调试电源的安装及调试电源的安装及调试电源的安装及调试square4 日常运行常见问题分析日常运行常见问题分析日常运行常见问题分析日常运行常见问题分析square4 维护保养维护保养维护保养维护保养TRUMPF
2、 - 2010/06/05 3- confidential -一一一一. .运输及拆箱注意运输及拆箱注意运输及拆箱注意运输及拆箱注意square4 空运空运空运空运 ： ：运输时间短 ： 7天价格高 ：运费为海运的 4 5倍square4 海运海运海运海运 ： ：防潮包装运输时间长 ：总计 40 50天价格低 ；1. 运输运输运输运输TRUMPF - 2010/06/05 4- confidential -2. 到货检查到货检查到货检查到货检查货物抵达港口 、机场或仓库时 ，请小心搬运请使用正确的开箱工具货物到达保险单所载明目的地收货人的最后仓库或储存处所后 ，应立刻 立刻立刻立刻 开箱检查
3、：- 首先检查货物外包装是否有任何可疑损伤- 开箱检查货物是否完好 ，齐全若有任何可疑损伤 ，请拍照存证并立刻通知霍廷格上海代表处 ，我们将协助您进行保险索赔TRUMPF - 2010/06/05 5- confidential -二二二二 . 电源的安装电源的安装电源的安装电源的安装请务必认真阅读霍廷格电子有限公司随货所附的产品说明书TruPlasma MF operation manualTruPlasma MF7100-7150中文操作手册TruPlasma DC 3060中文操作手册请参照我司的电源安装指南Huettinger中频电源安装须知请垂询我们的服务工程师TRUMPF - 20
4、10/06/05 6- confidential -三三三三 .日常运行常见问题分析日常运行常见问题分析日常运行常见问题分析日常运行常见问题分析1. 夏天电源中出现冷凝水2. 管道堵塞 ，内部温度报警3. 铜管腐蚀漏水4. 功率不能达到设定值5. 开腔体维护后开机电源损坏6. 电源突然断电 ，开关跳闸7. 风冷型电源温度报警及经常性工作异常TRUMPF - 2010/06/05 7- confidential -1. 夏天电源中出现冷凝水夏天电源中出现冷凝水夏天电源中出现冷凝水夏天电源中出现冷凝水square4 问题描述问题描述问题描述问题描述在夏天室内温度较高时 ，电源内冷却铜管出现冷凝水
5、，滴至线路板功率器件上导致电源故障停机 。square4 原因分析原因分析原因分析原因分析在环境温度较高及相对湿度较大时 ，如冷却水温度低于电源铜管的临界露点温度，易于导致冷凝现象的产生 。square4 解决方案解决方案解决方案解决方案a. 提高冷却水温度至大于临界露点温度 ，但小于最大允许温度 35TRUMPF - 2010/06/05 8- confidential -露点温度图露点温度图露点温度图露点温度图室 内 温 度( )相对空气湿度冷却水温度 ( ) 28.5 -35Notice:临界露点温度 7.5PH值50-300 uS/cm电导率规格名称TRUMPF - 2010/06/0
6、5 13- confidential -4. 功率不能达到设定值功率不能达到设定值功率不能达到设定值功率不能达到设定值square4 问题描述问题描述问题描述问题描述输出功率未能达到设定值 ，而此时电压 UDC或电流 IDC已达到最大值 。square4 原因分析原因分析原因分析原因分析由于电源与真空腔体负载不匹配所致 。square4 解决方案解决方案解决方案解决方案调整输出变压器的抽头或调整输出电容个数来达到匹配 ，输出更大的功率 。TRUMPF - 2010/06/05 14- confidential -负载匹配负载匹配负载匹配负载匹配square4 调整输出变压器抽头可改变输出电压范
7、围空载输出电压必须高于等离子体起辉电压square4 调整电容数量可改变输出频率和匹配情况增加电容 频率降低 ， DC电流增大减少电容 频率升高 ， DC电流减小TRUMPF - 2010/06/05 15- confidential -5. 开腔体维护后开机电源损坏开腔体维护后开机电源损坏开腔体维护后开机电源损坏开腔体维护后开机电源损坏square4 问题描述问题描述问题描述问题描述开腔体保养维护后开机输出功率时 ，发生电源内部逆变桥功率器件损坏 ，电源停机现象 。square4 原因分析原因分析原因分析原因分析a. 电弧管理参数设置不正确b. 烧靶过程功率增加过快 ，致使打弧过于频繁 。s
8、quare4 解决方案解决方案解决方案解决方案a. 除非对电弧管理参数非常熟悉 ，否则请勿随意更改电弧参数 。出厂设定值能满足绝大部分工艺的要求 ，建议使用 。b.烧靶阶段以较低的起始功率点靶 (2千瓦以下 )，并缓慢的增加功率 。如电源监测的电弧数过多，则需延长烧靶时间 ，或可使用电源内部的 burn-in程序自动烧靶 。TRUMPF - 2010/06/05 16- confidential -Burn-in 烧靶程序烧靶程序烧靶程序烧靶程序square4 Ramp duration(阶坡时间 )输出功率从零到设定值分为 8级阶坡 。square4 Ramp ARC rate max. (
9、阶坡最大电弧数 ): 如输出功率在某一级阶坡上时电弧数超过了阶坡最大电弧数 ，输出功率将返回上一级阶坡 。square4 输出功率到达设定值后 ，如电弧数超过了阶坡最大电弧数 ，且 burn-in 程序仍在运行，功率仍将返回上一级阶坡 。TRUMPF - 2010/06/05 17- confidential -6. 电源突然断电电源突然断电电源突然断电电源突然断电 ，开关跳闸 开关跳闸开关跳闸开关跳闸square4 问题描述问题描述问题描述问题描述电源正常工作时突然主开关跳闸断电 ，无任何报警 。square4 原因分析原因分析原因分析原因分析较多的可能由供电电压不稳 ，屏蔽接地不好等原因引
10、起 。square4 解决方案解决方案解决方案解决方案a. 提供稳定的供电电压 ， 3x400V, +/- 10%。b. PE地连接 。c. 电源外壳地连接至厂内地网 。d.中频电源输出电缆屏蔽层需分别接至电源及腔体上e.若同时使用两根同轴电缆 ，需按照 “反并联 ”的交叉连接至至至 至腔腔腔 腔体体体 体至至至 至电电电 电源源源 源TRUMPF - 2010/06/05 18- confidential -7. 风冷型电源温度报警及经常性工作异常风冷型电源温度报警及经常性工作异常风冷型电源温度报警及经常性工作异常风冷型电源温度报警及经常性工作异常square4 问题描述问题描述问题描述问题
11、描述电源时常有温度报警 ，并且故障率较高 。square4 原因分析原因分析原因分析原因分析a. 空气含有较多浮尘 ，内部积灰 。b. 环境温度过高 ，电源冷却风量不够致使内部器件过热 。square4 解决方案解决方案解决方案解决方案a. 电源置于空调房或机柜内 ，保持无受潮后可导致导电的浮尘及腐蚀性气体存在 。b. 保持环境温度低于 35及充足的冷却风量 (详见电源手册 )。Air Flow (m3/h)Type125TruPlasmaDC 4005150TruPlasmaDC 4010300TruPlasmaDC 4020300TruPlasmaB_P 4010300440300150T
12、ruPlasma B_P 4030TruPlasmaDC 3060TruPlasmaDC 3030TruPlasma DC 3010TRUMPF - 2010/06/05 19- confidential -四四四四 . 日常保养日常保养日常保养日常保养square4 定期检查电源内部积灰 、铜管腐蚀情况 。square4 定期清理电源外部安装的滤网 。square4 定期检查水质情况 。电源内部塑料水管应表现为无色或白色 。如水管内壁有附着物 ，则需使用压缩空气清理 。压缩空气方向 ：a 超声波流量计 b 转子流量计A管吹入 B管吹入流量计位置排水位置TRUMPF - 2010/06/05 20- confidential -square4 每 3个月检查一次反应阳极的长度 。若不足最小长度 57mm，则需更换 。TRUMPF - 2010/06/05 21- confidential -HUETTINGER电源电源电源电源 -您的动力保证您的动力保证您的动力保证您的动力保证 ！胡枫德国霍廷格电子上海代表处
